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INFICON
4.3.4 Physikalische Daten
ELT3000-Batterie-Dichtheitspruefgeraet-BA-mina95de1-10-(2007)
Physikalische Daten
Nachweisgrenze
Kleinste nachweisbare
Leckrate
Messbereich
Nachweisbare Massen
Massenspektrometer
Ionenquelle
Zeit bis zur
Betriebsbereitschaft
-6
1 x 10
mbar l/s (Helium-Äquivalenzleckrate, bei
einem Druckunterschied von 1000 mbar gegen 0
mbar)
3 Dekaden
2 bis 200 amu
Quadrupol Massenspektrometer
2 Kathoden
< 3 min
Beschreibung | 4
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