Edwards TIC Turbo Controller 100 W Betriebsanleitung Seite 7

Tabellen
Tabelle
1 Mit dem Controller-Sortiment kompatible Geräte .................................................................. 2
2 Pinbelegung des Turbopumpen-Anschlusses ......................................................................... 4
3 Pinbelegung des Vorvakuumpumpen-Anschlusses ................................................................... 6
4 Pinbelegung des Anschlusses für Zusatzeinrichtungen ............................................................. 7
5 Pinbelegung am Anschluss der Logik-Schnittstelle ................................................................. 7
6 Pinbelegung am Anschluss für die serielle Datenübertragung .................................................... 9
7 Checkliste der einzelnen Komponenten ............................................................................. 11
8 Auf dem Bedienfeld verwendete Symbole und ihre Bedeutungen .............................................. 21
9 Standardoptionen für die Turbopumpeneinstellung ...............................................................26
10 Fehler/Diagnoseüberwachung, Pumpen ............................................................................. 27
11 Unterschiede bei der Einrichtung der Turbopumpenbelüftung ..................................................28
12 Belüftungs-Optionen für Turbopumpen ............................................................................. 28
13 Typ der Turbopumpenbelüftung ...................................................................................... 28
14 Einstellungsoptionen für DX-, nEXT- und nXDS-Pumpen ..........................................................28
15 Fehler/Diagnoseüberwachung, DX-, nEXT- und nXDS-Pumpen ...................................................29
16 Optionen des Standard-Setup der Vorvakuumpumpe .............................................................29
17 Optionen des Standard-Setup der nXDS-Pumpe .................................................................... 30
18 nEXT Wartungsbildschirm („nEXT Service") ........................................................................ 31
19 Bildschirm zum Rücksetzen der nEXT-Wartung („nEXT Service Reset") ....................................... 32
20 nXDS Wartungsbildschirm ..............................................................................................32
21 Bildschirm zum Rücksetzen der nXDS-Wartung .................................................................... 33
22 Fehlersuche .............................................................................................................. 35
23 Werkseitige Standardeinstellungen .................................................................................. 36
24 Zubehörteile ............................................................................................................. 40
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