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INFICON
4.3.4 Physikalische Daten
4.3.5 Materialien im Gasfluss
4.4 Werkseinstellungen
ELT-Vmax Betriebsanleitung-minc98de1-01-(2405)
Kleinste nachweisbare Leckrate
Messbereich
Nachweisbare Massen
Massenspektrometer
Ionenquelle
Zeit bis zur Betriebsbereitschaft
• Messing vernickelt
• PTFE (Polytetrafluorethylen)
• PU (Polyurethane)
• PA (Polyamid)
• POM (Polyacetal)
• PBT (Polybutylenterephthalat)
• NBR (Acrylnitril-Butadien-Kautschuk)
• Stahl
• Aluminium
• Nylon
• FKM & FPM (Fluorkautschuk)
• Quarz-Kapillare
• Kleber (Epotec 302-3M)
• Wolfram
Automatische Anmeldung
Voreingestellter Nutzer
Supervisor-PIN (Voreinstellung)
Voreingestelltes Produkt
Messmasse
Kalibriermasse
600-301
-7
5 x 10
mbar l/s (Helium-
Äquivalenzleckrate, bei einem
Druckunterschied von 1000 mbar gegen
0 mbar für 100% DMC
(Dimethylcarbonat))
3 Dekaden
2 bis 200 amu
Quadrupol Massenspektrometer
2 Kathoden
< 3 min im Regelbetrieb
Ein
Supervisor
1111
Universal
59
59
Beschreibung | 4
17 / 50
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