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Olympus MX63 Bedienungsanleitung Seite 92

Inspektionsmikroskope für halbleiter/fpd/industrielle anwendungen
Inhaltsverzeichnis

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Serienbezeichnung
Serie UIS2
SLMPLN
M Plan Achromat
mit extrem großem
Arbeitsabstand
(OFN26,5) **
MPLAPON
M Plan Apochromat
(OFN26,5) **
LMPLN-IR
M Plan Achromat für IR mit
weitem Arbeitsabstand
(
22)
OFN
**
LCPLN-IR
M Plan Achromat für IR
**
(
22)
OFN
Für Flüssigkristalldisplays
Serienbezeichnung
Serie UIS2
LCPLFLN-LCD
M Plan Semi Achromat
(OFN26,5) **
* : Mit Korrekturring entsprechend der Glasdicke.
86
Optische Leistung
Ver-
größerung
Schreibweise
SLMPlanN
20x
50x
100x
MPlanApoN
50x
100x
100XO
LMPlan-IR
5x
10x
LCPlan-IR
20x
50x
100x
Optische Leistung
Ver-
größerung
Schreibweise
LCPlan-
20XLCD
FLN-LCD *
50XLCD
100XLCD
Deck-
Numerische
Arbeitsab-
glashöhe
Apertur
stand (mm)
(mm)
0,25
25,0
0
0,35
18,0
0
0,60
7,5
0
0,95
0,35
0
0,95
0,35
0
1,4
1,4
0
0, 1
23
0,3
18
0,45
8,3
0-1,2
0,65
4,5
0-1,2
0,85
1,2
0-0,7
Deck-
Numerische
Arbeitsab-
glashöhe
Apertur
stand (mm)
(mm)
0,45
7,4-8,3
0-1,2
0,70
2,2-3
0-1,2
0,85
0,9-1,2
0-0,7
Okular
WHN10X (Sehfeldzahl 22) SWH10X (Sehfeldzahl 26,5)
Tatsäch-
Gesamtver-
liches
Gesamtver-
größerung
Sehfeld
größerung
(mm)
200x
1, 1
200x
500x
0,44
500x
1000x
0,22
1000x
500x
0,44
500x
1000x
0,22
1000x
1000x
0,22
1000x
50x
4,4
50x
100x
2,2
100x
200x
1, 1
200x
500x
0,44
500x
1000x
0,22
1000x
Okular
WHN10X (Sehfeldzahl 22) SWH10X (Sehfeldzahl 26,5)
Tatsäch-
Gesamtver-
liches
Gesamtver-
größerung
Sehfeld
größerung
(mm)
200x
1, 1
200x
500x
0,44
500x
1000x
0,22
1000x
Tatsäch-
liches
Sehfeld
(mm)
1,33
0,53
0,27
0,53
0,27
0,27
5,3
2,65
1,33
0,53
0,27
Tatsäch-
liches
Sehfeld
(mm)
1,33
0,53
0,27

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Diese Anleitung auch für:

Mx63l

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