PI PZ244D Benutzerhandbuch Seite 40

10 Technische Daten
Antriebseigenschaften
Piezokeramik
Elektrische Kapazität je
Achse
Anschlüsse und Umgebung
ID-Chip-Funktionalität
Betriebstemperaturbereich
Material
Masse
Kabellänge
Sensor- /
Spannungsanschluss
Empfohlene Elektroniken
* Mit Digitalcontroller. Mit Analogcontrollern kann die Linearitätsabweichung für direkt getriebene Positionierer typ. bis 0,1 %
betragen.
Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-
Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.
Alle Angaben beziehen sich auf Raumtemperatur (22 °C ±3 °C).
Aktive Achsen
Bewegung und
Positionieren
Integrierter Sensor
Stellweg Z bei -20 bis 120 V,
ungeregelt
Kippwinkel θ , θ bei -20
X Y
bis 120 V, ungeregelt
Stellweg Z, geregelt
Kippwinkel θ , θ , geregelt
X Y
Auflösung Z, ungeregelt
Auflösung θ , θ ,
X Y
ungeregelt
Auflösung Z, geregelt
Auflösung θ , θ , geregelt
X Y
Linearitätsabweichung Z,
θ , θ
X Y
Wiederholgenauigkeit Z
36 Version: 1.2.0
P­541.2CD / P­542.2CD / P­541.2DD
P­541.2CL P­542.2CL
PICMA® PICMA® PICMA®
P-885 P-885 P-885
4,2 7,5 9
P-541.2CD P-542.2CD Ja
-20 bis 80 -20 bis 80 -20 bis 80
Aluminium Aluminium Aluminium
0,75 0,75 0,75
1,5 1,5 1,5
CD- CD- D-Sub
Versionen: Versionen: 25W3 (m)
D-Sub D-Sub
25W3 (m) 25W3 (m)
CL- CL-
Versionen: Versionen:
LEMO LEMO
E-503, E-503, E-503,
E-505, E-505, E-505,
E-621, E-621, E-621,
E-712, E-712, E-712,
E-727 E-727 E-727
P­541.ZCD P­541.TCD* P­541.ZSL
Z Z, θ , θ Z
X Y
Kapazitiv Kapazitiv DMS
150 150 150
– ±0,6 –
100 100 100
– ±0,4 -
0,2 0,2 0,2
– 0,02 –
0,5 0,5 2,5
– 0,08 –
0,03 0,03 0,2
<2 <2 <10
P­541.2SL P­542.2SL
PICMA® PICMA®
P-885 P-885
4,2 7,5
– –
-20 bis 80 -20 bis 80
Aluminium Aluminium
0,73 0,73
1,5 1,5
LEMO LEMO
E-503, E-503,
E-505, E-505,
E-621, E-621,
E-712, E-712,
E-727 E-727
P­541.TSL* P­541.Z0L
Z, θ , θ Z
X Y
DMS –
150 150
±0,6 –
100 –
±0,4 –
0,2 0,2
0,02 –
2,5 –
0,25 –
0,2 –
<10 –
PZ244D
P­541.20L / Einheit Toleranz
P­542.20L
PICMA®
P-885
4,2 / 7,5 µF ±20 %
–
-20 bis 80 °C
Aluminium
0,7 kg ±5 %
1,5 m ±10 mm
LEMO
(ohne
Sensor)
E-503,
E-505,
E-621,
E-712,
E-727
P­541.T0L* Einheit Toleranz
Z, θ , θ
X Y
–
150 µm +20 % /
-0 %
±0,6 mrad +20 % /
-0 %
– µm
– mrad
0,2 nm typ.
0,02 µrad typ.
– nm typ.
– µrad typ.
– % typ.
– nm typ.
P­54x­Nanopositionierer