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6 Wartungsarbeiten
So zerlegen Sie die StepWave Ionenführungseinheit:
1.
Entfernen Sie mit dem kombinierten Werkzeug aus 2,5-mm-Inbus-
schlüssel und Cone-Entnahmehilfe die 2 Schrauben, mit denen die erste
Ionenführungseinheit an der zweiten Ionenführungseinheit befestigt ist.
Erste Ionenführungseinheit
2.
Trennen Sie die erste und die zweite Ionenführungseinheit voneinander.
Erste Ionenführungseinheit
164
11. Januar 2016, 715004159DE Rev. C
Zweite Ionenführungseinheit
Sicherungsschraube
Zweite Ionenführungseinheit
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