Agilent Technologies 979 Betriebshandbuch Seite 7

Helium-Massenspektrometer-Lecksucher Modell 979
Abschnitt 3. Service ........................................................................................................................ 3-1
3.1 Version ................................................................................................................................ 3-1
3.1.1 Manuelle Nullung und Kalibrierung ............................................................................. 3-2
3.1.1.1 AUTO-ZERO < 0 (AUTO-NULL < 0) .............................................................. 3-3
3.1.1.2 Verstärkung .................................................................................................... 3-4
3.1.1.3 Versatz ........................................................................................................... 3-4
3.1.2 Manuelle Spektrometerrohr-Abstimmung ................................................................... 3-4
3.1.2.1 Ändern der manuelle Abstimmparameter ....................................................... 3-5
3.1.2.2 Reflektor ......................................................................................................... 3-5
3.1.2.3 Emissionsstrom .............................................................................................. 3-5
3.1.2.4 Ionenspannung ............................................................................................... 3-6
3.1.2.5 Variable Fokusspannung ................................................................................ 3-6
3.1.2.6 Entstörerspannung ......................................................................................... 3-6
3.1.2.7 Feste Fokusspannung .................................................................................... 3-6
3.1.2.8 Glühfadenauswahl .......................................................................................... 3-7
3.1.3 Manuelle Ventilsteuerung............................................................................................ 3-7
3.1.4 Einrichten der Systeminitialisierung ............................................................................ 3-9
3.1.5 Messgerät-Kalibrierungsverfahren ............................................................................ 3-10
3.1.5.1 Kalibrierung des Systemdruck-Messgeräts .................................................. 3-10
3.1.5.1.1 Vakuumkalibrierung (Niederdruck) ................................................. 3-11
3.1.5.1.2 Atmosphärische Kalibrierung ........................................................ 3-12
3.1.5.2 Kalibrierung des Testanschlussdruck-Messgeräts ....................................... 3-12
3.1.5.2.1 Vakuumkalibrierung (Niederdruck) ................................................. 3-13
3.1.5.2.2 Atmosphärische Kalibrierung ........................................................ 3-13
Abschnitt 4. Wartung ....................................................................................................................... 4-1
4.1 Tägliche Wartung ................................................................................................................ 4-5
4.1.1 Empfindlichkeitsprüfung .............................................................................................. 4-5
4.2 Neukalibrierung des internen kalibrierten Lecks .................................................................. 4-5
4.3 Spektrometerrohr-Überholung ............................................................................................. 4-6
4.3.1 Ausbauen der Spektrometerrohr-Baugruppe .............................................................. 4-7
4.3.2 Ausbauen des Tasten-Thermoelements ................................................................... 4-12
4.3.3 Ausbauen der Ionenquelle ........................................................................................ 4-14
4.3.4 Ausbauen des Vorverstärkers................................................................................... 4-16
4.3.5 Ausbauen der Magnetpole ........................................................................................ 4-17
4.3.6 Untersuchen und Reinigen der Spektrometerteile .................................................... 4-18
4.3.7 Zusammenbau .......................................................................................................... 4-21
4.4 Erneuern der Ionenquelle außerhalb der jährlichen Wartung ............................................ 4-22
4.4.1 Zusammenbau .......................................................................................................... 4-23
4.5 Mechanische Pumpe ......................................................................................................... 4-24
4.5.1 Ölwechsel bei ölversiegelten Pumpen ...................................................................... 4-24
4.5.2 Erneuerung der Dichtleiste bei der TriScroll-Pumpe................................................. 4-24
4.6 Ersatzteilliste für 979.......................................................................................................... 4-24
4.7 Zubehörliste für 979 ........................................................................................................... 4-26
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