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BEDIENUNGSANLEITUNG
MX61/MX61 L
200 mm/300 mm-
KOMPATIBLE HALBLEITER-/
FPD-INSPEKTIONSMIKROSKOPE
Optisches Mikroskop und Zubehör
Diese Bedienungsanleitung bezieht sich auf die Halbleiter-/FPD-Inspektionsmikroskope MX61/61L
von Olympus. Damit Sie sich mit diesem Mikroskop umfassend vertraut machen können, zur Ge-
währleistung der Sicherheit und um eine optimale Leistung des Mikroskops zu erzielen, empfehlen
wir, diese Bedienungsanleitung vor dem Mikroskopieren sorgfältig durchzulesen.
Bewahren Sie diese Bedienungsanleitung zum Nachschlagen an einem leicht zugänglichen Ort in
der Nähe Ihres Arbeitsplatzes auf.
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Verwandte Anleitungen für Olympus MX61
Inhaltszusammenfassung für Olympus MX61
- Seite 1 Optisches Mikroskop und Zubehör Diese Bedienungsanleitung bezieht sich auf die Halbleiter-/FPD-Inspektionsmikroskope MX61/61L von Olympus. Damit Sie sich mit diesem Mikroskop umfassend vertraut machen können, zur Ge- währleistung der Sicherheit und um eine optimale Leistung des Mikroskops zu erzielen, empfehlen wir, diese Bedienungsanleitung vor dem Mikroskopieren sorgfältig durchzulesen.
- Seite 2 Wenden Sie sich bezüglich der in Ihrem Land verfügbaren Rückgabe- und/oder Sammel systeme an Ihren örtlichen Olympus-Händler innerhalb der EU. HINWEIS: Dieses Gerät wurde getestet und entspricht Part 15 der FCC-Richtlinien für Obergrenzen von digi- talen Geräten der Klasse A.
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Seite 3: Inhaltsverzeichnis
MX61/MX61L INHALT Das Mikroskop kann seine volle Leistungsfähigkeit nur erbringen, wenn die Montage und die Einstellungen richtig durch- geführt wurden. Wenn Sie das Mikroskop selbst montieren möchten, beachten Sie bitte die separate Bedienungsanleitung mit dem Titel „MONTAGE-/SETUP-BEDIENUNGSANLEITUNG“. Beachten Sie auch die jeweiligen Montageanleitungen der Module, für die separate Bedienungsanleitungen vorliegen. - Seite 5 MX61/MX61L MIKROFOTOGRAFIE MIKROSKOPIE 29-34 7-1 Auflichtmikroskopie im Hellfeld/Dunkelfeld ....................29 7-2 Auflichtmikroskopie im differentiellen Interferenzkontrast nach Nomarski (DIC) ................................30-32 7-3 Einfache Polarisation im Auflicht ............................ 32 7-4 Auflicht-Fluoreszenzmikroskopie ........................... 32 7-5 Auflicht-Infrarot (IR)-Mikroskopie ............................. 32 7-6 Durchlicht-Hellfeldmikroskopie ..........................33-34 7-7 Einfache Polarisation im Durchlicht ...........................
- Seite 6 UIS2 (UIS) Okularen, Objektiven, Beobachtungstuben usw. verwendet werden. Die Verwendung ungeeigneten Zubehörs kann zu Leistungsbeeinträchtigungen führen. Das Mikroskop MX61L eignet sich für einen Tisch-Verfahrweg von 300 mm (12 Inch) und das MX61 für einen Verfahrweg von 200 mm (8 Inch).
- Seite 7 MX61/MX61L 5. Die Arbeitsplatte, auf der das Mikroskopsystem installiert wird, muss annähernd horizontal mit einem Neigungswinkel von weniger als 20° bei Modell MX61L bzw. weniger als 1° bei Modell MX61 (zur Vermeidung von spontanen Tischbewegungen) und stabil sein. (Das Gewicht des Mikroskopsystems in der Standard-Modulkombination beträgt bei Modell MX61L ca. 53 kg und bei Modell MX61 ca.
