Verschmutzung - Pfeiffer Vacuum PKR 251 Betriebsanleitung

Verschmutzung

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Vorsicht
Falls bei einem Druck p < 3×10
Messröhre nicht erkennen, ob das Kaltkatodensystem gezündet hat.
Sie zeigt "Pirani-Underrange" an.
Vorsicht
Halten Sie die angeflanschte Messröhre PKR 251 unabhängig vom
Druckbereich dauernd in Betrieb. Dadurch ist die Zündverzögerungs-
zeit des Kaltkatoden-Messkreises immer vernachlässigbar (<1 s), und
thermische Stabilisierungseffekte sind minimiert.
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung oder Verschleiß zurückzu-
führen sind, sowie Verschleißteile (z. B. Heizfaden), fallen nicht unter die Gewähr-
leistung.
Die Verschmutzung der Messröhre ist abhängig von der Art der Prozessmedien,
eventuell vorhandenen oder neu entstehenden Verunreinigungen und ihrem
Partialdruck. Dauernder Betrieb im Bereich 10
Verschmutzung und zu kurzen Standzeiten und Wartungsintervallen führen. Bei
dauernd tiefen Drücken (p < 1×10
Reinigung erreichbar (Reinigung der Messröhre →  18).
Eine Verschmutzung der Messröhre führt im Allgemeinen zu Abweichungen der
Messwerte:
• Im Bereich der hohen Drücke (1×10
Druckanzeige (Verschmutzung des Piranielements). Neuabgleich des Pirani-
Messsystems →  15.
•
Im Bereich der tiefen Drücke (p < 1×10
zu tiefe Druckanzeige (Verschmutzung des Kaltkatodensystems). Bei starker
Verschmutzung treten auch Instabilitäten auf (Ablösen von Schichten in der
Messkammer). Bei Verschmutzung durch isolierende Schichten ist sogar ein
völliges Verlöschen der Gasentladung möglich (Anzeige "Underrange").
Das Maß der Verschmutzung kann in begrenztem Rahmen beeinflusst werden:
•
Durch geometrische Schutzmaßnahmen (Abschirmbleche, Krümmer) für sich in
gerader Linie ausbreitende Teilchen.
•
Durch gezielte Wahl der Messröhren-Flanschposition an einem Ort, wo der
Partialdruck der Verunreinigung minimal ist.
Bei Dämpfen, die sich im Plasma (z. B. des Kaltkatoden-Messsystems) abschei-
den, ist besondere Vorsicht geboten. Notfalls die Messröhre während der Anwe-
senheit der Dämpfe abschalten.
-9
hPa eingeschaltet wird, kann die
-4 -2
hPa ... 10 hPa kann zu starker
-6
hPa) sind Standzeiten > 1 Jahr bis zur
-3
hPa ... 0.1 hPa) ergibt sich eine zu hohe
-3
hPa) ergibt sich im Allgemeinen eine
BG 5155 BDE / C (2017-07) PKR 251