Pfeiffer Vacuum HIPACE 10 Betriebsanleitung
Turbopumpe
Vorschau ausblenden
Andere Handbücher für HIPACE 10:
- Betriebsanleitung (32 Seiten) ,
- Originalbetriebsanleitung (8 Seiten)
Inhaltsverzeichnis
Werbung
Quicklinks
Werbung
Inhaltsverzeichnis
Fehlerbehebung
Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum HIPACE 10
Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum HIPACE 10
- Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG Original HIPACE 10 Turbopumpe...
-
Seite 2: Haftungsausschluss
Verwendung widersprechen oder explizit als vorhersehbarer Fehlgebrauch definiert sind. Urheberrechtshinweis (Copyright) Dieses Dokument ist das geistige Eigentum von Pfeiffer Vacuum, und alle Inhalte dieses Dokuments sind urheberrechtlich geschützt (Copyright). Sie dürfen ohne vorherige schriftliche Genehmigung von Pfeiffer Vacuum weder ganz noch auszugsweise kopiert, verändert, vervielfältigt oder veröffentlicht werden. -
Seite 3: Inhaltsverzeichnis
Allgemeine Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise Sicherheitsmaßnahmen Einsatzgrenzen des Produkts Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Personenqualifikation 2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen 2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Produktbeschreibung Produkt identifizieren 3.1.1 Produkttypen 3.1.2 Produktmerkmale Funktionsmerkmale 3.2.1 Kühlung 3.2.2 Rotorlager 3.2.3 Antrieb... - Seite 4 Inhaltsverzeichnis 6.2.3 Betrieb über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät 6.2.4 Betrieb über Feldbus Turbopumpe einschalten Betriebsüberwachung 6.4.1 Betriebsanzeige über LED 6.4.2 Temperaturüberwachung Ausschalten und Fluten 6.5.1 Ausschalten 6.5.2 Fluten Wartung Allgemeine Wartungshinweise Wartungsintervalle und- zuständigkeiten Betriebsmittelspeicher austauschen 7.3.1 Betriebsmittelspeicher Lagerseite 1 wechseln 7.3.2 Betriebsmittelspeicher Lagerseite 2 wechseln...
- Seite 5 Tab. 9: Verhalten und Bedeutung der LEDs an der Antriebselektronik Tab. 10: Charakteristische Nenndrehzahlen der Turbopumpen Tab. 11: Störungsbehebung bei Turbopumpen Tab. 12: Verfügbare Ersatzteile Tab. 13: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten Tab. 14: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz Tab. 15: HiPace 10 5/56...
- Seite 6 Abb. 13: Betriebsmittelspeicher montieren Abb. 14: Reihenfolge der Schraubenmontage bei der Montage der Verschlussdeckel Abb. 15: Rotorkontrolle Abb. 16: Demontage und Montage der Antriebselektronik TC 110 Abb. 17: Ersatzteile HiPace 10 Abb. 18: HiPace 10 | TC 110 | DN 25 ISO-K 6/56...
-
Seite 7: Zu Dieser Anleitung
Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Anga- ben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produktes. -
Seite 8: Abkürzungen
Bedeutung im Dokument Betrag des Durchmessers (in mm) Gleichstrom Display Control Unit (Anzeige- und Bediengerät von Pfeiffer Vacuum). Nomineller Durchmesser als Größenbeschreibung Betrag der Drehzahl einer Vakuumpumpe (frequency, in 1/min oder Hz) Handheld Programming Unit. Assistent zur Steuerung und Kontrolle der Pumpenpara-... -
Seite 9: Anweisungen Im Text
Zu dieser Anleitung Abkürzung Bedeutung im Dokument [P:xxx] Steuerparameter der Antriebselektronik. Fettgedruckt als dreistellige Nummer in ecki- gen Klammern. Häufig in Verbindung mit einer Kurzbezeichnung angezeigt. Beispiel: [P:312] Softwareversion Schalter S1 am Netzteil Temperatur (in °C) Antriebselektronik der Turbopumpe (turbo controller) Schnittstellenadapter RS-485 Kommunikationsschnittstelle... -
Seite 10: Sicherheit
Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-... - Seite 11 Sicherheit Risiken bei der Installation GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Nicht spezifizierte oder nicht zugelassene Netzteile führen zu schwersten Verletzungen bis hin zum Todesfall. ► Achten Sie darauf, dass das Netzteil den Anforderungen für doppelte Isolierung zwischen Netz- eingangsspannung und Ausgangsspannung gemäß IEC 61010-1, IEC 60950-1 und IEC 62368-1 entspricht.
