Gas-Korrekturfaktor - Pfeiffer Vacuum Rpt 100 Betriebsanleitung

Technische Daten und Maßbilder

10.3 Gas-Korrekturfaktor

1E3
1E2
1E1
1E0
1E-1
1E-2
1E-3
1E-3
18
1E-2 1E-1
tatsächlicher Druck (mbar)
Abb. 9: Messkurve RPT 100 (Pirani)
Korrekturfaktor Pirani:
N 1,00
2
Luft 1,00
H 0,58
2
He 1,02
Ar 1,59
CO 0,89
2
CF 0,93
4
Relative Empfindlichkeit im molekularen Bereich (1 · 10
1E0 1E1
-1
mbar)
H 2
N 2
Ar
1E2 1E3