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Agilent Technologies 979 Betriebshandbuch
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Agilent Technologies 979 Betriebshandbuch

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Helium-Massenspekt
rometer-Lecksucher
Modell 979
Handbuch Nr. 699909979
Ausgabe L
März 2005
NOTICE: This document contains references to Varian.
Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent
Technologies. For more information, go to
www.agilent.com/chem.
vacuum technologies
BETRIEBSHANDBUCH

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Verwandte Anleitungen für Agilent Technologies 979

Inhaltszusammenfassung für Agilent Technologies 979

  • Seite 1 NOTICE: This document contains references to Varian. Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent Technologies. For more information, go to www.agilent.com/chem. vacuum technologies Helium-Massenspekt BETRIEBSHANDBUCH rometer-Lecksucher Modell 979 Handbuch Nr. 699909979 Ausgabe L März 2005...
  • Seite 2 Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Contra-Flow, ConvecTorr und TriScroll sind Marken bzw. eingetragene Marken von Vacuum Technologies. Alconox ist eine eingetragene Marke von Alconox, Inc. Apiezon ist eine eingetragene Marke von M&I Materials Ltd. Loctite und PST sind eingetragene Marken von Loctite Corporation.

  • Seite 3: Ersatz Und Anpassung Im Rahmen Der Garantie

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Garantie Für die vom Verkäufer hergestellten Produkte wird eine Garantie für Material- und Ausführungsmängel von zwölf Monaten ab dem Datum der Lieferung an den Kunden gewährt. Die Haftung des Verkäufers ist bei gültigen Garantieansprüchen nach Ermessen des Verkäufers auf die Reparatur, den Ersatz oder die Rückerstattung eines angemessenen Teils des Kaufpreises des Produkts beschränkt.
  • Seite 4 Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Leere Seite...

  • Seite 5: Inhaltsverzeichnis

    Pumpen..........................xxiii Vacuum Technologies Services ....................xxiv Kontaktieren von Vacuum Technologies ................. xxiv Abschnitt 1. Einführung zur Modellreihe 979 .................. 1-1 1.1 Das Modell 979 ........................1-1 1.1.1 Konfigurationen der Modellreihe 979 ................1-1 1.2 Auspacken des 979 ......................1-7 1.2.1 Anleitung zum Auspacken...................
  • Seite 6 2.3 Touchscreen-Menüs ......................2-7 2.3.1 Touchscreen-Kontrasteinstellung ................2-7 2.3.2 Ändern von Variablen in Touchscreen-Bildschirmen ..........2-7 2.3.3 Auswählen von Optionen in Touchscreen-Bildschirmen..........2-8 2.4 979 Touchscreen-Startbildschirm ..................2-9 2.4.1 Digital Leckrate ......................2-9 2.4.2 Testanschlussdruck ....................2-10 2.4.3 Lecksucherstatus ...................... 2-10 2.4.4 Lecksucherzustand ....................
  • Seite 7 4.4 Erneuern der Ionenquelle außerhalb der jährlichen Wartung ..........4-22 4.4.1 Zusammenbau ......................4-23 4.5 Mechanische Pumpe ......................4-24 4.5.1 Ölwechsel bei ölversiegelten Pumpen ..............4-24 4.5.2 Erneuerung der Dichtleiste bei der TriScroll-Pumpe..........4-24 4.6 Ersatzteilliste für 979......................4-24 4.7 Zubehörliste für 979 ......................4-26...
  • Seite 8 Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Anhang A. Schnittstellenanschlüsse am hinteren Bedienfeld ............A-1 A.1 Optisch isolierte Ausgänge....................A-1 A.2 Optisch isolierte Eingänge....................A-3 A.3 Nicht isolierte serielle und analoge Schnittstellen ...............A-4 A.4 Fernsteuerungsanschluss ....................A-5 Anhang B. Kommunikationsprotokoll ....................B-1 B.1 Protokoll (RS-232) .......................B-1 B.2 Kommunikation mit RS-232....................B-2 B.2.1 Anleitung zur Einrichtung von Windows HyperTerminal ..........B-2...
  • Seite 9 Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Liste der Abbildungen Abbildung Beschreibung Seite Stationäres Modell 979....................1-1 Einzelne, ölversiegelte Konfiguration mit mechanischer Pumpe auf zweirädrigem Wagen ................1-2 Einzelne, trockene Konfiguration mit mechanischer Pumpe auf zweirädrigem Wagen ................1-3 Einzelne, trockene Konfiguration mit mechanischer Pumpe auf vierrädrigem Wagen..................
  • Seite 10 Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Bildschirm „Manual Spectube Tuning“ (Manuelle Spektrometerrohr-Abstimmung) ..3-4 Bildschirm „Manual Valve Control“ (Manuelle Ventilsteuerung) ........3-7 Vakuumsystem des 979....................3-9 Bildschirm „System Initialize Set-Up“ (Einrichten der Systeminitialisierung)....3-9 Bildschirm „Gauge Calibration“ (Messgerät-Kalibrierung)......... 3-10 3-10 979 Touchscreen-Startbildschirm ................3-11 Vorderes Bedienfeld....................
  • Seite 11 Zustände im Systeminformations-Bildschirm ............2-15 Lecksucher 979 mit Standardempfindlichkeit............2-28 Lecksucher 979 mit hoher Empfindlichkeit............... 2-28 Ventilstatus-Tabelle für 979 - System mit einer mechanischen Pumpe ..... 3-8 Ventilstatus-Tabelle für 979 - System mit zwei mechanischen Pumpen....3-8 Planmäßige Wartung....................4-3 Bedarfsabhängige Wartung..................
  • Seite 12 Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Leere Seite...

  • Seite 13: Konformitätserklärung

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 to which this declaration relates is in conformity with the following standard(s) or other normative documents. auf das sich diese Erklärung bezieht, mit der/den flogenden Norm(en) oder Richtlinie(n) übereinstimmt.

  • Seite 14: Vorwort

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Vorwort Hinweise zu Gefahren und Sicherheit Nachstehend finden Sie einige gebräuchliche internationale Symbole, die in diesem Handbuch und am System verwendet werden. ° Netzschalter in Erde AUS-Position Netzschalter in Heiße Oberfläche EIN-Position AC – Wechselstrom Gefährliche Spannung,...

  • Seite 15: Lösungsmittel

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Bedienungs- und Wartungspersonal muss alle Gefahren im Zusammenhang mit dieser Maschine kennen. Es muss wissen, wie gefährliche und potenziell gefährliche Bedingungen erkannt werden und wie sie vermieden werden können. Eine unwissende, unsachgemäße oder fahrlässige Bedienung der Maschine kann schwerwiegende Folgen haben. Dieses Produkt ist ausschließlich von ausgebildetem Personal zu bedienen und zu warten.

  • Seite 16: Gerät, Allgemein

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Gerät, allgemein Der Lecksucher eignet sich nicht für den Einsatz bei ACHTUNG Vorhandensein gefährlicher Gase. Vergewissern Sie sich, dass alle gefährlichen Gase vom System abgelassen wurden, bevor Sie den Lecksucher benutzen. Bei der Prüfung eines Systems, das gefährliche Gase enthalten hat, muss der Ablass des Lecksuchers an einen gewaschenen Ablass oder einen Eindämmungsablass für toxische Stoffe angeschlossen werden.

  • Seite 17: Strom Und Statik

    Abzweigleitung (mindestens 20 A) mit langer Verzögerungszeit und einer betriebssicheren Erde gehören. Das Kabel darf nicht verlängert werden. Trennen Sie den 979 von der Netzversorgung, bevor Sie Wartungsmaßnahmen durchführen, die eine physische Trennung eines Systemteils erfordert. Benutzen Sie nur das zum Lieferumfang des Lecksuchers gehörende Netzkabel.
  • Seite 18 Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Dieses Gerät ist auf die Einhaltung der folgenden aktuellen ACHTUNG EU-Bestimmungen ausgelegt: Niederspannungsrichtlinie 73/23/ EWG und Richtlinie für elektromagnetische Verträglichkeit 89/ 336/EWG für Anlagen der Kategorie II, Einsatzbereich der Verschmutzungsklasse II für elektrische Systeme in den Bereichen Industrie, Wissenschaft, Messwesen und Prozesssteuerung.
  • Seite 19 Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Verbindungskabel. Nach Trennen des Netzkabels dürfen Sie mindestens 10 Sekunden lang nicht mit den Stromanschlusskontakten in Berührung u kommen. Dieses Gerät erzeugt, benutzt und gibt u. U. VORSICHT Hochfrequenzenergie ab und kann, wenn es nicht gemäß dem Handbuch installiert und betrieben wird, zur Störungen des...

  • Seite 20: Vakuumsysteme Und Sauberkeit

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Vakuumsysteme und Sauberkeit Bei der Wartung von Lecksuchern oder Vakuumsystemen ist Sauberkeit von größter Bedeutung. Einige Vorgehensweisen spielen bei der Wartung von Lecksuchern eine größere Rolle als bei allgemeinen Arbeiten an Vakuumsystemen. Benutzen Sie kein Öl oder Fett auf Silikonbasis.

  • Seite 21: Pflege Von O-Ringen

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Pflege von O-Ringen Beim Entfernen, Prüfen oder Auswechseln von O-Ringen ist Folgendes zu beachten: Vacuum Technologies empfiehlt, im Rahmen der HINWEIS routinemäßigen Wartung oder bei sonstigen Wartungsmaßnahmen, die das Entfernen von O-Ringen erfordern, alle O-Ringe zu ersetzen.

