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Messröhre Zusammenbauen - Pfeiffer Vacuum PKR 251 Betriebsanleitung

Compact fullrange gauge, fpm gedichtet
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5.2.3 Messröhre
zusammenbauen
Vorgehen
BG 5155 BDE / C
(2017-07)
PKR 251
Austauschen des Pirani-Messelements:
(Bei starker Verschmutzung oder Defekt)
Neue FPM-Dichtung (13a) über das Pirani-Messelement (13) in die dafür
vorgesehene Nut schieben.
Pirani-Messelement einbauen ( → Abschnitt 5.2.3).
FPM-Dichtung (11) mit dem Innenring (12) zentrisch in die Messkammer (7)
einlegen. Dichtfläche, Dichtung und Keramik müssen sauber sein
( → Figur 2).
Anode (10) inkl. Zündhilfe (10a) sorgfältig in die Messkammer einlegen.
Pirani-Messelement (13) einschließlich der aufgeschobenen FPM-Dichtung
(13a) in die dafür vorgesehene Bohrung einlegen.
Druckstück (9) vorsichtig auf die Messkammer aufsetzen und mit den
Innensechskantschrauben (8) inkl. Sicherungsscheiben (8a) gleichmäßig
bis auf Anschlag anziehen.
Positionieren der Zündhilfe (10a): Montagewerkzeug für die Zündhilfe auf
den Anodenstift stecken und bis zum Anschlag einschieben.
Partikel in der Messkammer mit trockenem Stickstoff ausblasen (und dabei
die Messkammer mit dem Flansch nach unten halten).
Poleinsatz (6) bis zum mechanischen Anschlag in die Messkammer ein-
schieben.
Sicherungsring (5) satt an den Poleinsatz einsetzen.
Kontrollieren Sie visuell, ob der Anodenstift zentrisch zur mittle-
ren Bohrung des Poleinsatzes ist (max. zulässige Exzentrizität
= 0.5 mm).
Vorsicht
19

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