PI PZ244D Benutzerhandbuch Seite 48

10 Technische Daten
Pinbelegung der Modelle P­54x.TCD:
Pin
A1 Innenleiter
A1 Außenleiter
A2 Innenleiter
A2 Außenleiter
A3 Innenleiter
A3 Außenleiter
1
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44 Version: 1.2.0
Signal Funktion
Ausgang Probe-Sensorsignal, Kanal 2
(unbeweglicher Teil des kapazitiven Sensors)
GND Schirm von Probe-Sensorsignal, Kanal 2
Ausgang Probe-Sensorsignal, Kanal 3
(unbeweglicher Teil des kapazitiven Sensors)
GND Schirm von Probe-Sensorsignal, Kanal 3
Probe-Sensorsignal, Kanal 1
Ausgang
(unbeweglicher Teil des kapazitiven Sensors)
GND Schirm von Probe-Sensorsignal, Kanal 1
Eingang Target-Sensorsignal, Kanal 2
(beweglicher Teil des kapazitiven Sensors)
Eingang Target-Sensorsignal, Kanal 3
(beweglicher Teil des kapazitiven Sensors)
GND Masse von ID-Chip
Bidirektional Datenleitung für ID-Chip
--- (nicht verbunden)
--- (nicht verbunden)
--- (nicht verbunden)
Eingang Piezospannung +, Kanal 3
Eingang Piezospannung +, Kanal 2
Eingang Piezospannung +, Kanal 1
Eingang Target-Sensorsignal, Kanal 1
(beweglicher Teil des kapazitiven Sensors)
GND Schirm von Target-Sensorsignal, Kanal 2
GND Schirm von Target-Sensorsignal, Kanal 3
--- (nicht verbunden)
--- (nicht verbunden)
--- (nicht verbunden)
--- (nicht verbunden)
--- (nicht verbunden)
Eingang Piezospannung –, Kanal 3
Eingang Piezospannung –, Kanal 2
Eingang Piezospannung –, Kanal 1
GND Schirm von Target-Sensorsignal, Kanal 1
PZ244D P­54x­Nanopositionierer