Agilent Technologies 5975 MSD Serie Benutzerhandbuch Seite 76

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Betrieb im Elektronenstoß-Modus (EI)
Tabelle 13 Messwerte des Mikro-Ionen-Vakuummeters
Säulenflussrate, Messwert an der
mL/Min Messvorrichtung,
Torr
Leistungs-Turbo-
pumpe
0.5 3.18E–06
0,7 4.42E–06
1 6.26E–06
1,2 7.33E–06
2 1.24E–05
3 1.86E–05
4 2.48E–05
6 3.75E–05
Wenn der Druck konstant über den aufgelisteten Werten liegt, lesen Sie in der
Online-Hilfe der MassHunter Data Acquisition-Software die Informationen zur
Fehlerbehebung bei Luftlecks und anderen Vakuumproblemen.
In der Ansicht „Instrument Control" können Sie eine MS-Überwachung zum
Anzeigen dieses Vakuummesswerts einrichten. Das Vakuum kann auch am
lokalen Bedienfeld oder im Bildschirm „Manual Tune" abgelesen werden.
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Messwert an der Messwert an der
Messvorrichtung, Messvorrichtung, Torr
Torr Diffusions-Pumpe
Standard-Turbo-
pumpe
1.3E–05 2.18E–05
1.83E–05 2.59E–05
2.61E–05 3.66E–05
3.11E–05 4.46E–05
5.25E–05 7.33E–05
8.01E–05 1.13E–04
Vordruckmesswert,
Torr
Diffusions-Pumpe
34.7
39.4
52.86
60.866
91.784
125.76
Benutzerhandbuch MSD der Serie 5975