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Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979
C.3 Terminologie
Die folgende Terminologie wird im gesamten Handbuch verwendet:
Durchfluss
std cc/s
atm cc/s
Anstiegsrate
Umrechnungen
Numerische
Schreibweise,
Exponentialsystem
Tabelle C-1 zeigt die Beziehung zwischen Exponenten und Multiplikatoren (Basis 10) und
der arithmetischen Form und das entsprechende Result.
Multiplikator x 10
C-2
Ein Kubikzentimeter Gas pro Sekunde bei einem Druckdifferential
von einer Standardatmosphäre (760 Torr bei 0 °C).
Ein Kubikzentimeter Gas pro Sekunde bei atmosphärischem Druck
und Umgebungstemperatur (mit std cc/s austauschbar, weil die
Differenz für die Zwecke der Leckprüfung unbedeutend ist).
Bei Vakuumsystemen ist dies die Rate des Anstiegs des absoluten
Drucks pro Zeiteinheit, wenn die Vakuumpumpe gegenüber dem
System isoliert ist, und ist die Summe der tatsächlichen Leckluft
und der internen Entgasung. Die Anstiegsrate wird für gewöhnlich
in Torr oder Mikron (Millitorr) pro Stunde ausgedrückt. Die
Durchflussrate ist in Torr-Litern/Sekunde auszudrücken.
1 std cc/s*0,76 Torr-Liter/s
1 Torr-Liter/s*1,3 std cc/s
1 atm cc/s9,7 x 10
praktisch 10
1 µCFH oder praktisch 10
*für die Praxis gleich
Die meisten Leckraten von gewerblicher Bedeutung sind sehr
kleine Teile eines std cc/s. Für die numerische Schreibweise
werden daher negative Zehnerpotenzen als zweckmäßiges System
verwendet.
Tabelle C-1 Dezimalschreibweise
n
2
1 x 10
=
1
1 x 10
=
o
1 x 10
=
-1
1 x 10
=
-2
1 x 10
=
-3
5 x 10
=
-3
1 x 10
=
4
Mikro-Kubikfuß pro Stunde (CFH) oder
5
Mikro-CFH (µCFH)
−
5 std cc/s
Arithmetische Form
1 x 10 x 10
1 x 10
1
1 x 1/10
1 x 1/10 x 1/10
5 x 1/10 x 1/10 x 1/10
1 x 1/10 x 1/10 x 1/10
Resultat
=
100
=
10
=
1
=
.1
=
.01
=
.005
=
.001
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