- Seite 8 << Initialisierung >> Beim Einschalten des MX61/61L wird zunächst die Steuerkarte initialisiert, dann die aktuelle Position des motorischen Objektiv- revolvers überprüft und anschließend die Aperturblende initialisiert. Nach dem Einschalten des Mikroskops darauf achten, dass die Bedienkonsole den unten gezeigten Abbildungen entspricht.
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Seite 9: Vorbereitung
MX61/MX61L Vorbereitung 1. Aufstellungsorte, die dem direkten Sonnenlicht, hohen Temperaturen, Feuch- tigkeit, Staub oder starken Erschütterungen ausgesetzt sind, sind zu ver- meiden. (Zu den Betriebsbedingungen siehe Kapitel 8, „TECHNISCHE DATEN“, auf Seite 36.) 2. Ein Mikroskop ist ein empfindliches Gerät. Mit Sorgfalt handhaben und gegen Erschütterungen und gewaltsame Einwirkungen schützen. -
Seite 10: Anwendbare Standards
Anwendbare Standards 1. Dieses Gerät entspricht den folgenden Standards oder wurde entsprechend zertifiziert. 2. Wenngleich diese Geräte für die Anwendung im industriellen Umfeld vorgesehen sind, wird ihre volle Leistung eventu- ell nicht erreicht, wenn sie nicht sachgemäß bedient werden. Die Geräte unbedingt gemäß den Anweisungen dieser Bedienungsanleitung verwenden. - Seite 11 }Die Abbildung zeigt Modell MX61L. }Die nachfolgend dargestellten Module dienen als Beispiel für ein typisches System. Bestimmte Module können auch verwendet werden, wenn sie unten nicht aufgeführt sind. Dazu die aktuellen Kataloge beachten oder bei Olympus nachfragen. Informationen zu den mit * gekennzeichneten Modulen sind in den separaten Bedienungsanleitungen zu finden.
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Seite 12: Bedienelemente
BEDIENELEMENTE }Wenn das Mikroskop noch nicht montiert ist, das in der separaten Bedienungsanleitung mit dem Titel „MONTAGE-/ SETUP-ANLEITUNG“ beschriebene Montageverfahren beachten. · Die folgende Abbildung zeigt die Module mit den in angegebenen Modellbezeichnungen. Weitere Zusatz- module sind auf den folgenden Seiten beschrieben. Analysatoreinschübe (Seite 30) Strahlengangwahlschieber (Seite 24) Zentrierschrauben für die Aperturblende... -
Seite 13: Tisch- Und Haltersystem Für Modell Mx61
MX61/MX61L Tisch- und Haltersystem für Modell MX61 Drehbarer Waferhalter BH2-WHR43 (für 3- bis 4-Inch-Wafer) BH2-WHR54 (für 4- bis 5-Inch-Wafer) BH2-WHR65 (für 5- bis 6-Inch-Wafer) Platte für drehbare Waferhalter MX-WHPR86 (für 6- bis 8-Inch-Wafer) 5-Inch-Maskenhalter BH3-MH5 Platte für drehbare Waferhalter BH3-WHP6... -
Seite 14: Tisch- Und Haltersystem Für Modell Mx61L
Tisch- und Haltersystem für Modell MX61L Drehbarer Waferhalter für 8-Inch- 6-Inch-Maskenhalter Glasplatte und 12-Inch-Wafer MX-MH6 MX-SPG1412 MX-WHPR128 Griff für die Grob- bewegung (Seite 22) (mit Kupplung) x-/y-Achsen-Triebe (Seite 22) Tisch (14x12 Inch) MX-SIC1412R2... - Seite 15 MX61/MX61L Filtermodule Für die verschiedenen Mikroskopieverfahren stehen passende Filtermodule zur Ver- fügung. Mikroskopie Bezeichnung des Filtermoduls Auflicht/Hellfeld Im Arm eingebaut. Auflicht/Dunkelfeld Im Arm eingebaut. Auflicht/DIC U-MDIC3, U-MDICAF3 Auflicht/einfache Polarisation U-MDIC3, U-MDICAF3 Auflicht/Fluoreszenz U-MWBS3, U-MWGS3, U-MWUS3, U-MF (als Zubehör erhältlicher leerer...
