Olympus MX63 Bedienungsanleitung Seite 20

Tischhalter für MX63
Drehbarer Waferhalter
Für 3 oder 4 Zoll (BH2-WHR43)
Für 4 oder 5 Zoll (BH2-WHR54)
Für 5 oder 6 Zoll (BH2-WHR65)
Drehbare Waferhalteplatte
14
(BH3-WHP6)
6x6-Zoll-Tisch
(MX-SIC6R2)
Drehbare Waferhalteplatte
Für 6 oder 8 Zoll (MX-WHPR86)
Rückplatte
(BH3-SP6)
Glasplatte
(BH3-SPG6)
Griff für die Grobeinstellung
(mit Kupplung)
x-Achsen-/y-Achsen-Triebe (Seite 27) x-Achsen-/y-Achsen-Triebe (Seite 27)
Griff für die Grobeinstellung (Seite 27) Griff für die Grobeinstellung (Seite 27) Griff für die Grobeinstellung (Seite 27)
(mit Kupplung) (mit Kupplung) (mit Kupplung) (mit Kupplung) (mit Kupplung) (mit Kupplung) (mit Kupplung)
(Seite 27)
8x8-Zoll-Tisch
(MX-SIC8R)