  • Seite 22: Spektrometerrohr

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Spektrometerrohr Das Spektrometerrohr wird mit einem sehr starken Vakuum VORSICHT betrieben, das von der Hochvakuumpumpe erzeugt wird. Zur Wartung des Spektrometerrohrs ist eine Ableitung dieses Vakuums ins Freie erforderlich. Tragen Sie kein Fett oder andere Substanzen auf O-Ringe auf, VORSICHT die mit dem Spektrometerrohr in Berührung kommen.

  • Seite 23: Pumpen

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Pumpen Setzen Sie zum Bewegen von Pumpen angemessene ACHTUNG Hebemethoden ein, um Verletzungen zu vermeiden. In Ihrem System können Pumpen vorhanden sein, die nur von zwei Personen ohne Gefahr bewegt werden können. Die Vakuumpumpen sind auch Kompressoren; ihr ACHTUNG unsachgemäßer Betrieb kann gefährlich sein.

  • Seite 24: Vacuum Technologies Services

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Vacuum Technologies Services Im Folgenden werden nur zwei der zahlreichen Dienstleistungen aufgeführt, die Vacuum Technologies seinen Kunden zu bieten hat. Um Näheres über die verfügbaren Dienstleistungen zu erfahren, nehmen Sie bitte auf unseren Katalog Bezug oder setzen Sie sich mit uns in Verbindung.

  • Seite 25: Abschnitt 1. Einführung Zur Modellreihe

    Turbomolekular-Hochvakuumpumpe, einem Spektrometerrohr, einem Ventilblock, der Plattform-Lecksucherelektronik von Vacuum Technologies und einer Bedienerschnittstelle in einem eleganten, aber robusten Gehäuse. Der 979 ist als eigenständiges Gerät für den stationären Einsatz oder als einfache oder doppelte, trockene oder ölversiegelte Leckprüfstation mit mechanischer Pumpe auf einem Wagen lieferbar.

  • Seite 26: Einzelne, Ölversiegelte Konfiguration Mit Mechanischer Pumpe Auf Zweirädrigem Wagen

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Abbildung 1-2 zeigt die Umrisszeichnung und die Abmessungen einer einzelnen ölversiegelten Leckprüfstation mit mechanischer Pumpe mit dem Lecksucher Modell 979 auf einem zweirädrigen Wagen. Abbildung 1-2 Einzelne, ölversiegelte Konfiguration mit mechanischer Pumpe auf zweirädrigem Wagen...

  • Seite 27: Einzelne, Trockene Konfiguration Mit Mechanischer Pumpe Auf Zweirädrigem Wagen

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Abbildung 1-3 zeigt die Umrisszeichnung und die Abmessungen einer einzelnen trockenen Leckprüfstation mit mechanischer Pumpe mit dem Lecksucher Modell 979 auf einem zweirädrigen Wagen. Abbildung 1-3 Einzelne, trockene Konfiguration mit mechanischer Pumpe auf zweirädrigem Wagen...

  • Seite 28: Einzelne, Trockene Konfiguration Mit Mechanischer Pumpe Auf Vierrädrigem Wagen

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Abbildung 1-4 zeigt die Umrisszeichnung und die Abmessungen einer einzelnen trockenen Leckprüfstation mit mechanischer Pumpe mit dem Lecksucher Modell 979 auf einem vierrädrigen Wagen. Abbildung 1-4 Einzelne, trockene Konfiguration mit mechanischer Pumpe auf vierrädrigem Wagen...

  • Seite 29: Doppelte, Ölversiegelte Konfiguration Mit Mechanischer Pumpe Auf Vierrädrigem Wagen

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Abbildung 1-5 zeigt die Umrisszeichnung und die Abmessungen einer doppelten ölversiegelten Leckprüfstation mit mechanischer Pumpe mit dem Lecksucher Modell 979 auf einem vierrädrigen Wagen. Abbildung 1-5 Doppelte, ölversiegelte Konfiguration mit mechanischer Pumpe auf vierrädrigem Wagen...

  • Seite 30: Doppelte, Trockene Konfiguration Mit Mechanischer Pumpe Auf Vierrädrigem Wagen

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Abbildung 1-6 zeigt die Umrisszeichnung und die Abmessungen einer doppelten trockenen Leckprüfstation mit mechanischer Pumpe mit dem Lecksucher Modell 979 auf einem vierrädrigen Wagen. Abbildung 1-6 Doppelte, trockene Konfiguration mit mechanischer Pumpe auf vierrädrigem Wagen...

  • Seite 31: Auspacken Des 979

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 1.2 Auspacken des 979 Der Lecksucher 979 wurde sorgfältig auf eine federnd befestigte Palette gestellt und in einen stabilen, mit Bändern an der Palette befestigten Pappkarton gepackt. Untersuchen Sie den Container nach der Anlieferung auf Anzeichen von Transportschäden. Vernichten Sie keine Belege für grobe Handhabung.

  • Seite 32: Abnehmen Des979 Von Der Palette

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 1.2.2 Abnehmen des979 von der Palette Der 979 kann auf zweierlei Weise von der Palette genommen werden. Für beide Methoden sind zwei Personen erforderlich. Bei der zweiten Methode müssen die Skid-Mates (die blauen ringförmigen Halterungen an der Vorderseite der Palette) von der Palette abmontiert werden.

  • Seite 33: Für Den Betrieb Erforderliche Anschlüsse

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 1.3 Für den Betrieb erforderliche Anschlüsse 1.3.1 Strom Je nach der von Ihnen bestellten Konfiguration wird für den Lecksucher der Reihe 979 einer der folgenden Netzanschlüsse benötigt: ❑ 100 VAC, 20 A, 50 Hz / 115 VAC, 20 A, 60 Hz oder ❑...

  • Seite 34: Helium

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 1.3.2 Helium Zum Testen von Produkten und zum Prüfen des 979 auf Dichtigkeit wird Schweißhelium in einem Standardzylinder mit Druckregelventil und Schlauch benötigt. 1.3.3 Empfohlene zusätzliche Anschlüsse Die folgenden zusätzlichen Anschlüsse werden insbesondere bei Verwendung in einem Reinraum empfohlen: ❑...

  • Seite 35: Installation

    Der Lecksucher der Reihe 979 wird gemäß Bestellung vollständig montiert geliefert. Stellen Sie den 979 in der Nähe des Stromanschlusses auf. Achten Sie darauf, dass mindestens 10 cm für die erforderliche Entlüftung und ausreichend Platz für den Bediener für die gefahrlose Ausführung von Tests vorhanden ist.

  • Seite 36: Lagerung

    ❑ 1.7 Anzeigen und Bedienelemente am vorderen Bedienfeld Die Leckratenanzeige und die Tasten für die Bedienung des 979 befinden sich vorn rechts am Lecksucher (Abbildung 1-8). Die Tasten sind groß, farblich codiert und deutlich beschriftet, und die Balkendiagramm-Anzeige ist groß und leicht ablesbar. Nachstehend folgt eine kurze Beschreibung der Bedientasten.
  • Seite 37 Testzustände geschaltet, je nach den erreichbaren Testanschlussdrücken und Leckraten. Die grüne LED über der Taste leuchtet auf, wenn sich der 979 in einem Testzustand befindet. Befindet sich der 979 im Modus TEST, wird er durch Drücken der Taste TEST/HOLD automatisch in den Modus HOLD (Halten) geschaltet.
  • Seite 38 Wert setzt. Siehe Abschnitt 3.1.1.1 “AUTO-ZERO < 0 (AUTO-NULL < 0)” auf Seite 3-3. Am 979 wird keine Leckrate angezeigt, wenn die Leuchte UNDER aufleuchtet. Leuchtet diese Leuchte länger als einige Sekunden auf, ist das System durch Einstellen der Betriebsparameter auf den korrekten Nullwert neu zu kalibrieren.

  • Seite 39: Bedienelemente An Der Geräterückseite

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 1.8 Bedienelemente an der Geräterückseite 1.8.1 Bedienfeld für Systemsteuerung und Kommunikation Das Bedienfeld für Systemsteuerung und Kommunikation (Abbildung 1-9) befindet sich unten links auf der Rückseite des Geräts. ➄ ➀ ➁ ➂ ➅ ➃ Abbildung 1-9 Bedienfeld für Systemsteuerung und Kommunikation ➀...

  • Seite 40: Netzsteuerung Und Leistungsschalter

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 1.8.2 Netzsteuerung und Leistungsschalter Das Stromeingangs- und Leistungsschaltermodul des 979 befindet sich unten rechts auf der Rückseite des Geräts (Abbildung 1-10). Das Schild über diesem Bedienfeld enthält Informationen über die Anschlüsse dieses Bedienfelds. ➅ ➄ ➆ ➀...
  • Seite 41 Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 ➀ Hauptnetzschalter/Leistungsschalter Das Stromeingangsmodul enthält den Hauptnetzschalter/Leistungsschalter. Der 979 kann in jedem Zustand ausgeschaltet werden. Um das Vakuumsystem zu schützen und sauber zu halten, werden nach dem Ausschalten alle internen Ventile geschlossen. ➁ Stromeingangsfilteranschluss In den Netzanschluss wird das zum Lieferumfang des Lecksuchers gehörende...

