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Tabelle 9 - Standardoptionen für die Turbopumpeneinstellung (Fortsetzung)
Menüoption
TIC vent options
(Belüftungsoptionen)
Backing Pump
(Vorvakuumpumpe)
Optionen
Zu Fehler- und Diagnoseinformationen für Pumpen siehe
Wenn eine Edwards 24 V-Vorvakuumpumpe angeschlossen ist, wird empfohlen, dass die genutzte
Gesamtleistung die in
Abschnitt 2
Diagnosemeldungen
RampUp Timeout
Droop Timeout
4.8.3
Zusätzliche Einstellungsoptionen bei Verwendung einer DX oder nEXT-Pumpe
Der Controller ermöglicht es dem Anwender, zusätzliche Funktionen einzustellen, die bei DX-, nEXT- oder
nXDS-Pumpen verfügbar sind.
Lesen Sie die Anleitung der DX- oder nEXT-Pumpe, bevor Sie mit dem Controller das Setup der DX-, nEXT- oder
nXDS-Pumpe durchführen.
Die Turbobelüftung kann je nach Pumpenfamilie eingestellt werden; siehe
TIC-Belüftungsoption auch ein zusätzliches Belüftungsventil mit einem Vakuumsystem verbinden.
© Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Beschreibung
Ein an den Controller angeschlossenes Belüftungsventil kann auf folgende Weise
betrieben werden:
„On Stopp" zum Öffnen des Belüftungsventils 2 Sekunden nachdem der Stopp-Befehl
gegeben wurde, oder „50%" zum Öffnen des Belüftungsventils, wenn sich die Pumpe auf
50% ihrer Drehzahl verlangsamt hat.
Eine an den Controller oder über eine Relaisbox angeschlossene Vorvakuumpumpe kann
wie folgt betrieben werden:
None (Kein):
50%:
On stop (bei Stillstand):
VORSICHT
angegebenen Werte nicht übersteigt.
Tabelle 10 - Fehler/Diagnoseüberwachung, Pumpen
Beschreibung
Prüfen Sie, ob die Pumpe zu heiß ist oder ob der Einlassdruck zu hoch ist.
Prüfen Sie, ob die Vorvakuumpumpe funktionsbereit ist.
Prüfen Sie das Vakuumsystem auf Lecks.
Prüfen Sie, ob die Pumpe zu heiß ist oder ob der Einlassdruck zu hoch ist.
Prüfen Sie, ob die Vorvakuumpumpe funktionsbereit ist.
Prüfen Sie das Vakuumsystem auf Lecks.
VORSICHT
Die Vorvakuumpumpe ist mit der Turbopumpe nicht
sequentiell geordnet
Die Vorvakuumpumpe wird nach 2 Sekunden
ausgeschaltet, sobald die Turbo-Drehzahl auf 50% ihrer
Geschwindigkeit abfällt. Durch die Verzögerung wird
erreicht, dass Verunreinigungen beim Abschalten aus dem
System entfernt werden können.
4 Sekunden nachdem die der Befehl „Turbo off" gesendet
wurde, wird die Vorvakuumpumpe ausgeschaltet. Die
Verzögerung von 4 Sekunden ermöglicht das Abschalten
eines Ventils und das anschließende Entfernen von
Verunreinigungen aus dem System.
Tabelle
10.
Tabelle
D397-12-882 Issue L
11. Der Anwender kann über die
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