Produktansicht - PI PZ244D Benutzerhandbuch

3 Produktbeschreibung
Nanopositionier­Hubtisch mit großer Apertur
Modell
P-541.ZCD
P-541.ZSL
P-541.Z0L
Nanopositionier­Hub­ und Kipptisch mit großer Apertur
Modell
P-541.TCD
P-541.TSL
P-541.T0L
3.2

Produktansicht

Die Abbildung ist exemplarisch und kann von Ihrem Positionierermodell abweichen.
Abbildung 1:
10 Version: 1.2.0
Beschreibung
Nanopositionier-Hubtisch mit großer Apertur, 100 µm, direkte
Positionsmessung, kapazitive Sensoren
Nanopositionier-Hubtisch mit großer Apertur, 100 µm, DMS-Sensoren
Nanopositionier-Hubtisch mit großer Apertur, 150 µm, ohne Sensor
Beschreibung
Nanopositionier-Hub- und Kipptisch mit großer Apertur, 100 µm /
0,8 mrad, Parallelmetrologie, kapazitive Sensoren
Nanopositionier-Hub- und Kipptisch mit großer Apertur, 100 µm /
0,8 mrad, DMS-Sensoren
Nanopositionier-Hub- und Kipptisch mit großer Apertur, 150 µm /
1,2 mrad, ohne Sensor
Exemplarische Produktansicht
1 Bewegungsplattform
2 Kabelabgang
3 Schutzleiteranschluss
4 Grundkörper
PZ244D P­54x­Nanopositionierer