  • Seite 42: Universal-Fernsteuerungsoption

    1.9 Universal-Fernsteuerungsoption Mit der in Abbildung 1-11 gezeigten Universal-Fernsteuerung kann der Lecksucher der Reihe 979 in begrenztem Maße aus einer Entfernung von bis zu 7,5 m gesteuert werden. Angeschlossen wird die Universal-Fernsteuerung am Anschluss mit der Bezeichnung Varian Remote Control auf der Rückseite des Geräts (siehe Abbildung 1-9 auf Seite 1-15). Zur Bedienung siehe das zum Lieferumfang der Fernsteuerung gehörende Betriebshandbuch...

  • Seite 43: Technische Daten

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 1.10 Technische Daten Die technischen Daten des Lecksuchers der Reihe 979 finden Sie in Tabelle 1-1. Tabelle 1-1 Technische Daten der Reihe 979 Technische Daten Versionen des 979-Helium-Massenspektrometers Systemempfindlichkeit Standardempfindlichkeit Hohe Empfindlichkeit Hochvakuumpumpe, Vacuum Technologies Turbomolekularpumpe luftgekühlt, wartungsfrei...

  • Seite 44: Technische Daten Der Reihe 979

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Tabelle 1-1 Technische Daten der Reihe 979 (Continued) Technische Daten Versionen des 979-Helium-Massenspektrometers Nullregelung Einstellbare Modus-Hintergrunddeaktivierung mit der einzigartigen Funktion AUTOZERO<0. Leckanzeige Mit einer auf 50 Segmenten bestehenden Balkendiagrammanzeige (linear oder logarithmisch) werden die Leckraten automatisch angezeigt; die alphanumerische Anzeige erfolgt über ein LCD-Display.
  • Seite 45 Seite 1-6). Gewicht 23 kg netto - eigenständiges stationäres Gerät. 180 lb. (82 kg.) netto – nasse 979-Einpumpenversion mit ölversiegelter Pumpe DS-302 auf einem zweirädrigen Wagen. 243 lb. (111 kg) netto – nasse 979-Zweipumpenversion mit ölversiegelten Pumpen DS302 und SD451 auf einem vierrädrigen Wagen.
  • Seite 46 Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Leere Seite...

  • Seite 47: Abschnitt 2. Betrieb Des Lecksuchers

    Der 979 kann eine automatische Kaliebrierungsroutine durchführen, und zwar unter Verwendung eines internen kalibrierten Lecks (werkseitig eingebaut) oder eines externen kalibrierten Lecks, das am Testanschluss angeschlossen wird. Wie Sie den 979 korrekt für die automatische Kalibrierung einrichten, können Sie in Abschnitt 2.6.1 “Einrichtung des kalibrierten Lecks”...

  • Seite 48: Abschalten

    Testmodus zu schalten. Der optimale Prüfmodus wird in Abhängigkeit von der Konfiguration und der Einrichtung des Systems sowie vom erreichbaren Testanschlussdruck und von der erreichbaren Leckrate automatisch ausgewählt. Die LED TEST über der gleichnamigen Taste leuchtet auf, wenn sich der 979 in einem Testzustand befindet.
  • Seite 49 Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Wird die Taste TEST/HOLD (Testen/Halten) gedrückt, während sich der 979 im Testzustand befindet, wechselt das Gerät in den Zustand HOLD (Halten) und die LED HOLD (Halten) unter der gleichnamigen Taste leuchtet auf. Im Modus HOLD (Halten) ist das Ventil V6 des Testanschlusses geschlossen, so dass der Testanschluss gegenüber Testobjekten oder Vorrichtungen vom...
  • Seite 50 Parameter durchgeführt (Abschnitt 2.6.1 “Einrichtung des kalibrierten Lecks” auf Seite 2-18). CALIBRATE (Kalibrieren) bewirkt, dass der 979 das interne Standardleck auspumpt und für das System freigibt bzw., wenn bei der Konfiguration EXTERNAL LEAK (Externes Leck) eingestellt wird, überprüft, ob der Testanschluss ausgepumpt und für das System freigegeben wird.
  • Seite 51 Größe des Lecks entspricht. Mit der Taste SNIFFER ON/OFF (Sniffer Ein/Aus) wird der Modus SNIFFER des Lecksuchers 979 ein- und ausgeschaltet. Die LED SNIFFER leuchtet auf, wenn der Modus SNIFFER aktiviert ist. Drücken Sie, wenn sich der Lecksucher im Modus VENT (Entlüften) befindet, die Taste SNIFFER ON/OFF (Sniffer Ein/Aus), um den Testzyklus zu starten.

  • Seite 52: Sniffer-Einrichtung

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 2.2.1 Sniffer-Einrichtung 1. Entlüften Sie den 979, und führen Sie eine Vacuum Technologies Power Probe (Teilenummer K9565306) in den Testanschluss ein. Weitere Power Probe-Konfigurationen entnehmen Sie bitte dem Produktkatalog. 2. Setzen Sie den Wert für Range Stop (Bereich Stopp) auf 10 - 07 (siehe Abbildung 2-12 auf Seite 2-25).

  • Seite 53: Touchscreen-Menüs

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 2.3 Touchscreen-Menüs Der Lecksucher 979 besitzt einen Touchscreen für die erste Einrichtung und Konfiguration des Lecksuchers. Nachdem der Lecksucher für eine bestimmte Anwendung eingerichtet und konfiguriert ist, erfolgt die grundlegende Steuerung über die deutlich beschrifteten Tasten, die im vorherigen Abschnitt beschrieben wurden. Der Startbildschirm des Touchscreens ist in Abbildung 2-2 dargestellt und wird in Abschnitt 2.4 “979 Touchscreen-Startbildschirm”...

  • Seite 54: Auswählen Von Optionen In Touchscreen-Bildschirmen

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 3. Berühren Sie den Pfeil NXT (Weiter), um die nächste zu ändernde Ziffer zu markieren, und stellen Sie deren Wert ein, indem Sie Schritt 2 wiederholen. 4. Berühren Sie das Feld OK, um die Änderungen zu akzeptieren und die neuen Werte der Parameter im Speicher des Lecksuchers zu speichern.

  • Seite 55: Touchscreen-Startbildschirm

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 2.4 979 Touchscreen-Startbildschirm Auf dem Touchscreen-Startbildschirm des 979 wird eine Übersicht über die folgenden Status- und Konfigurationseinstellungen angezeigt: ❑ ❑ Digitale Leckratenanzeige Testanschlussdruck ❑ ❑ Leaksucherstatus (nicht gezeigt) Zustandsanzeige (nicht gezeigt) ❑ ❑ Rückweisstatus-Anzeige Systembereitschaftsanzeige ❑ ❑...

  • Seite 56: Testanschlussdruck

    Der Lecksucherstatus (in Abbildung 2.4 auf Seite 2-9 nicht gezeigt) wird direkt unter der Testanschluss-Druckanzeige angezeigt und gibt Auskunft über den aktuellen Betriebsstatus des 979. Zu den normalen Betriebszuständen siehe Tabelle 2-2. 2.4.4 Lecksucherzustand Der Lecksucherzustand (in Abbildung 2.4 auf Seite 2-9 nicht gezeigt) wird direkt unter dem Lecksucherstatus angezeigt und gibt Auskunft über den aktuellen Zustand des Lecksuchers.

  • Seite 57: Touchscreen-Felder Sys Info Und Menus (Menüs)

    Berühren Sie das Feld MENUS (Menüs) rechts unten im Startbildschirm, um den Bildschirm „First Menu“ (Erstes Menü) zu öffnen. Der Bildschirm „First Menu“ (Erstes Menü) wird in Abschnitt 2.6 “Bildschirm „First Menu“ (Erstes Menü)” auf Seite 2-17 beschrieben. Tabelle 2-2 Betriebszustände des 979 Anzeige Beschreibung CALIBRATING Zeigt an, dass der Lecksucher derzeit eine Kalibrierungsroutine ausführt.
  • Seite 58 Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Tabelle 2-3 Zustände des 979 Anzeige Beschreibung [BLANK] (Leer) Unter normalen Betriebsbedingungen ist diese Zeile leer. BACKING (Stabilisieren) Zeigt an, dass der Lecksucher während einer längeren Grobvakuumphase eine Stabilisierung der Vorvakuumseite der Hochvakuumpumpe vornimmt. Dieser Zustand ist nur bei Einpumpen-Konfigurationen vorhanden.

  • Seite 59: Zustände Des 979

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Tabelle 2-3 Zustände des 979 (Continued) Anzeige Beschreibung NO FOCUS PEAK (Keine Fokusspitze) Zeigt einen Abstimmungs-/Kalibrierungsfehler an, der aufgetreten ist, weil das System bei der automatischen Abstimmungsroutine keine Fokusspitze gefunden hat. NO ION PEAK (Keine Ionenspitze) Zeigt einen Abstimmungs-/Kalibrierungsfehler an, der aufgetreten ist, weil das System bei der automatischen Abstimmungsroutine keine Ionenspitze gefunden hat.

  • Seite 60: Systeminformations-Bildschirm Des 979

    SYSTEM READY AUTO SEQUENCER: OFF SYS INFO MENUS BACK Abbildung 2-6 Systeminformations-Bildschirm, typische Anzeige Rechts unten im Bildschirm „System Info“ befindet sich ein Touchscreen-Feld mit der Bezeichnung BACK (Zurück). Berühren Sie dieses Feld, um zum Startbildschirm des 979 zurückzukehren. 2-14...

