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Installationsraum
Damit das Mikroskop seine volle Leistung erbringen kann, muss vor der Montage und Installation darauf geachtet werden,
dass der Installationsraum die nachstehend genannten Mindestabmessungen aufweist.
Die Abmessungen des Bereichs, der mit langen und zwei kurzen Strichen im Wechsel gekennzeichnet ist, geben den
Verfahrbereich des Tisches an. Die mit * markierten Abmessungen können je nach verwendetem Lampenhaus unter-
schiedlich sein.
TIPP
· Für Wartungsarbeiten kann der Arbeitsbereich vergrößert werden, indem die Richtung des Beobachtungs-
tubus oder der Tischbewegung verändert werden.
· Der nachfolgend beschriebene Installationsraum entspricht den Richtlinien nach SEMI-Standard (SEMI S8-
0915). Es wird empfohlen, den für die Bedienung benötigten Installationsraum anhand der nachstehenden
Angaben, des Erscheinungsbildes des Systems, der Einblickhöhe usw. festzulegen.
MX63 Installationsraum
8
Verfahrbereich
des Tisches
Installationsraum
Einheit: mm
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