- Seite 12 Sicherheit Risiken beim Betrieb WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag im Störungsfall Im Störungsfall stehen die mit dem Netz verbundenen Geräte möglicherweise unter Spannung. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponenten. ► Halten Sie den Netzanschluss immer frei zugänglich, um die Verbindung jederzeit trennen zu können.
-
Seite 13: Sicherheitsmaßnahmen
Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Lebensgefahr durch Vergiftung bei Austritt von toxischen Prozessmedien an beschädigten... -
Seite 14: Einsatzgrenzen Des Produkts
Sicherheit Verletzung der Konformität durch Veränderungen am Produkt Die Konformitätserklärung des Herstellers erlischt, wenn der Betreiber das Originalprodukt verändert oder Zusatzeinrichtungen installiert. ● Nach Einbau in eine Anlage ist der Betreiber verpflichtet, vor deren Inbetriebnahme die Konformität des Gesamtsystems im Sinne der geltenden europäischen Richtlinien zu überprüfen und entsprechend neu zu bewerten. -
Seite 15: Bestimmungsgemäße Verwendung
● Verwendung von Zubehör oder Ersatzteilen, die nicht in dieser Anleitung genannt sind 2.7 Personenqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben. Personen schulen 1. -
Seite 16: Personenqualifikation Bei Wartung Und Reparatur
─ Kunde mit Pfeiffer Vacuum-Serviceausbildung ─ Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Für die optimale und störungsfreie Nutzung dieses Produktes bietet Pfeiffer Vacuum ein umfangreiches Angebot an Schulungen und technischen Trainings an. Für weitere Auskünfte wenden Sie sich bitte an die technische Schulung von Pfeiffer Vacuum. -
Seite 17: Produktbeschreibung
Produktbeschreibung 3 Produktbeschreibung 3.1 Produkt identifizieren ► Halten Sie zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschildes bereit. ► Informieren Sie sich über Zertifizierungen durch Prüfsiegel auf dem Produkt oder unter www.certi- pedia.com mit der Firmen ID-Nr. 000021320. -
Seite 18: Kühlung
Produktbeschreibung Abb. 2: Aufbau HiPace 10 1 Antriebselektronik TC 110 Vorvakuum-Verbindungsadapter 2 Verschlussdeckel (Lagerseiten) Schutzdeckel (Vorvakuumanschluss) 3 Pumpengehäuse Erdungsanschluss 4 Befestigungsbohrungen Multifunktionsanschluss "X3" 5 Schutzdeckel (Hochvakuumanschluss) 3.2.1 Kühlung ● Konvektionskühlung Die Antriebselektronik regelt die Antriebsleistung bei Übertemperaturen automatisch herunter. 3.2.2 Rotorlager Kugelgelagerte Turbopumpe ●... -
Seite 19: Transport Und Lagerung
► Entfernen Sie die Schutzdeckel erst unmittelbar vor der Installation. 4.2 Lagerung Empfehlung Pfeiffer Vacuum empfiehlt die Lagerung der Produkte in ihrer original Transportverpackung. Turbopumpe lagern 1. Verschließen Sie die Flanschöffnungen mit den original Schutzdeckeln. 2. Verschließen Sie weitere Anschlüsse (z. B. Flutanschluss) mit entsprechenden Originalteilen. -
Seite 20: Installation
Installation 5 Installation Die Installation der Turbopumpe und ihrer Befestigung ist von herausragender Bedeutung. Der Rotor der Turbopumpe dreht sich mit sehr hoher Geschwindigkeit. In der Praxis ist nicht auszuschließen, dass der Rotor den Stator berührt (z. B. durch Eindringen von Fremdkörpern in den Hochvakuumanschluss). Die freigesetzte kinetische Energie wirkt innerhalb von Sekundenbruchteilen auf das Gehäuse und auf die Verankerung der Turbopumpe. -
Seite 21: Hochvakuumseite Anschließen
Turbopumpe. Das Gesamtgewicht von Aufbauten darf die angegebenen Maxi- malwerte nicht überschreiten. Im Falle eines plötzlichen Blockierens des Rotors müssen die auftretenden Drehmomente von der Anla- ge und dem Hochvakuumflansch aufgenommen werden. Die Installationselemente für Turbopumpen sind Spezialausführungen von Pfeiffer Vacuum. Maximal Maximal zulässige Ebenheit... -
Seite 22: Feinsieb Verwenden
