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Funktionsprinzip, Technische Daten
3.8
Technische Daten IMS5600
Modell
IMS5600-
Abstand
Messbereich
Dicke
Messbereichsanfang
1
Auflösung
Messrate
2
Linearität
Temperaturstabilität
Mehrschichtmessung
Lichtquelle
3
Lichtpunktdurchmesser
4
Messwinkel
Messobjektmaterial
Versorgungsspannung
Signaleingang
Digitale Schnittstelle
Analogausgang
Schaltausgang
Digitalausgang
optisch
Anschluss
elektrisch
Sensor
Montage
Controller
Lagerung
Temperaturbe-
reich
Betrieb
Schock (DIN EN 60068-2-27)
Vibration (DIN EN 60068-2-6)
Sensor
Schutzart
(DIN EN 60529)
Controller
Vakuum
Material
Bedien- und Anzeigeele-
mente
Alle Daten ausgehend von konstanter Raumtemperatur (24 ±2 °C)
1) Messrate 0,5 kHz, gleitende Mittelung über 64 Werte, differentiell gemessen zwischen Vorder- und Rückseite einer dünnen Glasplatte in Messbe-
reichsmitte (2 Sigma)
2) Maximale Abweichung zu Referenzsystem über gesamten Messbereich, gemessen auf Vorderfläche ND-Filter
3) In Messbereichsmitte
4) Maximale Verkippung des Sensors, bis zu der auf einem polierten Glas (n = 1,5) in der Messbereichsmitte ein verwertbares Signal erzielt werden
kann, wobei die Genauigkeit zu den Grenzwerten abnimmt
5) Nicht transparente Materialien erfordern optisch dichte Oberfläche bei Wellenlänge 840 nm
6) Optionale Anbindung über Schnittstellenmodul (siehe Zubehör)
IMS5x00
DS1/VAC
1 mm
-
1 mm
temperaturkompensiert, Stabilität < 10 ppm zwischen +15 ... +35 °C
-
NIR-SLED, Wellenlänge 840 nm; Klasse 1 nach DIN-EN 60825-1: 2015-07
Pilotlaser: Laser-LED, Wellenlänge 635 nm; Klasse 1, Leistung (< 0,2 mW)
Sensor mit integrierten Vakuum-
Lichtwellenleiter; Länge 2m und FC/
APC Stecker. Verlängerung über
steckbaren Lichtwellenleiter
über E2000-Buchse (Controller) und
FC-Buchse (Vakuumdurchführung)
Standardlängen 3 m, 5 m und 10 m; andere Kabellängen auf Anfrage;
Encoderanschluss (15-pol., HD-Sub-Buchse, max. Kabellänge 3 m,
RS422-Anschlussbuchse (9-pol., Sub-D, max. Kabellänge 30 m);
3-pol. Ausgangsklemmleiste (max. Kabellänge 30 m); 11-pol. I/O Klemmleiste (max. Kabellänge 30 m);
RJ45-Buchse für Ethernet (out) / EtherCAT (in/out) (max. Kabellänge 100 m)
IP40
UHV (Kabel und Sensor)
Edelstahl (Sensor); Aluminiumgehäuse, passiv gekühlt (Controller)
Multifunktionstaste: zwei einstellbare Funktionen sowie Reset auf Werkseinstellung nach 10 s;
Webinterface für Setup: auswählbare Presets, frei wählbare Mittelungen,
6 x Farb-LED für Intensity, Range, SLED, Pilot-Laser, Status und Power;
DS0.5/90/VAC DS10/90/VAC
1,5 mm
1,5 mm
-
-
ca. 0,5 mm
ca. 10 mm
< 30 pm
stufenlos einstellbar von 100 Hz bis 6 kHz
< ±10 nm
Linearität: typ. 0,1 nm / K (ohne Offsetverschiebung)
-
-
10 µm
±2°
Glas, spiegelnde oder diffuse Oberflächen
24 VDC ±15 %, ca. 10 W (24 V)
Sync in, Trigger in, 2 x Encoder (A+, A-, B+, B-, Index)
Ethernet / EtherCAT / RS422 / PROFINET
4 ... 20 mA / 0 ... 10 V (16 bit D/A Wandler)
Fehler1-Out, Fehler2-Out
Sync out
Steckbarer Lichtwellenleiter über E2000-Buchse (Controller) und
Biegeradius: statisch 30 mm, dynamisch 40 mm
3-pol. Versorgungsklemmleiste;
30 m bei externer Encoderversorgung);
Radialklemmung, Montageadapter (siehe Zubehör)
frei stehend, Hutschienenmontage
-20 ... +70 °C
Sensor: +5 ... +70 °C;
Controller: +15 ... +35 °C
15 g / 6 ms in XY-Achse, je 1000 Schocks
2 g / 20 ... 500 Hz in XY-Achse, je 10 Zyklen
IP40
IP40
IP40
Datenreduktion, Setupverwaltung;
Pilot-Laser: zuschaltbar zur Sensor-Ausrichtung
DS19
IMS5600-DS19/MP
2,1 mm
-
0,010 ... 1,3 mm
ca. 19 mm
< ±10 nm für den ersten Abstand
< ±100 nm für jeden weiteren Abstand
-
bis zu 13 Schichten
5
6
6
/ EtherNet/IP
FC-Buchse (Sensor);
IP65, IP40 (Option /VAC)
optional UHV (Kabel und Sensor)
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