  • Seite 61: Zustände Im Systeminformations-Bildschirm

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Tabelle 2-4 Zustände im Systeminformations-Bildschirm ZUSTAND ANZEIGE BESCHREIBUNG AUDIO SET POINT AUDIO SET POINT Lautstärke-Sollwert ist aktiv. (Lautstärke-Sollwert) (Lautstärke-Sollwert): ACTIVE (Aktiv) AUDIO SET POINT Lautstärke-Sollwert ist inaktiv. (Lautstärke-Sollwert): INACTIVE (Inaktiv) AUTO SEQUENCER AUTO SEQUENCER Die automatische Ablaufsteuerung...
  • Seite 62 Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Tabelle 2-4 Zustände im Systeminformations-Bildschirm (Continued) ZUSTAND ANZEIGE BESCHREIBUNG RANGE STOP (Bereich RANGE STOP -[EXP] (Bereich System ist so eingerichtet, dass als Stopp) Stopp - [EXP]) empfindlichster Leckratenbereich [EXP] angezeigt wird. REJECT SET POINT REJECT# 1,2,3,4 ACTIVE Die angezeigten (Rückweisungs-Sollwert)

  • Seite 63: Bildschirm „First Menu" (Erstes Menü)

    Berühren Sie das Feld MENUS (Menüs) im Startbildschirm, um den Bildschirm „Main Menu“ (Hauptmenü) (Abbildung 2-7) zu öffnen. Der Bildschirm „Main Menu“ (Hauptmenü) enthält die für die allgemeine Einrichtung des 979 verfügbaren Fenster. Durch Berühren des Felds BACK (Zurück) in diesem Bildschirm wird der Startbildschirm aufgerufen. Durch Berühren des Felds NEXT (Weiter) wird der Bildschirm „Second Menu“...

  • Seite 64: Einrichtung Des Kalibrierten Lecks

    Lecks für die Kalibrierung Berühren Sie das Feld USE INT/EXT LEAK (Int/Ext Leck verwenden), um festzulegen, ob der 979 eine automatische Kalibrierung auf das optionale interne kalibrierte Leck oder ein am Testanschluss angeschlossenes externes kalibriertes Leck durchführen soll. 2-18...

  • Seite 65: Auswahl Der Normalen Oder Schnellen Kalibrierungsroutine

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 2.6.1.2 Auswahl der normalen oder schnellen Kalibrierungsroutine Berühren Sie das Feld USE FULL/FAST CAL (Normale/Schnelle Kalibrierung verwenden), um zwischen FULL CALIBRATION (Normale Kalibrierung) und FAST CALIBRATION (Schnelle Kalibrierung) umzuschalten). FULL CALIBRATION Die Kalibrierungsroutine umfasst die sorgfältige Abstimmung und (Normale die Einstellung der Systemverstärkung (Kalibrierung).

  • Seite 66: Rückweisungs- Und Lautstärke-Sollwerte

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 2.6.2 Rückweisungs- und Lautstärke-Sollwerte Berühren Sie das Feld REJECT & AUDIO SET POINTS (Rückweisungs- und Lautstärke-Sollwerte), um den Bildschirm „Reject and Audio Set Points“ (Rückweisungs- und Lautstärke-Sollwerte) zu öffnen (Abbildung 2-9). Stellen Sie in diesem Bildschirm die Parameter ein, um den Wert der vier Rückweisungs-Sollwerte und des Lautstärke-Sollwerts...

  • Seite 67: Einrichtung Der Automatischen Ablaufsteuerung

    Ablaufsteuerung), um den Bildschirm „Auto Sequencer Set-Up“ (Automatische Ablaufsteuerung einrichten) zu öffnen, siehe Abbildung 2-10. Über die automatische Ablaufsteuerung kann der 979 so eingerichtet werden, dass er automatisch einen kompletten Testzyklus (START/ROUGH/TEST/VENT) durchläuft, wobei der betreffende Teil des Tests je nach den vom Bediener eingegebenen Testspezifikationen bestanden oder nicht bestanden wird.

  • Seite 68: Steuerelemente Für Die Einrichtung Der Automatischen Ablaufsteuerung

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Nach Abschluss eines automatischen Testzyklus erfasst der 979 das Leckratensignal, das unmittelbar vor Ablauf des automatischen Testzyklus gemessen wurde. Diese Leckrate wird am vorderen Bedienfeld angezeigt und im analogen Ausgang des E/A-Anschlusses gespeichert, bis der nächste Testzyklus gestartet wird. Auf diese Weise kann der Endbenutzer die aktuelle Leckrate für das betreffende Testobjekt notieren.

  • Seite 69: Einrichtung Der Grobvakuumpumpe

    Bildschirm „Rough Pump Set-Up“ (Grobvakuumpumpe einrichten) (Abbildung 2-11) zu öffnen, in dem die Funktion der Grobvakuumpumpe in einem Zweipumpensystem festgelegt werden kann. Die Zweipumpenversion des 979 kann so konfiguriert werden, dass die Grobvakuumpumpe nur während des Abpumpzyklus oder so, dass sie sowohl während des Abpump- als auch während des Testzyklus am Testanschluss angeschlossen ist.

  • Seite 70: Eingeben Der Größe Der Grob- Und Der Vorvakuumpumpe

    Berühren Sie das Feld FORE PUMP SIZE (Vorvakuumpumpengröße) und wählen Sie 300 LPM oder 600 LPM. Diese Werte müssen unbedingt korrekt eingestellt werden, wenn der 979 für den Test bei geteiltem Durchfluss konfiguriert ist. Diese Einstellung ermöglicht das direkte Messen der Leckrate.

  • Seite 71: Einrichten Des Leckratenbereichs

    2.6.5.1 Einrichtung und Überwachung der Parameter „Range Stop“ (Bereich Stopp) und „Manual Range“ (Manueller Bereich) RANGE STOP Mit der Funktion RANGE STOP (Bereich Stopp) wird der 979 so (Bereich Stopp) konfiguriert, dass sein Bereich automatisch nur bis zur zuvor festgelegten Dekade, die im Variablenfeld für „Bereich Stopp“...

  • Seite 72: Auswählen Des Modus „Fine Test" (Feintest) Oder „Gross Test Only" (Nur Grobtest)

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 MANUAL RANGE (manueller Bereich) Mit der Funktion MANUAL RANGE (Manueller Bereich) wird der 979 so konfiguriert, dass er nur die zuvor im Variablenfeld für „Manueller Bereich“ festgelegte Dekade anzeigt. Beispiel: Wurde die Funktion „Manueller Bereich“ aktiviert und die zugehörige Variable auf 10-06...

  • Seite 73: Systemempfindlichkeit

    Tabelle 2-5 und Tabelle 2-6 on page 2-28 enthalten eine Übersicht über die Empfindlichkeitswerte für die Durchführung von Fein- und Grobtests mit Standard- und hoher Empfindlichkeit. Systeme mit hoher Empfindlichkeit Der Lecksucher 979 mit hoher Empfindlichkeit −10 kann eine Empfindlichkeit von 10 atm cc/s (5E-11 MDL) erreichen.

  • Seite 74: Lecksucher 979 Mit Standardempfindlichkeit

    100 mTorr 100 mTorr 5 Torr 5 Torr 5 Torr 5 Torr *MS – MIDSTAGE (mittlere Stufe) **CF – CONTRA-FLOW ***GL – GROSS LEAK (Grobleck) Tabelle 2-6 Lecksucher 979 mit hoher Empfindlichkeit Test Fein Grob (2 Pumpen) Bereich –10 –9 –8...

  • Seite 75: Einrichtung Der Ausgangssteuerung

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 2.6.6 Einrichtung der Ausgangssteuerung Berühren Sie das Feld OUTPUT CONTROL SET-UP (Einrichtung der Ausgangssteuerung), um den Bildschirm „Output Control Set-Up“ (Ausgangssteuerung einrichten) zu öffnen (Abbildung 2-13). In diesem Bildschirm stellen Sie die gewünschte Leckrate, den Modus BARGRAPH DISPLAY (Balkendiagramm-Anzeige) und das Kommunikationsprotokoll RS-232 ein.

  • Seite 76: Einrichtung Der Balkendiagramm-Anzeige

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 2.6.6.2 Einrichtung der Balkendiagramm-Anzeige Berühren Sie das Umschaltfeld „Bargraph Display“ (Balkendiagramm-Anzeige), um die Balkendiagramm-Anzeige zwischen den Modi LOG BARGRAPH DISPLAY (Log. Balkendiagramm-Anzeige) und LINEAR BARGRAPH DISPLAY (Lineare Balkendiagramm-Anzeige) umzuschalten. LOG BARGRAPH Im Modus LOG BARGRAPH DISPLAY (Log.

  • Seite 77: Einrichtung Des Seriellen Kommunikationsprotokolls

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Abbildung 2-15 Lecksucher - Lineare Ausgangsspannung 2.6.6.3 Einrichtung des seriellen Kommunikationsprotokolls Im Bildschirm „Output Control Set-Up“ (Ausgangssteuerung einrichten) können außerdem die RS-232-Kommunikationsparameter BAUD RATE (Baudrate), STOP BITS (Stoppbits) und PARITY (Perität) festgelegt werden (siehe Anhang B “Kommunikationsprotokoll”).