► Verwenden Sie bei ISO-Flanschen Zentrierringe mit integriertem Feinsieb. 5.2.4 Einbaulagen Pfeiffer Vacuum Turbopumpen der Serie HiPace sind bei Verwendung von trocken verdichtenden Vor- pumpen für den Einbau in allen Raumlagen geeignet. ► Vermeiden Sie bei Verwendung ölgedichteter Vorpumpen Rückströmungen aus dem Vorvakuum- bereich. -
Seite 23: Iso-Kf Flansch An Dn 25 Befestigen
● Kalibrierter Drehmomentschlüssel (Anziehfaktor ≤ 1,6) Abb. 5: Flanschverbindung für DN 25 auf DN 25 ISO-KF Hochvakuumanschluss herstellen 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur den zugelassenen Befestigungssatz von Pfeiffer Vacuum. 2. Achten Sie auf saubere und unbeschädigte Dichtflächen. 23/56... -
Seite 24: Vorvakuumseite Anschließen
Pumpstand aus dem Pfeiffer Vacuum Portfolio ein. In diesem Fall ist die Steuerung der Vorpumpe auch direkt über die Schnittstellen der An- triebselektronik der Turbopumpe möglich (z. B. Relaisbox oder Verbindungskabel). Abb. 6: Beispiel für den Vorvakuumanschluss an HiPace 10 1 Turbopumpe Zentrierring 2 Vorvakuumpumpe (MVP) -
Seite 25: Zubehör Anschließen
► Beachten Sie die Installationshinweise in den Betriebsanleitungen des betreffenden Zubehörs. ► Achten Sie auf die vorhandene Konfiguration bestehender Anschlüsse und Steuerleitungen. ► Verwenden Sie das Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät DCU 002 oder ein DCU mit integ- riertem Netzteil. -
Seite 26: Elektrische Versorgung Anschließen
► Nehmen Sie keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vor. ► Sorgen Sie für die Integration in einen Not‑Aus‑Sicherheitskreis. 5.5.1 Vakuumpumpe erden Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Anschluss eines geeigneten Erdungskabels, um applikative Störeinflüs- se abzuleiten. Abb. 8: Beispiel: Anschluss des Erdungskabels 1. -
Seite 27: Abb. 9: Verbindung Der Antriebselektronik Mit Einem Netzteil
Installation WARNUNG Gefahr von Schnittverletzungen durch unvorhergesehenen automatischen Hochlauf Das Verwenden von Gegensteckern für die Antriebselektronik (Zubehör), ermöglicht den sofortigen Hochlauf der Vakuumpumpe nach Herstellen der Spannungsversorgung. Das Aufstecken von Ge- gensteckern vor oder während der Installation führt zu der Gefahr von Schnittverletzungen an rotier- enden scharfkantigen Teilen im offenliegenden Hochvakuumflansch. -
Seite 28: Betrieb
Wichtige Einstellwerte und funktionsrelevante Kenngrößen sind als Parameter werksseitig in der An- triebselektronik der Vakuumpumpe programmiert. Jeder Parameter besitzt eine dreistellige Nummer und eine Benennung. Betrieb und Steuerung durch Parameter ist über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder über RS-485 extern mittels Pfeiffer Vacuum Protokoll möglich. -
Seite 29: Betriebsarten
Der Anschluss eines Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerätes ermöglicht die Steuerung der Turbo- pumpe über die in der Antriebselektronik verankerten Parameter. Hinweise für den Betrieb mit Anzeige- und Bediengerät 1. Beachten Sie für den Umgang mit dem Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät die dazugehö- rende Betriebsanleitung: – Betriebsanleitung "DCU" verfügbar im Download Center. -
Seite 30: Turbopumpe Einschalten
► Schalten Sie das Netzteil ein. 6.4 Betriebsüberwachung 6.4.1 Betriebsanzeige über LED LEDs an der Antriebselektronik zeigen grundlegende Betriebszustände der Vakuumpumpe an. Eine dif- ferenzierte Fehler- und Warnungsanzeige ist nur bei Betrieb mit Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bedien- gerät oder PC möglich. Symbol LED Status... -
Seite 31: Ausschalten Und Fluten
Betrieb ● Um das Abschalten der Turbopumpe zu vermeiden, reduziert die Antriebselektronik die Leistungs- aufnahme bereits bei Überschreiten der Warnschwelle für Übertemperatur. ─ Beispiele sind unzulässige Motortemperatur oder unzulässig hohe Gehäusetemperatur. ● Weitere Reduktion der Antriebsleistung und somit sinkende Drehzahl führt möglicherweise zum Unterschreiten des eingestellten Drehzahlschaltpunktes. -
Seite 32: Wartung