- Seite 16 Durchlichtmodul (Hinweis) Das Durchlichtmodul wird vom Händler angebracht. Auf der folgenden Abbildung fehlt MX-TILLB der Tisch, damit der gesamte Kondensor ungehindert dargestellt werden kann. Filtereinschub (Seite 27) Einstellrad für die Kondensorhöhe (Seite 25) (mit 6 Bedienkerben) Lichtleiter LG-SF Aperturblendenhebel (Seite 26) Leuchtfeldblendenhebel (Seite 25) Zentrierschrauben der Leuchtfeldblende (Seite 25) Durchlichtmodul...
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Seite 17: Vorschaltgerät
MX61/MX61L Lampenhaus für Quecksilberbrenner U-LH100HGAPO Fokussierschraube der Kollektorlinse U-LH100HG Lampen-Zentrierknöpfe Spiegel-Fokussierschraube (an der Rückseite des Lampenhauses) Vorschaltgerät }Einzelheiten sind in der Bedienungsanleitung des U-RFL-T zu finden. U-RFL-T Betriebsstundenzähler Lampenhausanschluss des Brenners Betriebsanzeige der Lampe Hauptschalter I : ON : OFF... -
Seite 18: Übersicht Der Vorgehensweise Bei Auflicht- Mikroskopie Im Hellfeld/Dunkelfeld
ÜBERSICHT DER VORGEHENSWEISE BEI AUFLICHT- MIKROSKOPIE IM HELLFELD/DUNKELFELD In diesem Kapitel wird die Bedienung des Mikroskops bei Verwendung für Auflichtmikroskopie im Hellfeld und Dunkel- feld beschrieben. Einfache Polarisation, differentieller Interferenzkontrast nach Nomarski (DIC) usw. werden in separaten Abschnitten weiter hinten in dieser Bedienungsanleitung erklärt. }Die Bedienelemente |ƒ‰... - Seite 19 MX61/MX61L ² Strahlengangwahlschieber Š Verschiedene Filter ‡ Binokular- tubus/Okulare @ Hellfeld/Dunkelfeld-Wahlschalter † Helligkeitsregler | Objektivwahltaste ‰ Tasten zum Öffnen/Schließen der Aperturblende ³ Hauptschalter … Grob-/Feintriebe ƒ Handschalter } Fertigen Sie eine Kopie dieses Kapitels an und legen Sie diese zum schnellen Nachschlagen neben dem Mikroskop aus.
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Seite 20: Zusammenfassung Des Durchlicht- Mikroskopieverfahrens
ZUSAMMENFASSUNG DES DURCHLICHT-MIKROSKOPIE- VERFAHRENS In diesem Kapitel wird die Bedienung des Mikroskops bei Durchlichtmikroskopie beschrieben. Die Polarisation bei Durchlicht wird in einem separaten Abschnitt weiter hinten in dieser Bedienungsanleitung erläutert. Durchlicht-Beleuchtungsbereiche der geeigneten Tische: MX-SIC1412R2* X: 356 mm. Y: 284 mm. MX-SIC8R X, Y: 189 mm * Bei Verwendung des Durchlichtmoduls MX-TILLA muss ein Anschlag zur Begrenzung des Verfahrweges in y-Achsen-... - Seite 21 MX61/MX61L Œ Binokulartubus/Okulare ² Strahlengangwahlschieber @ Hellfeld/Dunkelfeld-Wahlschalter ƒ Hauptschalter (Beleuchtungseinrichtung) › Einstellring für die Kondensorhöhe (nur MX-TILLB) | Aperturblenden- hebel (Beleuchtungs- einrichtung) ™ Verschiedene Filter œ Aperturblenden- hebel ‹ Helligkeits- † Helligkeits- regler (Beleuch- regler tungseinrichtung) ³ Wahlschalter „Manual/Remote“ ‡ Objektivwahltaste...
