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INFICON
Vakuum-
Steuereinheit
ELT3000 PLUS-Bedienungsanleitung-minc95de1-01-(2304)
1
15
14
13
1 GDU A, Ø 6 mm
2 INLET (Prüfkammer-Anschluss Ø 8
mm)
3 Exhaust, Abluftschlauch, Ø 10 mm
4 Abluft
5 Netzschalter
6 Anschluss für das Netzkabel
7 Sicherungen hinter Abdeckung
8 RS232 Signalverbindung zum
Gasnachweissystem
2
3
4
10
11
12
9
10 Anschluss I/O-Port
11 Frischluft
12 Netzwerk-Verbindung RJ45
13 PURGE, Frischluft-Anschluss, Ø 6
14 VENT (Kammer-Anschluss Belüften
15 GDU B, Ø 6 mm
9
8
7
6
Anschluss für die Vakuumkammer
mm
Ø 8 mm)
Installation | 5
5
29 / 92
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