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Ausbau - INFICON PSG550 Gebrauchsanleitung

Pirani standard gauge
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Status-LED
LEDs auf der Messröhre erlauben eine grobe Beurteilung des
Röhrenzustandes und des aktuellen EtherCAT-Status
(→  [7]).
5

Ausbau

tina60d1-b
(2017-10)
GEFAHR
GEFAHR: Kontaminierte Teile
Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Um-
weltschäden verursachen.
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten
über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang
mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vor-
schriften beachten und die Schutzmaßnahmen ein-
halten.
Vorsicht
Vorsicht: Vakuumkomponente
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die
Funktion der Vakuumkomponente.
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Re-
geln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Be-
schädigung beachten.
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Diese Anleitung auch für:

Psg554Psg552

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