Gebrauch - Agilent Technologies TPS-compact 969-8217 Bedienungshandbuch

Gebrauch

In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge
erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und
pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der eventuellen
Aufheizung der Vakuumkammer darf die Temperatur am
Eingangsflansch 120 °C nicht überschreiten.
WARNUNG! Das Pumpensystem darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit
dem Verschlußflansch verschlossen ist.
WARNUNG! Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle heiße
Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbrennungsgefahr.
WARNUNG!
Die Turbopumpe darf während des Betriebes keinen Stößen oder ruckartigen
Bewegungen ausgesetzt werden. Die Lager könnten beschädigt werden und
Personen oder Gegenständen Schaden zugefügt werden.
Für die Belüftung der Pumpe staub , partikel- und feuchtigkeitsfreies Inertgas
VORSICHT!
(z.B. Stickstoff) verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluß soll unter
2 bar (über dem atmosphärischen Druck) betragen.
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (C)
Gebrauchsanleitung

Gebrauch

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