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Typische Druckmesswerte
Verwenden Sie die Mikro-Ionen-Vakuummessvorrichtung G3397A. Beachten
Sie, dass der Massenfluss-Controller für Methan und die Vakuummessvorrich-
tung für Stickstoff kalibriert ist, sodass diese Messungen nicht exakt sind,
jedoch als Orientierung für typische festgestellte Messwerte dienen
(Tabelle
ten Sie, dass es sich um typische PCI-Temperaturen handelt:
Quellentemperatur
Quadtemperatur
Verbindungstemperatur
Helium-Trägergasfluss
Tabelle 20 Fluss- und Druckmesswerte
MFC
(%)
10
15
20
25
30
35
40
Machen Sie sich mit den Messungen auf Ihrem System unter Betriebs-
bedingungen vertraut, und achten Sie auf Veränderungen, die auf ein
Vakuum- oder Gasflussproblem hinweisen könnten. Messungen können von
einem MSD zum anderen bzw. von einer Messvorrichtung zu einer anderen um
bis zu 30% abweichen.
Benutzerhandbuch MSD der Serie 5975
20). Diese wurden unter den folgenden Bedingungen erfasst. Beach-
Druck (Torr)
Methan
EI/PCI/NCI-MSD
(Leistungs-Turbopumpe)
10
–5
5.5
×
10
–5
8.0
×
10
–4
1.0
×
10
–4
1.2
×
1
–4
1.5
×
10
–4
2.0
×
10
–4
2.5
×
Betrieb im chemischen Ionisations-Modus (CI)
250 °C
150 °C
280 °C
1 mL/Min
Ammoniak
EI/PCI/NCI-MSD
(Leistungs-Turbopumpe)
–5
5.0
×
10
–5
7.0
×
10
–5
8.5
×
10
–4
1.0
×
10
–4
1.2
×
10
–4
1.5
×
10
–4
2.0
×
10
4
133
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