  • Seite 78: Die Felder Next (Weiter) Und Back (Zurück)

    Werte geändert werden. Der 979 besitzt vorprogrammierte Übergangsdruck-Höchstwerte, die leicht über den Vorgabewerten liegen. Diese Grenzwerte verhindern, dass der Bediener den 979 versehentlich so einstellt, dass er bei zu hohem Druck in den Testmodus übergeht, was zu einer übermäßigen Kontamination des Spektrometerrohrs oder einem Ausfall des Ionenquellenglühfadens führen kann.

  • Seite 79: Bildschirm „Second Menu" (Zweites Menü)

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 2.7 Bildschirm „Second Menu“ (Zweites Menü) Der Bildschirm „Second Menu“ (Zweites Menü) (Abbildung 2-17) enthält die für die Ausführung allgemeiner Einrichtungs- und Servicefunktionen verfügbaren Fenster. Berühren Sie das Feld BACK (Zurück) in diesem Bildschirm, um den Bildschirm „First Menu“ (Erstes Menü) aufzurufen.

  • Seite 80: Auswählen Der Leckraten- Und Der Testanschluss-Druckeinheiten

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 2.7.1.1 Auswählen der Leckraten- und der Testanschluss-Druckeinheiten Wählen Sie die Leckraten- und die Testanschluss-Druckeinheiten, die uf dem Leckraten-Balkendiagramm und auf dem digitalen Touchscreen angezeigt werden sollen. LEAK RATE UNITS Berühren Sie das Umschaltfeld LEAK RATE (Leckrate), um die...

  • Seite 81: Abschnitt 3. Service

    Über diese Menüs wird auf Informationen und Funktionen zugegriffen, die in der Regel nicht jeden Tag benötigt werden. Die meisten dieser Funktionen sind von geschultem Wartungspersonal durchzuführen, weil sie das Betriebsverhalten des Modells 979 erheblich beeinträchtigen. Berühren Sie das Feld BACK (Zurück) in diesem Bildschirm, um den Bildschirm „First Menu“...

  • Seite 82: Manuelle Nullung Und Kalibrierung

    Sie nur von geschultem Wartungspersonal ausgeführt werden. Viele der Werte für die in den Servicemenüs enthaltenen VORSICHT Parameter werden berechnet, wenn der 979 bestimmte Funktionen ausführt, wie CALIBRATE (Kalibrieren) und ZERO (Null). Das Ändern dieser Werte kann zu unzuverlässigen Testergebnissen führen.

  • Seite 83: Auto-Zero

    (AUTO-NULL < 0) eingeschaltet ist, kann die Leuchte UNDER ebenfalls kurzzeitig blinken, wenn das System den Nullpunkt auf einen niedrigeren Wert setzt. Am 979 wird keine Leckrate angezeigt, wenn die Leuchte UNDER aufleuchtet. Leuchtet diese Leuchte länger als einige Sekunden auf, ist das System durch Einstellen der Betriebsparameter auf den korrekten Nullwert neu zu kalibrieren.

  • Seite 84: Verstärkung

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 3.1.1.2 Verstärkung Berühren Sie das Feld GAIN (Verstärkung), um die Kalibrierungsverstärkung manuell einzustellen. Mit dem Verstärkungsparameter wird der Lecksucher auf eine bekannte Heliumquelle kalibriert. Die Einstellung des Verstärkungsparameters erfolgt, nachdem der Lecksucher auf Helium abgestimmt wurde. Typische Verstärkungswerte liegen zwischen 0,5 und 5,0. Der Verstärkungswert wird automatisch während der Kalibrierungsroutine eingestellt.

  • Seite 85: Ändern Der Manuelle Abstimmparameter

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 3.1.2.1 Ändern der manuelle Abstimmparameter So ändern Sie einen manuellen Abstimmparameter: 1. Berühren Sie das Feld für den betreffenden Parameter. Wenn Sie das Feld mit der gewünschten Variable berühren, erscheint rechts neben den Zahlen eine markierte Anzeige.

  • Seite 86: Ionenspannung

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 3.1.2.4 Ionenspannung Berühren Sie das Feld ION VOLTAGE (Ionenspannung), um die aktuelle Ionenspannung der Ionenquelle im Spektrometerrohr anzuzeigen. Dieser Wert kann auch manuell eingestellt werden. Über den Ionenspannungsparameter wird der Lecksucher so abgestimmt, dass der Ausgang des Lecksuchers auf ein Spitzen-Heliumsignal maximiert wird. Die Einstellung des Ionenspannungsparameters erfolgt, bevor der Lecksucher auf Helium kalibriert wurde.

  • Seite 87: Glühfadenauswahl

    Berühren Sie das Feld MANUAL VALVE CONTROL (Manuelle Ventilsteuerung), um den Bildschirm „Manual Valve Control“ (Manuelle Ventilsteuerung) zu öffnen (Abbildung 3-6), in dem die Ventile im Vakuumsystem des 979 zur Fehlersuche manuell gesteuert werden können. Eine Darstellung des Vakuumsystems des 979 sehen Sie in Abbildung 3-7 auf Seite 3-9.

  • Seite 88: Ventilstatus-Tabelle Für 979 - System Mit Einer Mechanischen Pumpe

    Status dieses Ventils. Die normalen Betriebszustände von Ventilen in Systemen mit einer und mit zwei mechanischen Pumpen finden Sie in Tabelle 3-1 bzw. Tabelle 3-2. Tabelle 3-1 Ventilstatus-Tabelle für 979 - System mit einer mechanischen Pumpe Betriebszustand des 979 VENT (Entlüften)

  • Seite 89: Einrichten Der Systeminitialisierung

    PUMP V5 FORELINE FORE PUMP Abbildung 3-7 Vakuumsystem des 979 3.1.4 Einrichten der Systeminitialisierung Berühren Sie das Feld SYSTEM INIT SET-UP (Einrichten der Systeminitialisierung), um den Bildschirm „System Initialize Set-Up“ (Einrichten der Systeminitialisierung) zu öffnen (Abbildung 3-8), in dem die Tasten des vorderen Bedienfelds aktiviert bzw. deaktiviert werden können und der aktuelle Status der Tasten angezeigt wird.

  • Seite 90: Messgerät-Kalibrierungsverfahren

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Über das Umschaltfeld CTRL PNL ENABLED (Bedienfeld aktiviert) wird zwischen dem aktivierten und dem deaktivierten Zustand der Tasten des vorderen Bedienfelds umgeschaltet. Berühren Sie das Feld CTRL PNL ENABLED (Bedienfeld aktiviert), um die Tasten des vorderen Bedienfelds zu deaktivieren. Berühren Sie das Feld ein zweites Mal, um die Tasten wieder zu aktivieren.

  • Seite 91: Vakuumkalibrierung (Niederdruck)

    SYSTEM READY SYS INFO MENUS Abbildung 3-10 979 Touchscreen-Startbildschirm 2. Stecken Sie den Wartungsschlüssel (T009) in den Schlüsselschalter und drehen Sie diesen in die Stellung SERVICE (Service) (siehe Abbildung 1-8 auf Seite 1-12). 3. Sofern sich das System noch nicht im Modus VENT (Entlüften) befindet, drücken Sie die Taste VENT (Entlüften).

  • Seite 92: Atmosphärische Kalibrierung

    1. Ziehen Sie nach dem Erneuern des Thermoelements die mechanische(n) Pumpe(n) an der Rückseite des 979 an, bevor Sie den Lecksucher einschalten. 2. Schalten Sie den 979 ein und gehen Sie zum Touchscreen-Menü „Gauge Calibration“ Messgerät-Kalibrierung). 3. Stecken Sie den Wartungsschlüssel (T009) in den Schlüsselschalter und drehen Sie diesen in die Stellung SERVICE (Service).

  • Seite 93: Vakuumkalibrierung (Niederdruck)

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 3.1.5.2.1 Vakuumkalibrierung (Niederdruck) 1. Überprüfen Sie, ob sich der Lecksucher im Zustand SYSTEM READY (System bereit) befindet (Abbildung 3-10 auf Seite 3-11), und ob der Testanschluss verschlossen ist. 2. Stecken Sie den Wartungsschlüssel (T009) in den Schlüsselschalter und drehen Sie diesen in die Stellung SERVICE (Service).
  • Seite 94 Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Leere Seite...

  • Seite 95: Abschnitt 4. Wartung

    Erläutert werden vielmehr Wartungsmaßnahmen, die täglich oder nach Bedarf oder, wenn für das betreffende Teil keine Wartung erforderlich war, einmal jährlich zur Vorbeugung auszuführen sind. Wenn an Ihrem Lecksucher der Reihe 979 Wartungsmaßnahmen durchzuführen sind, die in diesem Abschnitt nicht beschrieben sind, wenden Sie sich unter 1-800-8VARIAN bitte an den Kundendienst von Vacuum Technologies.
  • Seite 96 Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Bei der Wartung von Lecksuchern oder Vakuumsystemen ist Sauberkeit von größter Bedeutung. Einige Vorgehensweisen spielen bei der Wartung von Lecksuchern eine größere Rolle als bei allgemeinen Arbeiten an Vakuumsystemen. Benutzen Sie kein Öl oder Fett auf Silikonbasis.

  • Seite 97: Planmäßige Wartung

    Seite 4-6 Diese Arbeiten können in den genannten routinemäßigen Intervallen ausgeführt werden. Der 979 muss zur Überprüfung der Empfindlichkeit mindestens einmal täglich kalibriert werden. Je nach Häufigkeit des Gebrauchs können die anderen Maßnahmen häufiger oder weniger häufig durchgeführt werden.