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Seite 22: Verwenden Der Bedienelemente
VERWENDEN DER BEDIENELEMENTE 5-1 Stativ Regulieren der Helligkeit des Auflichts (Abb. 3) 1. Den Helligkeitsregler @ bis zum Anschlag gegen den Uhrzeigersinn drehen (ge- ringste Spannung) und anschließend den Hauptschalter ² einschalten („ “). In Notfällen den Hauptschalter ausschalten („ “), um die Stromzufuhr zu unterbrechen. -
Seite 23: Verwenden Der Tasten Zum Öffnen/Schließen Der Aperturblende
MX61/MX61L Verwenden der Tasten zum (Abb. 5 bis 7) Öffnen/Schließen der Aperturblende }Die Aperturblende wird verwendet, um die numerische Apertur (N. A.) des Beleuchtungssystems einzustellen. Durch Anpassen der nume- rischen Apertur des Beleuchtungssystems an die N. A. des verwen- deten Objektivs werden Kontrast und Schärfentiefe des mikroskopi- schen Bildes verbessert. -
Seite 24: Arm
* Vor der Lieferung ab Werk wurde der Wahlschalter auf zwei Umschalt- Abb. 8 < - --- > möglichkeiten eingestellt (BF DF). Wird jedoch das als Zubehör er- hältliche Filtermodul angebracht (Montage durch einen Vertreter von Olympus), stehen drei Einstellmöglichkeiten zur Verfügung. -
Seite 25: Verwenden Der Filter Für Auflicht
MX61/MX61L Verwenden der Filter für Auflicht- (Abb. 9) beleuchtung }Die für die Mikroskopie benötigten Filterschieber in die beiden Filterein- schübe @ einschieben. Die erste Rastung des Schiebers ist die Leerposition, an der zweiten Rastung ist der Filter in den Strahlengang eingeschwenkt. -
Seite 26: Fokussiereinheit
5-3 Fokussiereinheit Scharfeinstellung (Abb. 10) Durch Drehen des Grobtriebs @ und des Feintriebs ² in Pfeilrichtung wird der Tisch angehoben (das Objekt wird dem Objektiv angenähert). Einstellen der Gängigkeit des Grobtriebs (Abb. 10) Die Gängigkeit des Grobtriebs ist zum einfachen Gebrauch bereits vor- ³... -
Seite 27: Tisch
MX61/MX61L 5-4 Tisch Verfahren des Tisches (Abb. 13 & 14) Zum Bewegen des Tisches den x-Achsen-Trieb @ und den y-Achsen- Trieb ² rechts unten am Tisch drehen. (Abb. 13) Der Verfahrweg des Tisches beträgt in Richtung der y-Achse ca. 50 mm pro Umdrehung und in x-Achsen-Richtung ca. -
Seite 28: Beobachtungstubus
5-5 Beobachtungstubus Einstellen des Augenabstands (Abb. 15) Durch die Okulare blicken und den Augenabstand so einstellen, dass die Sehfelder des rechten und linken Auges vollständig übereinstim- men. Der Indexpunkt „ · “ zeigt den Augenabstand an. (Abb. 15) }Den Augenabstand notieren, damit er zu einem späteren Zeitpunkt schnell wieder eingestellt werden kann. -
Seite 29: Verwenden Der Augenmuscheln
MX61/MX61L Verwenden der Augenmuscheln (Abb. 19) Wenn Sie eine Brille tragen Die Augenmuscheln in der normalen, nach hinten geklappten Position verwenden. Dies verhindert ein Verkratzen der Brille und der Okulare. Wenn Sie keine Brille tragen Die Augenmuscheln in Pfeilrichtung ausklappen, um das Eindringen von Störlicht zwischen Auge und Okular zu verhindern. -
