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HICUBE PRO
Betriebsanleitung
Inhaltsverzeichnis - Pfeiffer Vacuum HICUBE PRO Betriebsanleitung
Turbopumpstände
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Zu dieser Anleitung
1.1
Gültigkeit
1.1.1 Mitgeltende Dokumente
1.1.2 Varianten
1.2
Zielgruppe
1.3
Konventionen
1.3.1 Anweisungen im Text
1.3.2 Piktogramme
1.3.3 Aufkleber auf dem Produkt
1.3.4 Abkürzungen
Sicherheit
2.1
Allgemeine Sicherheitshinweise
2.2
Sicherheitshinweise
2.3
Sicherheitsmaßnahmen
2.4
Einsatzgrenzen des Produkts
2.5
Bestimmungsgemäße Verwendung
2.6
Vorhersehbarer Fehlgebrauch
Produktbeschreibung
3.1
Funktion
3.1.1 Bedienschnittstelle
3.1.2 Antrieb
3.1.3 Kühlung
3.2
Produkt identifizieren
3.3
Produktmerkmale
3.4
Lieferumfang
Transport und Lagerung
4.1
Pumpstand transportieren
4.2
Transportsicherung
4.3
Pumpstand lagern
Installation
5.1
Aufstellung vorbereiten
5.2
Pumpstand aufstellen
5.3
Pumpstand verankern
5.4
Hochvakuumseite anschließen
5.4.1 Gegenflansch auslegen
5.4.2 Splitterschutz oder Schutzgitter verwenden
5.4.3 Dämpfungskörper verwenden
5.4.4 Externe Turbopumpe anschließen
5.4.5 ISO-KF Flansch an ISO-KF befestigen
5.4.6 ISO-K Flansch an ISO-K befestigen
5.4.7 ISO-K Flansch an ISO-F befestigen
5.4.8 CF-Flansch an CF-F befestigen
5.5
Auspuffseite anschließen
5.6
Transportsicherung lösen
5.7
Betriebsmittel einfüllen
5.8
Zubehör anschließen
5.9
Messröhre anschließen
5.10 Pumpstand erden
5.11 Netzanschluss herstellen
Betrieb
6.1
Inbetriebnahme
6.2
Turbopumpstand einschalten
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