  • Seite 98: Bedarfsabhängige Wartung

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Wartungsaufgaben, deren Ausführung vom Bedarf abhängig sein können, wie das Wechseln der Ionenquelle nach Ausfall eines Glühfadens, sind in Tabelle 4-2 aufgeführt. Tabelle 4-2 Bedarfsabhängige Wartung Maßnahme Häufigstes Symptom Siehe Spektrometerrohr-Reinigung Verlust der Empfindlichkeit, Erhöhung des Abschnitt 4.3 Hintergrundsignals, hohe Ionenspannung “Spektrometerrohr-Überholung...

  • Seite 99: Tägliche Wartung

    4.2 Neukalibrierung des internen kalibrierten Lecks Die Qualität von Helium-kalibrierten Lecks verringert sich in der Regel um drei Prozent pro Jahr. Das zum Lieferumfang des 979 gehörende kalibrierte Leck muss mindestens einmal jährlich geprüft werden, um sicherzustellen, dass der auf dem Schild angegebene Wert eingehalten wird.

  • Seite 100: Spektrometerrohr-Überholung

    4.3 Spektrometerrohr-Überholung Die Spektrometerrohr-Überholung umfasst den Ausbau, das Reinigen und den Einbau des Spektrometerrohrs des 979. Im Spektrometerrohr befinden sich vier Haupt-Unterbaugruppen. In Tabelle 4-3 sind die für die Überholung benötigten Werkzeuge und Teile aufgeführt. Daran schließt sich die Ausbauanleitung in der nachstehend genannten Reihenfolge an.

  • Seite 101: Ausbauen Der Spektrometerrohr-Baugruppe

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 4.3.1 Ausbauen der Spektrometerrohr-Baugruppe Trennen Sie den 979 von der Netzversorgung, bevor Sie ACHTUNG Wartungsmaßnahmen durchführen, die eine physische Trennung eines Systemteils erfordert. Das Spektrometerrohr wird mit einem sehr starken Vakuum betrieben, das von der Hochvakuumpumpe erzeugt wird. Zur Wartung des Spektrometerrohrs ist eine Ableitung dieses Vakuums ins Freie erforderlich.

  • Seite 102: Spektrometerrohr-Baugruppe In Vorderansicht

    2. Klappen Sie die Oberkante des Bedienfelds nach vorn , um an die Spektrometerrohr-Baugruppe zu gelangen. Achten Sie darauf, dass der Kabelstrang zwischen Leiterplatte und Display nicht belastet wird. 3. Das Spektrometerrohr befindet sich in der Mitte des 979 direkt hinter dem vorderen Bedienfeld (Abbildung 4-2). ➀ ➁...
  • Seite 103 Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 4. Ziehen Sie die drei Anschlüsse oben auf dem Spektrometerrohr ab (Abbildung 4-3). Die Anschlusskabel sind mit TC, Ion Source (Ionenquelle) und Preamplifier (Vorverstärker) gekennzeichnet. Sind die Kabel nicht gekennzeichnet, tun Sie dies für künftige Zwecke bitte jetzt.
  • Seite 104 ➀ 7. Lösen Sie die Schnelltrennschelle KF-25 (ISO NW-25) , um das Spektrometerrohr vom Vakuumsystem des 979 zu trennen (Abbildung 4-5). ➀ Abbildung 4-5 Schnelltrennschelle KF-25 8. Heben Sie das Spektrometerrohr nach oben vom Träger herunter und legen Sie es auf einer sauberen unmagnetischen Unterlage ab.
  • Seite 105 Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 ➀ 9. Drehen Sie die beiden Schlitzschrauben heraus, mit denen die Magnetbaugruppe am Spektrometerrohr befestigt ist (Abbildung 4-7). ➀ Abbildung 4-7 Schlitzschrauben an der Magnetbaugruppe 10. Schieben Sie die Magnetbaugruppe vorsichtig vom Spektrometerrohr herunter. Kann die Magnetbaugruppe nicht mühelos heruntergeschoben werden, müssen u. U.

  • Seite 106: Ausbauen Des Tasten-Thermoelements

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 4.3.2 Ausbauen des Tasten-Thermoelements ➀ 1. Drehen Sie die vier Kreuzschlitzschrauben heraus, mit denen der Aufsatz des Tasten-Thermoelements befestigt ist (Abbildung 4-9). ➀ Abbildung 4-9 Tasten-Thermoelement ➀ 2. Drücken Sie den mittleren Stift (Abbildung 4-10) des Tasten-Thermoelements ➁...
  • Seite 107 Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 3. Wenn Aufsatz und Tasten-Thermoelement zusammen angehoben werden, halten Sie das Thermoelement von unten fest und drücken den mittleren Stift herunter, um den Aufsatz vom Thermoelement abzunehmen. Achten Sie darauf, dass der Messdraht nicht beschädigt wird. Der Messdraht an der Unterseute des Tasten-Thermoelements VORSICHT ist ca.

  • Seite 108: Ausbauen Der Ionenquelle

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 4.3.3 Ausbauen der Ionenquelle Verwahren Sie die Ionenquelle an einem kühlen, trockenen Ort ACHTUNG in einem dicht verschlossenen Behälter. Waschen Sie sich nach dem Kontakt mit der Ionenquelle gründlich die Hände, insbesondere bevor Sie rauchen oder essen.
  • Seite 109 Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 3. Überprüfen Sie die Ionenquelle (Abbildung 4-13) und den Schacht (Abbildung 4-14) auf Ablagerungen und Verfärbung. Entsorgen Sie nach der Überprüfung die Ionenquelle ordnungsgemäß oder schicken Sie sie zum Austausch an Vacuum Technologies. Abbildung 4-13 Die Ionenquelle ➀...

  • Seite 110: Ausbauen Des Vorverstärkers

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 5. Stecken Sie einen dünnen Schraubendreher mit flacher Klinge fest in den Schlitz der Bodenschlitzplatte (Abbildung 4-15) und heben Sie die Platte durch Drehen und Hebeln des Schraubendrehers heraus. Abbildung 4-15 Bodenschlitzplatte Ein Schraubendreher, der fest in den Schlitz der Schraube HINWEIS eingreift eignet sich besonders für diese Aufgabe.

  • Seite 111: Ausbauen Der Magnetpole

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 4.3.5 Ausbauen der Magnetpole ➀ ➁ 1. Drehen Sie die vier Schitzschrauben heraus, um den Magnetpolblock zu lösen (Abbildung 4-17). ➀ ➁ Abbildung 4-17 Magnetpolblock 2. Nehmen Sie das Spektrometerrohr und drehen Sie es um, um den Magnetpolblock herauszunehmen.

  • Seite 112: Untersuchen Und Reinigen Der Spektrometerteile

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 4. Wiederholen Sie Schritt 1, 2 and 3 (Abschnitt 4.3.5 “Ausbauen der Magnetpole” auf Seite 4-17), um den zweiten Magnetpolblock (Abbildung 4-19) aus der anderen Seite des Spektrometerrohrs zu lösen. Abbildung 4-19 Herausnehmen des zweiten Magnetpolblocks 4.3.6 Untersuchen und Reinigen der Spektrometerteile 1.
  • Seite 113 Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 3. Polieren Sie mit dem Scotch-Brite-Schwamm alle verfärbten Stellen der Magnetpolblöcke (Abbildung 4-21). Abbildung 4-21 Verfärbter Magnetpolblock 4. Wischen Sie mit den mit VacuSolv getränkten Tüchern und Tupfern (Abbildung 4-22) alle Flächen des Spektrometerrohrs, der Magnetpolblöcke und der Bodenschlitzplatte gründlich ab.
  • Seite 114 Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 5. Untersuchen Sie das Tasten-Thermoelement; achten Sie dabei darauf, dass die Drähte nicht beschädigt werden. Ist es nicht beschädigt, kann er nach der gründlichen Reinigung wiederverwendet werden. Wurden vor dem Überholen falsche Systemdrücke angezeigt, HINWEIS sollte das Tasten-Thermoelement erneuert werden, unabhängig davon, ob Anzeichen von Schäden gefunden werden oder...

  • Seite 115: Zusammenbau

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 4.3.7 Zusammenbau 1. Bauen Sie das Spektrometerrohr (Abbildung 4-24) sorgfältig in der umgekehrten Reihenfolge dieser Anleitung wieder zusammen. ➀ Der Vorverstärker hat eine Aussparung , die auf den HINWEIS ➁ Führungsstift im Vorverstärkerschacht des Spektrometerrohrs ausgerichtet werden muss.

  • Seite 116: Erneuern Der Ionenquelle Außerhalb Der Jährlichen Wartung

    Vakuumflächen geraten. Werkzeuge:Kreuzschlitzschraubendreher Teile: Ionenquelle 1. Schalten Sie den Netzschalter an der Rückseite des Lecksuchers 979 aus. 2. Drehen Sie die beiden Kreuzschlitzschrauben aus dem vorderen Bedienfeld des Lecksuchers heraus und kippen Sie die Oberkante des Bedienfelds herunter (Abbildung 4-1 auf Seite 4-7). Achten Sie darauf, dass der Kabelstrang der Leiterplatte nicht belastet wird.

  • Seite 117: Zusammenbau

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 7. Schieben Sie die Ionenquelle vorsichtig aus dem Spektrometerrohr heraus (Abbildung 4-12 auf Seite 4-14. Dunkle kohlenstoffartige Ablagerungen um den Glühfaden der HINWEIS Ionenquelle und/oder eine regenbogenfarbige Verfärbung an den Innenwänden des Ionenquellenschachts weisen darauf hin, dass der Betriebsdruck des Spektrometerrohrs zu groß war. Die Ursache hierfür kann ein Systemdruckverlust oder ein...

