Inhaltsverzeichnis
Werbung
Az ISO bemeneti karimás turbószivattyút kapcsokkal vagy
peckekkel kell rögzíteni a vákuumkamrához. A következő
táblázat mindegyik rögzítő eszközhöz megmutatja a kapcsok
vagy peckek szükséges számát és a hozzátartozó rögzítő
nyomatékot.
KARIMA
RÖGZÍTŐ
ESZKÖZ
ISO 63
M10 kapcsok
M8 kapcsok
A ConFlat bemeneti karimás turbószivattyút a megfelelő Varian
hardverrel kell rögzíteni a vákuumkamrához. Részletes leírásért
lásd „Műszaki információ".
MEGJEGYZÉS
AMini-TASK AG81 nem rögzíthető az alapján keresztül.
Opcionális tartozékok telepítéséhez válassza a „Műszaki
információt".
HASZNÁLAT
Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat.
Végezze
el
az
összes
csatlakoztatást a rendszer használata előtt.
A vákuumkamra melegítése közben a bemeneti szelep
hőmérséklete nem haladhatja meg a 120 °C-ot.
VIGYÁZAT!
Soha ne használja a turbószivattyút, amikor a bemeneti karima
nincs csatlakoztatva a vákuumkamrához vagy nincs kiiktatva.
VIGYÁZAT!
Ne érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a
melegítési folyamat közben. Magas hőmérséklet égést okozhat.
VIGYÁZAT!
Ne mozdítsa el, és vigyázzon, ne ütközzön semmi a
turbószivattyúhoz
működés
megsérülhetnek, és anyagi kár vagy személyi sérülés történhet.
!
FIGYELEM
Használjon portól, szemcséktől vagy nedvességtől mentes
semleges gázt (pl. nitrogént) a szivattyú szellőztetéséhez. A
szellőző porton lévő nyomásnak 2 barnál kisebbnek kell lennie
(a légköri nyomás fölött).
VIGYÁZAT!
Amikor a szivattyút mérgező, gyúlékony vagy radioaktív gázok
szivattyúzására használja, kérem, kövesse az egyes gázok
ártalmatlanításához szükséges eljárásokat.
Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében.
N.
RÖGZÍTŐ
NYOMATÉK
4
22 Nm
4
11 Nm
elektromos
és
pneumatikus
közben!
A
csapágyak
A Mini-TASK AG81 bekapcsolása és
használata
A Mini-TASK AG81 bekapcsolásához elegendő rákapcsolni a
tápfeszültséget, majd a külső kapcsolót BE állásba kapcsolni
(piros lámpa ég). Az integrált vezérlő automatikusan felismeri a
tápfeszültség jelenlétét, és elindítja a szivattyút.
Első indításkor ajánlatos a „Soft Start" módot használni ennek a
vezérlőn való engedélyezésével. A következő indításokhoz
ajánlatos letiltani a „Soft Start" módot. A „Soft Start" mód
aktiválási eljárásához lásd a „Jelleírás bekezdés" a „Műszaki
információ" fejezetben.
A kék "STATUS" kijelző a Mini-TASK-AG81 alján a villogás
sűrűségével jelzi a rendszer működési állapotát.
•
nem villogásnál: a szivattyú rendesen forog;
•
lassan
villog
(kb.
emelkedőben, fékezésben, állás vagy „kapcsolatra vár"
állapotban van;
•
gyorsan villog (kb. 200 ms periódus): hibafeltétel.
A Mini-TASK AG81 vezérlőpanel részletes leírásáért lásd
„Műszaki információ" függelék.
A Mini-TASK AG81 kikapcsolása
A Mini-TASK AG81 kikapcsolásához elegendő a külső
kapcsolót KI állásba kapcsolni (piros fény kialszik). A beépített
vezérlő azonnal leállítja a szivattyút.
Vészleállítás
A Mini-TASK AG81 vészhelyzetben való azonnali leállításához
el kell távolítani a tápkábelt a hálózati dugaszból, vagy a külső
kapcsolót KI állásba kell kapcsolni.
KARBANTARTÁS
A Mini-TASK AG81 nem igényel karbantartást. A rendszeren
végzett
bármely
elvégeznie.
A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a
tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep
kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a
szivattyú felületének hőmérséklete 50 °C alá esik.
Meghibásodás esetén forduljon a Varian szervizközponthoz.
Mielőtt javításra visszaküldi a rendszert a gyártóhoz, az ehhez a
gépkönyvhöz csatolt „Egészség és biztonság" lapot ki kell
tölteni és el kell küldeni a helyi kereskedelmi irodához. A lap
egy
másolatát
szállítás
rendszercsomagba.
Ha a rendszert le kell selejtezni, azt ártalmatlanítani kell a
konkrét nemzeti szabványoknak megfelelően.
47/84
HASZNÁLATI UTASÍTÁS
400
ms
periódus):
munkát
jogosult
személyzetnek
VIGYÁZAT!
MEGJEGYZÉS
előtt
be
kell
illeszteni
87-901-003-01(A)
a
rendszer
kell
a
Werbung
Inhaltsverzeichnis
