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Gebrauch - Agilent Technologies Turbo-V 2300 TwisTorr Bedienungshandbuch

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  • DEUTSCH, seite 27

Gebrauch

Alle Anleitungen für einen korrekten Betrieb der Turbopumpe sind
in dem Handbuch der Steuereinheit enthalten. Dieses Handbuch vor
der Anwendung aufmerksam durchlesen.
Während der eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die
Temperatur am Eingangsflansch 80°C nicht überschreiten.
Während des Pumpenbetriebs darf die Temperatur des Läufers
niemals 120 °C überschreiten.
WARNUNG!
Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit
dem Verschlussflansch verschlossen ist. Während des Aufheizens dürfen
weder die Pumpe noch eventuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es
besteht Verbrennungsgefahr.
Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen sowie
VORSICHT!
Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da die Lager beschädigt
werden könnten. Für die Belüftung der Pumpe trockene staub und partikelfreie
Luft oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluß soll
unter 1 bar (über dem atmosphärischen Druck) betragen. Zum Pumpen von
Gasen mit Partikeln oder aggressiven Schadstoffe für die Lager, sind die Pumpen
mit einer Öff-nungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der Lager Inertgas
(Stickstoff oder Helium) zuzuleiten ist (siehe Anhang "Technical Information").
Die Pumpe niemals im Beisein von Gas oder korrosiven Dämpfen benutzen, weil
VORSICHT!
sie das Material im Innern der Pumpe beschädigen könnten.
Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01
Gebrauchsanleitung

Gebrauch

(B)
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