  • Seite 118: Mechanische Pumpe

    Die meisten Pumpen müssen regelmäßig gewartet werden. Öl verunreinigt im Laufe der Zeit und muss gewechselt werden. In einem System mit Trockenpumpen müssen die Dichtleisten auf Verschleiß geprüft werden. Damit der Lecksucher der Reihe 979 zuverlässig funktioniert, müssen die Grob- und die Vorvakuumpumpe des Systems in den empfohlenen Abständen gewartet werden.
  • Seite 119 Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Tabelle 4-4 979 Ersatzteile (Continued) Baugruppe Teilenummer Spectrometerrohr-Austauschprogramm EXL9713302 (Standardempfindlichkeit) EXL9713303 (Hohe Empfindlichkeit) Spectrometerrohr-Reinigungssatz 670029096 Kalibriertes Leck (Bereich Low 7) Rufen Sie Vacuum Technologies an. Kalibriertes Leck (Bereich Low 8) Rufen Sie Vacuum Technologies an. Hauptnetzteil 659077039...

  • Seite 120: Zubehörliste Für 979

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 4.7 Zubehörliste für 979 Tabelle 4-5 Zubehörliste für 979 Baugruppe Teilenummer Einlass-Adaptersatz LDNW25 LDNW25INADKIT Prallplattenmodul, NW25-Flansch L6241302 Power Probe, 3 m Länge (NW25-Flansch) K9565306 Power Probe, 7,5 m Länge (NW25-Flansch) K9565307 Ersatz-Dichtleisten für Power Probe (Stck.: 10)

  • Seite 121: Anhang A. Schnittstellenanschlüsse Am Hinteren Bedienfeld

    Optisch isolierte (5 VDC an 24 VDC) diskrete E/A-Schnittstelle ❑ Nicht isolierte serielle RS-232-Schnittstelle ❑ Nicht isolierter analoger (0 V an 10 V) Ausgang für Lecksucher der Reihe 979. Der Fernsteuerungsanschluss umfasst: ❑ Nicht isolierte serielle Schnittstelle und Stromanschluss für die Universal-Fernsteuerung A.1 Optisch isolierte Ausgänge...

  • Seite 122: Schaltbild Des Optisch Isolierten Ausgangskreises

    Aktiv wenn Leckrate über Sollwert Nr. 3 REJ 4 Pegel Aktiv wenn Leckrate über Sollwert Nr. 4 START OUT Pegel Aktiv Hochpegel wenn 979 in Grobvakuummodus VENT OUT Pegel Aktiv Hochpegel wenn 979 in Entlüftungsmodus TEST OUT Pegel Aktiv Hochpegel wenn 979 in Testmodus...

  • Seite 123: Optisch Isolierte Eingänge

    START IN Momentan >200-ms-Hochimpuls für Initiierung des 979-Grobvakuummodus VENT IN Momentan >200-ms-Hochimpuls für Initiierung des 979-Entlüftungsmodus HOLD IN Momentan >200-ms-Hochimpuls für Initiierung des 979-Haltemodus SPARE_IN_5 Reserveeingang 5 AUTOCAL Momentan >200-ms-Hochimpuls für Initiierung eines automatischen Kalibrierzyklus ZERO Momentan >200-ms-Hochimpuls für Initiierung einer...

  • Seite 124: Nicht Isolierte Serielle Und Analoge Schnittstellen

    Tabelle A-3 enthält Angaben zu den nicht isolierten seriellen RS-232-Schnittstellen und zu den nicht isolierten analogen Ausgängen. Abbildung A-4 zeigt die Verdrahtung zwischen einem 9-poligen RS-232-Standardanschluss und dem D Sub 37P des 979. Serielle RS-232-E/A-Anschlüsse sind über die Gehäusemasse geerdet und nicht isoliert. Die elektrischen Kennwerte entsprechen der EIA/TIA-Norm EIA/TIA-232-E.

  • Seite 125: Fernsteuerungsanschluss

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 A.4 Fernsteuerungsanschluss Der Anschluss D Sub 9S umfasst eine nicht isolierte serielle Schnittstelle und einen Stromanschluss für die Universal-Fernsteuerung. Tabelle A-4 enthält Angaben zur nicht isolierten seriellen Schnittstelle und zum Stromanschluss. Tabelle A-4 Übersicht über nicht isolierte serielle Schnittstelle und Stromanschluss...
  • Seite 126 Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Leere Seite...

  • Seite 127: Anhang B. Kommunikationsprotokoll

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Anhang B. Kommunikationsprotokoll In diesem Anhang werden die technischen Daten des in Verbindung mit dem Lecksucher 979 einzusetzenden RS-232-Protokoll erläutert. B.1 Protokoll (RS-232) RS-232-Anschlüsse haben die Kenndaten 9600 Baud, 8 Bits, keine Parität und ein Stoppbit. Alle zum Lecksucher übertragenen Zeichen werden von diesem zurückgegeben. Befehle, Abfragen und Zeichenfolgen sowohl von Befehlen als auch von Abfragen müssen mit einer...

  • Seite 128: Kommunikation Mit Rs-232

    2. Wählen Sie Programme>Zubehör>Kommunikation>HyperTerminal. 3. Doppelklicken Sie auf Hypertrm.exe. Das Dialogfeld „Beschreibung der Verbindung“ wird geöffnet. 4. Geben Sie einen Namen ein und wählen Sie ein Symbol für die Verbindung, z. B.: 979 RS232. 5. Klicken Sie auf OK. Das Dialogfeld „Verbinden mit“ wird geöffnet.
  • Seite 129 Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 6. Wählen Sie einen COM-Anschluss aus der Pulldown-Liste Verbinden über:. Das Dialogfeld „Com-Eigenschaften/Anschlusseinstellung“ wird geöffnet. 7. Konfigurieren Sie die folgenden Einstellungen: ❑ Bit pro Sekunde (Baudrate) – 9600 ❑ Datenbits: – 8 ❑ Parität: – Ohne ❑...

  • Seite 130: Drucken Mit Hyperterminal

    7. Öffnen Sie die Datei, in der die Daten gespeichert wurden, und wählen Sie Datei>Drucken. Beispiel Mit den oben beschriebenen Schritten können Sie die Leckrate des 979 mit Hilfe von HyperTerminal abfragen und den Text aufzeichnen. Gehen Sie dazu wie folgt vor: 1. Geben Sie den Befehl XYZZY ein.

  • Seite 131: Interne Betriebsparameter

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 5. Gehen Sie im Dialogfeld „Text aufzeichnen“ zu einem Ordner und einer Datei und klicken Sie auf Start. 6. Wählen Sie Übertragung>Text aufzeichnen> Stopp, um die Datenerfassung abzubrechen. Tabelle B-1 enthält Abfragen, mit denen die internen Betriebsparameter bestimmt werden.
  • Seite 132 Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Tabelle B-1 Interne Betriebsparameter (Continued) Abfrage Antwort ?LEAK Eine sechs Zeichen umfassende Zahl bestehend aus einer zweistelligen Leckraten-Mantisse mit Dezimalkomma hinter der ersten Ziffer, gefolgt von E - und einer einzelnen Ziffer, bei der es sich um den Exponenten des Leckratenbereichs handelt (z.

  • Seite 133: Nicht-Flüchtige Betriebsparameter

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Tabelle B-1 Interne Betriebsparameter (Continued) Abfrage Antwort ?SETUP Sieben Zeilen. Jede beginnt mit einem <cr><lf>. In der ersten Zeile wird die Turbopumpendrehzahl als Low (Niedrig) oder Off (Aus) ausgegeben. In der zweiten Zeile wird der eingestellte manuelle Leckratenbereich und die Bereichseinstellungsmethode als Auto oder Manuell ausgegeben.
  • Seite 134 Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Tabelle B-2 Nicht-flüchtige Betriebsparameter (Continued) Befehl Parameter INIT-DAC Mit einer vorangestellten Zahl zwischen 0 und 255; legt den Versatz des DAC der Leckraten-Ausgangsspannung fest. INIT-DISPLAY Mit vorangestelltem LOG oder LINEAR; stellt für das große Balkendiagramm logarithmische oder lineare Anzeige ein.

  • Seite 135: Spektrometer-Betriebsparameter

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Tabelle B-2 Nicht-flüchtige Betriebsparameter (Continued) Befehl Parameter INIT-1REJECT Wie INIT-REJECT. INIT-2REJECT Wie INIT-1REJECT, aber für Rückweisungs-Sollwert Nr. 2. INIT-3REJECT Wie INIT-1REJECT, aber für Rückweisungs-Sollwert Nr. 3. INIT-4REJECT Wie INIT-1REJECT, aber für Rückweisungs-Sollwert Nr. 4. INIT-AREJECT Wie INIT-1REJECT, aber für den Lautstärke-Rückweisungs-Sollwert.
  • Seite 136 Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Tabelle B-3 Spektrometer-Betriebsparameter (Continued) Befehl Parameter PUT-ION Eine dreistellige Zahl in V im Bereich von 200 bis 350, welche die Ionenspannung der Ionenquelle festlegt. PUT-OFFSET Eine zweistellige Zahl im Bereich von 00 bis 99, mit welcher der prozentuale Anteil einer Versatzvariable festgelegt wird.
  • Seite 137 Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Tabelle B-4 Lecksuchemaßnahmen (Continued) Befehl Maßnahme INTERNAL Verwendet ein internes kalibriertes Leck. Für Kalibrierungszwecke. KEEP (Behalten) Veranlasst den Lecksucher, die meisten Ventile zu schließen und in den Zustand HOLD (Halten) überzugehen. MANUAL (Manuell) Schaltet auf manuellen Bereichseinstellungsmodus. Erfolg wird durch die normale Antwort ok angezeigt.
  • Seite 138 Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Leere Seite...