Seite 30: Durchlicht-Beleuchtungseinrichtung
5-6 Durchlicht-Beleuchtungseinrichtung Regulieren der Helligkeit des Durchlichts (Abb. 22) #Die Bedienungsanleitung der Beleuchtungseinrichtung ebenfalls beachten. 1. Den Wahlschalter „Manual/Remote“ @ der Beleuchtungseinrichtung LG-PS2 auf MANUAL stellen. 2. Den Hauptschalter ² einschalten („ “) und die Helligkeit mit dem Hel- ligkeitsregler ³ oder dem Aperturblendenhebel | regulieren. ·... -
Seite 31: Regeln Der Aperturblende Für Durchlichtbeleuchtung
MX61/MX61L Regeln der Aperturblende (Abb. 26) für Durchlichtbeleuchtung }Im Allgemeinen wird durch Einstellen der Aperturblende auf 70% bis 80% der numerischen Apertur (N. A.) des Objektivs ein Bild mit gutem Kontrast erzielt. Bei Objektiven mit einer N. A. von 0,6 (MX-TILLB)/0,5 (MX-TILLA) oder höher reicht die N. -
Seite 32: Verwenden Der Filter Für Durchlicht
Verwenden der Filter für Durchlicht- ² (Abb. 27 & 28) beleuchtung ƒ }Filter können an den unten genannten drei Positionen angebracht wer- den. Wenn der Filter am Distalende des Lichtleiters jedoch in diesen einge- lassen werden soll, wird empfohlen, den Farbtemperaturfilter 25LBD-IF (zum Umwandeln der Farbtemperatur des Lichtes der Beleuchtungs- einrichtung in diejenige von Tageslicht) zu montieren, da dieser immer verwendet wird. -
Seite 33: Systemüberblick Mikrofotografie
MX61/MX61L MIKROFOTOGRAFIE }Für Mikrofotografie oder die Aufzeichnung mikroskopischer Bilder mit einer Videokamera oder einer Digitalkamera einen binokularen Fototubus, wie den MX-SWETTR, den U-TR30-2 usw. verwenden. Der binokulare Fototubus kann mit dem Fototubus U-SPT oder einem Videoadapter kombiniert werden (für manche Videoadapter ist ein Kameraadapter erforderlich). -
Seite 34: Mikroskopie
Hellfeld kann die starke Helligkeit der Hellfeldmikroskopie zu Über- strahlungen und einer Verletzung der Augen führen. Dies lässt sich durch Einsetzen dieses Filters in den Strahlengang für Hellfeldmikroskopie verhindern. Der Filter wird in Kombination mit dem Adapter MX-HGAD verwendet. Wenden Sie sich für die Montage bitte an Olympus. -
Seite 35: Auflichtmikroskopie Im Differentiellen Interferenzkontrast Nach Nomarski (Dic)
}Für eine einfachere Handhabung bei DIC-Mikroskopie im Auflicht das Filtermodul U-MDIC3 mit eingebautem Analysa- tor/Polarisator im Strahlengang (OP) installieren. (Die Installation wird von einem Vertreter von Olympus vorgenommen.) Bei Verwendung des U-MDICAF3 mit eingebautem Polarisator muss der Analysator U-AN360-3 im Arm installiert und die Einstellung der gekreuzten Polarisatoren vorgenommen werden. - Seite 36 3. Für die Modelle U-DICRH oder U-DICRHC, die nicht mit Schieberhebel ausgestattet sind, eignen sich folgende Objektive. DIC-Schieber Geeignete Objektive UIS2 U-DICRH Serie MPLFLN/MPLFLN-BD Serie MPLAPON Serie UMPlanFl/UMPlanFl-BD Serie MPlanFl-BD MPlanApo20X, 100X UIS2 U-DICRHC Serie LMPLFLN/LMPLFLN-BD Serie LMPlanFl/LMPlanFl-BD Serie LMPlanApo/LMPlanApo-BD Mikroskopieverfahren (Abb.
