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Einführung
MSD-Version 5975
MSDs der Serie 5975 sind mit einer Diffusionspumpe oder einem oder zwei
Turbomolekularpumpen (Turbopumpen) ausgestattet. Auf dem Etikett mit der
Seriennummer wird die Produktnummer
welchen MSD-Typ es sich handelt.
Tabelle 1 Verfügbare Hochvakuumpumpen
Modellname
Produktnummer
5975C TAD VL MSD
G3170A
5975C TAD Inert
G3171A
MSD
G3172A
5975C TAD Inert XL
MSD
5975C TAD Inert XL
G3174A
MSD
7820 MSD VL
G3175A
7820 MSD
G3176A
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Beschreibung
Diffusionspumpen-MSD
Standard-Turbo-MSD
Leistungs-Turbo-MSD
CI-Leistung bei hohen
Massen
Turbopumpe
Diffusionspumpen-MSD
Standard-Turbo-MSD
(Tabelle
1) angegeben, die angibt, um
Ionisationsmodi
Elektronenstoß (EI)
Elektronenstoß (EI)
Elektronenstoß (EI)
Elektronenstoß (EI)
Negative chemische Ionisation (NCI)
Positive chemische Ionisation (PCI)
Elektronenstoß (EI)
Elektronenstoß (EI)
Benutzerhandbuch MSD der Serie 5975