  • Seite 139: Anhang C. Einführung In Die Lecksuche

    Gehäuse oder System herzustellen, dessen Dichtigkeit ohne vorherige Prüfung gewährleistet werden könnte. Mit Hilfe moderner Massenspektrometer-Leckprüfmethoden, wie sie vom Helium-Lecksucher der Reihe 979 bereitgestellt werden, können Leckraten im Bereich von −9 std cc/s zuverlässig erfasst werden. Im Folgenden soll eine kurze Übersicht über die speziellen Zusammenhänge auf dem Gebiet der Lecksuche dargelegt werden.

  • Seite 140: Terminologie

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 C.3 Terminologie Die folgende Terminologie wird im gesamten Handbuch verwendet: Durchfluss std cc/s Ein Kubikzentimeter Gas pro Sekunde bei einem Druckdifferential von einer Standardatmosphäre (760 Torr bei 0 °C). atm cc/s Ein Kubikzentimeter Gas pro Sekunde bei atmosphärischem Druck und Umgebungstemperatur (mit std cc/s austauschbar, weil die Differenz für die Zwecke der Leckprüfung unbedeutend ist).

  • Seite 141: Verschiedene Methoden Der Leckprüfung

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 C.4 Verschiedene Methoden der Leckprüfung Es gibt zahlreiche Methoden, nach denen Gehhäuse, d. h. Systeme oder Behälter, auf Lecks geprüft werden können. Die häufiger eingesetzten Methoden sind zusammen mit ihrer Genauigkeit nachstehend aufgeführt: −3 Eintauchen in Wasser Diese Methode ist bis ca.

  • Seite 142: Helium-Massenspektrometer-Lecksuche (Msld)

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Radioisotop Diese Methode ist nur zum Testen hermetisch abgedichteter Hohlräume von Nutzen. Sie hat in etwa denselben Bereich wie die Heliummethode, erfordert aber eine teure Anlage (je nachdem, in welchem Maß die Strahlung abgeschirmt werden muss, vier bis zehn Mal die Kosten einer Heliumanlage).

  • Seite 143: Der Fluss In Einem Vakuum

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 C.5.3 Der Fluss in einem Vakuum Es ist darauf hinzuweisen, dass das Vakuumsystem der Unterstützung der Analysefunktion des Spektrometerrohres dient. Die einzelnen durch ein Leck eindringenden Heliummoleküle erreichen das Spektrometerrohr in wenigen Millisekunden. Heliummoleküle wie auch Moleküle anderer Gase werden kontinuierlich von der Turbopumpe des Vakuumsystems entfernt.

  • Seite 144: Lecksuchmethoden

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 C.6 Lecksuchmethoden Bei den meisten Lecksuchmethoden wird ein Spürgas durch das Leck geleitet und auf der anderen Seite erfasst (z. B. das optische Erkennen von Luftblasen in Wasser). Der Massenspektrometer-Lecksucher arbeitet mit Helium als Spürgas und wird sehr häufig eingesetzt, weil er eine hohe Empfindlichkeit mit der Möglichkeit der Prüfung bei laufender...

  • Seite 145: Testobjekt Unter Druck (Abbildung C-2)

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 C.6.2 Testobjekt unter Druck (Abbildung C-2) Leck Leck- Test- sucher objekt Abbildung C-2 Testobjekt unter Druck: Lokalisierung des Lecks mit Prüfsonde An den Lecksucher wird eine Messsonde angeschlossen. Das zu prüfende Objekt wird mit dem gewünschten Prüfdruck mit Helium gefüllt und die Sonde über dessen Oberfläche bewegt.
  • Seite 146 Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Mitunter ist es erforderlich, ein vollständig versiegeltes Öbjekt zu prüfen. Zu diesem Zweck kann das Objekt vor dem Versiegeln mit Helium gefüllt werden (entweder 100 % oder zum Auffüllen mit anderen Gasen gemischt). Das Objekt wird dann in eine mit dem Lecksucher verbundene Vakuumkammer gegeben.

  • Seite 147: Massenspektrometer-Lecksucher - Vereinfachte Beschreibung

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 C.7 Massenspektrometer-Lecksucher — Vereinfachte Beschreibung Jedes Modell 979 besteht grundsätzlich aus einem Analysemessrohr, das als Spektrometerrohr bezeichnet wird, der Elektronik für die Steuerung des Rohrs und einem Vakuumsystem zur Aufrechterhaltung eines sehr hohen Vakuums in diesem Rohr (in der Regel weniger als 0,1 Millitorr oder etwa ein Zehnmillionstel des normalen atmosphärischen Drucks).

  • Seite 148: Magnetisches Trennprinzip

    Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Testobjekte werden grundsätzlich mit einer mechanischen Vakuumpumpe ausgepumpt (bzw., wenn sie unter Druck stehen, wird die Kammer, in der sie getestet werden sollen, ausgepumpt), bevor sie an das Spektrometerrohr angeschlossen werden. Auf diese Weise wird die Überlastung des Vakuumpumpensystems verhindert.
  • Seite 149 1 V/Dek log. Ausgang (Dekade) 2-29 Automatische Ablaufsteuerung 2-21 Aktivieren 2-22 Bildschirm für Einrichtung 2-21 Abdichtung mit Helium C-7 Deaktivieren 2-22 Abnehmen des 979 von der Palette 1-8 Steuerelemente 2-22 Abschalten 2-2 Automatische Ablaufsteuerung aktivieren 2-22 Analogausgang 2-29 Automatische Ablaufsteuerung 1 V pro Dekade log.
  • Seite 150 Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Betriebsvorbereitung 1-10 Kal.) 3-2 Betriebszustände 2-11 Betriebszustände des 979 - Tabelle 2-11 Contra-Flow leak xfer Bildschirm (Einheiten einstellen) 2-33 (Contra-Flow-Leckübergang) 2-32 Bildschirm „Calibrated leak set-up“ (Kalibriertes Leck einrichten) 2-18 Bildschirm „First Menu“ (Erstes Menü) 2-17 Dezimalschreibweise, Tabelle C-2...
  • Seite 151 Konfiguration mit zwei mechanischen Grobvakuumventilanschluss 1-17 Pumpen 2-23 Grobzeitvariable 2-22 Nur Grobtest 2-26 Grundlagen der Massenspektrometrie C-4 Konfigurationen der Modellreihe 979 1-1 Doppelte, ölversiegelte Konfiguration mit mechanischer Pumpe auf vierrädrigem Halogen C-3 Wagen 1-5 Helium C-4 Doppelte, trockene Konfiguration mit Helium zur Abdichtung C-7 mechanischer Pumpe auf vierrädrigem...
  • Seite 152 Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Einzelne, trockene Konfiguration mit Vakuum (Niederdruck) 3-11 mechanischer Pumpe auf zweirädrigem Modell 979, über 1-1 Wagen 1-3 Netzsteuerung und Leistungsschalter 1-16 Lagerbedingungen 1-12 Ein/Aus-Schalter 1-17 Lautstärkeregelung 1-13 Grobvakuumpumpenanschluss 1-17 Lautstärke-Sollwertvariable 2-20 Grobvakuumventilanschluss 1-17 Leckarten C-1 Leistungsschalter 1-17 Leckprüfmethoden C-3...
  • Seite 153 Touchscreen-Startbildschirm 2-7, 2-9 Startbildschirm 2-7, 2-9 Turbopumpe Anzeige der Rückweisstatus-Anzeige 2-9 Leistungsschalter 1-17 Anzeige der Systembereitschaftsanzeige 2-9 Über das Modell 979 1-1 Anzeige der Zustandsanzeige 2-9 Überholung Auswahl MENUS (Menüs) 2-9, 2-11 Spektrometerrohr 4-6 Auswahl SYS INFO 2-9, 2-11 Ultraschall C-3...
  • Seite 154 Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979 Vakuumfluss C-5 Vakuumkalibrierung 3-11 Systemdruck 3-11 Testanschluss 3-13 Vakuumsystem des 979, Abbildung 3-7, 3-9 Vakuumsysteme C-1 Variable Fokusspannung 3-6 Typisch 3-6 Ventilsteuerung, manuell 3-7 Versatz, Vorverstärker 3-4 Normaler Bereich 3-4 Versionsbildschirm 3-1 Verstärkungsfaktorparameter 3-4 Vorderes Bedienfeld 1-12, 2-2...

  • Seite 156: Vertrieb Und Kundendienst

    Vertrieb und Kundendienst Vertrieb und Kundendienst Kanada Japan Sonstige Länder Zentrale Koordinierung durch: Varian, Inc. Varian, Inc. Varian, Inc. Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor Via F.lli Varian 54 121 Hartwell Avenue 4-16-36 Shibaura 10040 Leini, (Turin) Lexington, MA 02421 Minato-ku, Tokio 108 Italien Japan Tel.: (39) 011 997 9.111...

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