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Einbau; Vakuumanschluss - INFICON PSG550 Gebrauchsanleitung

Pirani standard gauge
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3

Einbau

3.1

Vakuumanschluss

tina60d1-b
(2017-10)
GEFAHR
GEFAHR: Überdruck im Vakuumsystem >1 bar
Öffnen von Spannelementen bei Überdruck im Va-
kuumsystem kann zu Verletzungen durch herum-
fliegende Teile und Gesundheitsschäden durch
ausströmendes Prozessmedium führen.
Spannelemente nicht öffnen, solange Überdruck im
Vakuumsystem herrscht. Für Überdruck geeignete
Spannelemente verwenden.
GEFAHR
GEFAHR: Überdruck im Vakuumsystem >2.5 bar
Bei KF-Anschlüssen können elastomere Dichtun-
gen (z. B. O-Ringe) dem Druck nicht mehr stand-
halten. Dies kann zu Gesundheitsschäden durch
ausströmendes Prozessmedium führen.
O-Ringe mit einem Außenzentrierring verwenden.
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Diese Anleitung auch für:

Psg554Psg552

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