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Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979
3.1.5.1.1 Vakuumkalibrierung (Niederdruck)
1. Überprüfen Sie im Startbildschirm (Abbildung 3-10), ob sich der Lecksucher im Zustand
SYSTEM READY (System bereit) befindet, und ob der Testanschluss verschlossen ist.
2. Stecken Sie den Wartungsschlüssel (T009) in den Schlüsselschalter und drehen Sie
diesen in die Stellung SERVICE (Service) (siehe Abbildung 1-8 auf Seite 1-12).
3. Sofern sich das System noch nicht im Modus VENT (Entlüften) befindet, drücken Sie die
Taste VENT (Entlüften).
4. Drücken Sie die Taste TEST und prüfen Sie, ob der Lecksucher in den Modus FINE TEST
(Feintest) wechselt und 10
5. Warten Sie etwa fünf Minuten, bis sich der Vakuumsystemdruck stabilisiert hat.
6. Gehen Sie zum Bildschirm GAUGE CALIBRATION (Messgerät-Kalibrierung)
(Abbildung 3-9 auf Seite 3-10), sofern Sie ihn nicht schon geöffnet haben.
7. Berühren Sie das Feld SYSTEM TC ZERO (System TC null).
❑
Durch die Anzeige CAL OK (Kal. OK) rechts neben dem Feld SYSTEM TC ZERO
(System TC null) wird bestätigt, dass die Kalibrierung erfolgreich war.
❑
Durch die Meldung FAILED (Fehler) wird angezeigt, dass die Kalibrierung nicht
erfolgreich war. Die Ursache kann ein defektes oder verunreinigtes
Thermoelement-Messgerät oder ein wesentlich höherer tatsächlicher Druck als
1 mTorr sein.
8. Berühren Sie DONE (Fertig), um den Bildschirm zu verlassen und zum vorherigen
Menü zurückzukehren.
LEAK RATE: X.XXE-XX atm-cc/sec
T.P. PRESSURE: X.XE-XX Torr
REJECT# 2,4
SYSTEM READY
SYS INFO
Abbildung 3-10 979 Touchscreen-Startbildschirm
−9
atm cc/s oder weniger anzeigt.
979
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3-11
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