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Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979
C.6 Lecksuchmethoden
Bei den meisten Lecksuchmethoden wird ein Spürgas durch das Leck geleitet und auf der
anderen Seite erfasst (z. B. das optische Erkennen von Luftblasen in Wasser).
Der Massenspektrometer-Lecksucher arbeitet mit Helium als Spürgas und wird sehr häufig
eingesetzt, weil er eine hohe Empfindlichkeit mit der Möglichkeit der Prüfung bei laufender
Produktion in sich vereint. Die drei allgemein eingesetzten Grundmethoden sind
nachstehend beschrieben.
C.6.1 Testobjekt evakuiert (Abbildung C-1a und Abbildung C-1b)
Das zu testende Objekt wird von der Lecksucher-Grobvakuumpumpe evakuiert und dann
über ein Ventil mit dem Spektrometer-Vakuumsystem verbunden. Auf die Oberfläche des
Testobjekts wird dann zur Lokalisierung einzelner Lecks ein kleiner Heliumstrahl
aufgebracht, oder das Testobjekt wird zur Durchführung einer Leck-Gesamtprüfung in
Helium eingehüllt.
Leck-
sucher
Abbildung C-1a Testobjekt evakuiert: Lokalisierung des Lecks mit Spürsonde
Leck-
sucher
Abbildung C-1b Testobjekt zur Bestimmung der Gesamtleckrate
C-6
Test-
objekt
Testobjekt
evakuiert und in Heliumatmosphäre eingehüllt
H
e
Leck
l
i
u
m
Hülle
Leck
H
e
l
i
u
m
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