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A730-01-882 Issue L
3.2
Überlegungen zur Systemkonzeption
Stellen Sie sicher, dass die Auslassleitung nicht verstopft werden kann. Wenn ein Abgas-Absperrventil
installiert ist, müssen Sie dafür sorgen, dass die Pumpe bei geschlossenem Ventil nicht betrieben
werden kann.
Folgende Punkte sind bei der Konzeption des Pumpsystems zu berücksichtigen:
Edwards empfiehlt die Verwendung eines Absperrventils zur Trennung der Vorvakuumleitung, damit sich die Pumpe
vor dem Verpumpen kondensierbarer Dämpfe erwärmen kann oder zur Aufrechterhaltung des Vakuums, wenn die
Pumpe nicht läuft.
Vermeiden Sie eine zu starke Erwärmung der Pumpe durch die Prozessgase, da sonst die Gefahr besteht, dass die
Pumpe überhitzt und die thermische Überlastungseinrichtung des Motors aktiviert wird.
Wird die Pumpe bei hoher Umgebungstemperatur und mit hohem Gasdurchsatz verwendet, kann der Pumpenkörper
eine Temperatur von 65 °C erreichen. Edwards empfiehlt die Verwendung zusätzlicher Schutzvorrichtungen, um den
Kontakt mit heißen Oberflächen unter diesen Bedingungen zu verhindern.
Spülen Sie die Pumpe beim Herunterfahren des Pumpsystems mit Inertgas, um zündfähige Gemische auf sichere
Konzentrationen zu verdünnen. Wenden Sie sich bei Bedarf für weitere Unterstützung zu Verdünnungsanforderungen
an Edwards.
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