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Seite 37: Einfache Polarisation Im Auflicht
Das IR-Licht ist schädlich für die Augen. Infrarotbilder nur auf dem Monitor betrachten.) }Zur Verbesserung der IR-Wirkung möglicht viele speziell für IR-Mikroskopie geeignete Module (Lampenhaus, Objektiv, Beobachtungs- tubus und Videoadapter) verwenden. Falls Sie Fragen zu IR-geeigneten Modulen haben, wenden Sie sich bitte an Olympus. Hinweise zur Anwendung von Infrarotlicht 1. -
Seite 38: Durchlicht-Hellfeldmikroskopie
7-6 Durchlicht-Hellfeldmikroskopie }Für Durchlichtmikroskopie eignen sich die Tische MX-SIC1412IR2 oder MX-SIC8R. Hinweise für die Mikroskopie · Die Autofokuseinrichtung MX-AF kann nicht verwendet werden, da ihre Autofokusleistung nicht garantiert werden kann. · Die Dicke des Durchlicht-Objektes sollte zwischen 0 und 9 mm (Glas) (MX-TILLB) bzw. -
Seite 39: Einstellen Der Durchlichtbeleuchtung
MX61/MX61L Einstellen der Durchlichtbeleuchtung (Abb. 35 & 36) 1. Den Hauptschalter @ des Mikroskops einschalten („ “) und den Hellig- keitsregler ² bis zum Anschlag gegen den Uhrzeigersinn drehen, um die geringste Spannung für das Auflicht-Beleuchtungssystem einzustel- len. 2. Den Hauptschalter ³ der Durchlicht-Beleuchtungseinrichtung LG-PS2 einschalten („... -
Seite 40: Technische Daten
TECHNISCHE DATEN Technische Daten Parameter MX61 MX61L Optisches System Optisches UIS2 (UIS) (Universal Infinity System)-System Beleuchtungssystem Auflicht-Beleuchtungssystem (Sehfeldzahl 26,5) Halogenglühlampe 12 V, 100 W (vorzentriert). Wahl zwischen Hellfeld/Dunkelfeld mittels Spiegel + 1 Filtermodul. * Es können beliebige Filtermodule hinzugefügt werden. - Seite 41 MX61/MX61L Technische Daten Parameter MX61 MX61L Objektivrevolver Motorischer Hellfeld-Objektivrevolver mit 6 Positionen : U-D6REMC Motorischer Objektivrevolver für Hellfeld/Dunkelfeld/DIC mit 5 Positionen : U-D5BDREMC Der Objektivadapter BD-M-AD wird benötigt, um Hellfeldobjektive anzubringen. Motorischer zentrierbarer Hellfeld-Objektivrevolver mit 5 Positionen : U-P5REMC Objektivwechsel im/gegen den Uhrzeigersinn mithilfe der Objektivwahltasten an der vorderen Bedien- konsole des Mikroskops oder direkte Wahl des Objektivs über den Handschalter U-HSTR2.
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Seite 42: Optische Eigenschaften
HINWEIS Hellfeld/Dunkelfeld- Anwendung Aktuelle Informationen zu den Okularen und Objektiven, die mit dieser Einrichtung kombiniert werden können, erhalten Sie aus dem neuesten Katalog oder bei Ihrem örtlichen Olympus-Händler. Deckglaskorrektur Sehfeldzahl — : Kann mit oder ohne Deckglas verwendet werden. 0 : Verwendung ohne Deckglas. - Seite 43 MX61/MX61L Okular Optische Deck- Eigenschaften WHN10X (Sehfeldzahl 22) SWH10X (Sehfeldzahl 26,5) beits- glas- Auflö- Vergrö- N. A. korrek- sung Gesamt- Schärfen- Seh- Gesamt- Schärfen- Seh- ßerung vergrö- tiefe feld vergrö- tiefe feld stand (μm) ßerung (μm) ßerung (μm) (mm) (mm)
- Seite 44 Bedeutung der Objektivbezeichnung (Beispiele) (Plan) Keine : Hellfeld : Hellfeld/Dunkelfeld BDP : Hellfeld/Dunkelfeld o. Polarisation : Infrarot Ziffer : Vergrößerung Nichts : UIS : UIS 2 Nichts : Achromat, oder Aberrationskorrektur bei zwei Wellenlängen (rot und blau). : Semi-Apochromat, oder Farbaberrationskorrektur bei sichtbaren Wellenlängen (blauviolett bis rot).
