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Vakuumsystem
Das Vakuumsystem besteht aus zwei Vorpumpen (optional, Trocken- oder
Nasspumpen) und sechs Turbomolekularpumpen, die in folgenden Bereichen
des Systems ein Vakuum herstellen:
•
StepWave Ionenführung der Quelle
•
Triwave Gerät (zwei)
•
Quadrupol
•
Transferlinsen
•
Time-of-Flight-Analysator (TOF)
Schutzverriegelungen bieten Schutz vor Vakuumverlust bei Ausfällen der
Stromversorgung oder der Vakuumpumpen. Das System überwacht die
Geschwindigkeit der Turbomolekularpumpen und misst kontinuierlich den
Vakuumdruck mit eingebauten Messelementen. Die Messelemente dienen
auch als Schalter, um den Betrieb bei Vakuumverlust zu stoppen.
Mithilfe eines Vakuumabsperrventils lässt sich der Eingangs-Cone vom
Massenanalysator trennen, so dass der Eingangs-Cone gereinigt werden
kann, ohne das Gerät zu belüften.
11. Januar 2016, 715004159DE Rev. C
Vakuumsystem
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