Gasballastregelung; Bauweise - Edwards XDS35i Betriebsanleitung

A730-01-882 Issue L
Der Pumpenmechanismus wird direkt über einen dreiphasigen Elektromotor betrieben. Der Antrieb des Motors regelt
die Stromversorgung im Einklang mit den Betriebsbedingungen und ermöglicht den Anschluss der Pumpe an eine
einphasige Stromversorgung. Der Spannungsumschalter unter seiner Abdeckung (8) muss auf die korrekte Position
gemäß der verwendeten Stromversorgung gesetzt werden, siehe
Die Pumpe ist für den Betrieb mit Atmosphärendruck ausgelegt; wenn der Einlassdruck jedoch für einen längeren
Zeitraum 100 mbar überschreitet, kann es sein, dass der Inverter die Motordrehzahl reduziert. Nachdem der Druck
reduziert wurde, beschleunigt die Pumpe wieder. Der maximale kontinuierlicher Betriebsnenndruck bei 40 °C
Umgebungstemperatur ist 40 mbar.
Die erweiterten Pumpenversionen (XDS35iE und 35iCE) sind mit einer patentierten Technologie ausgestattet, die im
Scroll-Mechanismus bei hohem Betriebsdruck und Anwendungen mit großem Durchsatz eine Überkompression
verhindert. Doppel- Umwegventile geben ausreichend komprimiertes Gas direkt an den Pumpenauslass ab, wodurch
der Wirkungsgrad der Pumpe erhöht, der Stromverbrauch gesenkt und die Pumpgeschwindigkeit gesteigert werden.
Das Ventil wird bei Einlassdrücken von mehr als 300 mbar betätigt, was bedeutet, dass die Pumpe für Anwendungen
mit anhaltend höherem Druck ausgelegt ist. Die Beseitigung der Überkompression bei hohem Betriebsdruck reduziert
den Stromverbrauch, verringert die Belastung der Lager und verlängert die Lebensdauer der Lager. Folglich können
die erweiterten Versionen ohne Einschränkungen bezüglich der Größe der Vakuumkammer oder der Häufigkeit des
Abpumpens bei zyklischen Aufgaben betrieben werden.
Hinweis: Die Pumpenmodifikationen bei der erweiterten Version wirken sich geringfügig nachteilig auf das
erreichte Endvakuum aus, die Pumpe hat aber eine größere Toleranz gegenüber der Betriebshöhe und der
Umgebungstemperatur.
Die Pumpe wird durch ein Gebläse (Position 3) gekühlt, der am dem Motor gegenüberliegenden Ende angebracht ist.
Das Gebläse läuft noch eine Minute lang weiter, nachdem die Pumpe ausgeschaltet wurde. Die Pumpe enthält eine
thermische Schutzvorrichtung, die den Motor bei einer thermischen Überlast, etwa bei einer hohen
Umgebungstemperatur, abschaltet. Nach dem Abkühlen wird die Pumpe erneut gestartet.
1.4

Gasballastregelung

Wenn große Dampfmengen gepumpt werden, kann Gasballast in die Pumpe geleitet werden, um die Kondensierung
des im gepumpten Gas vorhandenen Dampfes zu verhindern.
Luft kann durch das Gasballast-Steuerventil (Position 2) (nicht an der Variante ohne Gasballast) in die
Niedervakuumstufen eingeblasen werden. Wahlweise kann ein Inertgas wie z. B. Stickstoff über ein geeignetes
Außenventil mit passendem Adapter eingeführt werden. Der Adapter ist als Zubehör erhältlich; nähere Informationen
finden Sie in Abschnitt 7.3.3.
Der Gasballastregler hat drei Stellungen:
geschlossen (Stellung „0")

niedriger Durchfluss (Stellung „I")

hoher Durchfluss (Stellung „II")

1.5

Bauweise

Die Pumpenspiralen sind aus eloxiertem Aluminium gefertigt. Das Motorgehäuse besteht aus Aluminium.
Die Pumpenflächen, die dem gepumpten Gas ausgesetzt sind, enthalten kein Kupfer, Zink oder Kadmium.
Weitere Konstruktionsmaterialien sind u. a. Fluorelastomere, Nitril, chemisch resistente Polymere, Nickel, Edelstahl
und ein PTFE-Verbundwerkstoff.
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Abschnitt 3.5.2.
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