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Seite 45: Fehlersuche
Probleme auftreten, gehen Sie bitte nach der folgenden Tabelle vor und treffen Sie die entsprechenden Abhilfemaßnahmen. „INST“ in der Spalte „Seite“ verweist auf die vorliegende Bedienungsanleitung, „SETUP“ verweist auf die Montage-/Setup-Bedienungsanleitung. Wenn Sie das Problem auch nach Durchsehen der gesamten Liste nicht lösen können, wenden Sie sich bitte an Ihre Olympus-Vertretung. Problem Ursache Abhilfemaßnahme... - Seite 46 Einstellung ist auf Seite 21 zu finden. e) Die Betriebsanzeigelampe leuchtet, Ein Verbindungsdraht hat sich gelöst. Es Setzen Sie sich bitte mit Olympus in doch die Objektivwahltasten und die liegt ein Anschlussfehler vor. Verbindung. Tasten zum Öffnen/Schließen der Sollte dieser Fehler während der seriellen...
- Seite 47 (COM-Port) des PCs ist falsch. prüfen. Die Einstellungen für die serielle Kommu- Die Einstellungen für die serielle Kom- nikation sind fehlerhaft. munikation für die Modelle MX61/ SETUP 27 MX61L vornehmen. Das Mikroskop befindet sich im Lokal- Das Mikroskop auf den Fernsteuer- betrieb.
- Seite 48 7. Fehleranzeige durch Leuchten und Blinken der Wahltasten Vordere Bedien- Handschalter konsole Alle ON (Ein) a. Alle Tasten sind funktionslos. Funktionsstörung der Steuer- Setzen Sie sich bitte mit Olympus in ungsplatine. Verbindung. 9 und 11 blinken b. Das Blinken beginnt, wenn Die Aperturblende ist bereits Das 10X-Objektiv in den Strahlengang viermal.
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Seite 49: Auswahl Des Passenden Netzkabels
Wenn kein Netzkabel mitgeliefert wurde, wählen Sie bitte gemäß den technischen Daten ein mit einem Prüfzeichen versehenes Netzkabel aus der nachfolgenden Tabelle aus: VORSICHT: Olympus leistet keine Gewähr für Schäden, die durch die Verwendung von nicht geprüften Netzkabeln in Verbindung mit Geräten von Olympus entstehen. - Seite 50 Tabelle 2 Flexibles Kabel PRÜFORGANISATIONEN UND MARKIERUNGSART FÜR DAS HARMONISIERUNGSZEICHEN Weitere mögliche Markierung mit Aufgedrucktes oder aufgepräg- schwarz-rot-gelbem Draht (Länge tes Harmonisierungszeichen (am Prüforganisation der Farbmarkierung in mm) Stecker oder an der Isolierung angebracht) Schwarz Gelb Comité Électrotechnique Belge CEBEC <HAR>...
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Seite 51: Prüfbogen Für Lampenhäuser
Wird bei einem der Punkte ein Häkchen (✓) gesetzt, darf die Lampenfassung nicht mehr verwendet und muss entweder von einem Kundendienstmitarbeiter von Olympus gründlich inspiziert oder ersetzt werden. Bei Funktionsstörungen, die in der Liste nicht aufgeführt sind oder ein anderes Produkt von Olympus betreffen, darf dieses Produkt ebenfalls nicht mehr verwendet werden. - Seite 52 Manufactured by Hersteller Shinjuku Monolith, 2-3-1 Nishi-Shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo 163-0914, Japan Distributed by Vertreiber 48 Woerd Avenue Waltham, MA 02453, U.S.A. 8F Olympus Tower, 446 Bongeunsa-ro, Gangnam-gu, Seoul, 06153 Korea 700514 Printed in Germany 06/16 Version 3.0...