6. Lassen Sie das Rotorlager der Turbopumpe mindestens alle 4 Jahre durch den Pfeiffer Vacu- um Service austauschen. 7. Stimmen Sie kürzere Wartungsintervalle bei extremen Belastungen oder unreinen Prozessen mit dem Pfeiffer Vacuum Service ab. 8. Wenden Sie sich für alle anderen Reinigungs-, Wartungs- oder Instandsetzungsarbeiten an die zuständige Pfeiffer Vacuum Servicestelle. -
Seite 33: Betriebsmittelspeicher Austauschen
► Verwenden Sie niemals scharfkantige, metallische Hilfsmittel (z. B. Pinzette). ► Entnehmen Sie Dichtringe nur mit einem O-Ring Picker. Zur Schmierung der Kugellager besitzt die HiPace 10 zwei Betriebsmittelspeicher, die je nach Bauart mit oder ohne Kapillarstäbe ausgeführt sind. ● Entnehmen Sie die korrekte Zuordnung beim Austausch des Betriebsmittelspeichers dem Pumpentypenschild: ─... -
Seite 34: Abb. 10: Betriebsmittelspeicher Demontieren
Wartung Abb. 10: Betriebsmittelspeicher demontieren 1 Innensechskantschraube Betriebsmittelspeicher 2 Verschlussdeckel Kapillarstäbe (6×), falls vorhanden 3 O-Ring Lagerfassung Betriebsmittelspeicher demontieren 1. Tragen Sie Laborhandschuhe um Hautkontakt zu vermeiden. 2. Entfernen Sie äußerliche Verunreinigungen von der Turbopumpe mit einem sauberen, fusselfrei- en Tuch. 3. -
Seite 35: Betriebsmittelspeicher Lagerseite 2 Wechseln
Wartung Abb. 11: Betriebsmittelspeicher montieren 1 Lagerfassung Innensechskantschraube 2 Betriebsmittelspeicher Verschlussdeckel 3 Kapillarstäbe (6×), falls vorhanden O-Ring Einbaurichtung des Betriebsmittelspeichers beachten! Filzscheibe mit den zwei Nocken in Einbaurichtung gerichtet. Betriebsmittelspeicher montieren 1. Tragen Sie Laborhandschuhe um Hautkontakt zu vermeiden. 2. Setzen Sie alle neuen Kapillarstäbe, falls vorhanden, mit der Pinzette ein. 3. -
Seite 36: Abb. 12: Betriebsmittelspeicher Demontieren
Wartung Abb. 12: Betriebsmittelspeicher demontieren 1 Innensechskantschraube Betriebsmittelspeicher 2 Verschlussdeckel Kapillarstäbe (6×), falls vorhanden 3 O-Ring Lagerfassung Betriebsmittelspeicher demontieren 1. Tragen Sie Laborhandschuhe um Hautkontakt zu vermeiden. 2. Entfernen Sie äußerliche Verunreinigungen von der Turbopumpe mit einem sauberen, fusselfrei- en Tuch. 3. -
Seite 37: Verschlussdeckel Festschrauben
Wartung Abb. 13: Betriebsmittelspeicher montieren 1 Lagerfassung Innensechskantschraube 2 Betriebsmittelspeicher Verschlussdeckel 3 Kapillarstäbe (6×), falls vorhanden O-Ring Einbaurichtung des Betriebsmittelspeichers beachten! Filzscheibe mit den zwei Nocken in Einbaurichtung gerichtet. Betriebsmittelspeicher montieren 1. Setzen Sie alle neuen Kapillarstäbe, falls vorhanden, mit der Pinzette ein. 2. -
Seite 38: Rotorlauf Kontrollieren
Wartung 180° Abb. 14: Reihenfolge der Schraubenmontage bei der Montage der Verschlussdeckel 1 Verschlussdeckel Antriebsseite mit Markierung Verschlussdeckel Gegenseite mit Markierung Verschlussdeckel festschrauben 1. Legen Sie die Turbopumpe flach auf den Tisch. 2. Nummerieren Sie alle Innensechskantschrauben gemäß Abbildung auf beiden Verschlussdeckeln mit einem Markierstift. -
Seite 39: Antriebselektronik Austauschen
Wartung 7.4 Antriebselektronik austauschen HINWEIS Schäden an Turbopumpe und Antriebselektronik durch unsachgemäßes Trennen von Kompo- nenten Auch nach Abschalten der Netzversorgung liefert die nachlaufende Turbopumpe elektrische Energie. Bei vorzeitiger Trennung von Turbopumpe und Antriebselektronik besteht die Gefahr eines Massen- schlusses und dadurch die Zerstörung von elektronischen Bauteilen. ►... -
Seite 40: Drehzahlvorgabe Bestätigen
820 Hz Tab. 10: Charakteristische Nenndrehzahlen der Turbopumpen Benötigte Hilfsmittel ● angeschlossenes Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät ● Kenntnis der Konfiguration und Einstellung von Betriebsparametern der Antriebselektronik Einstellen der Bestätigung der Nenndrehzahl 1. Beachten Sie die Betriebsanleitung des Anzeige- und Bediengeräts. - Seite 41 4. Öffnen und editieren Sie den Parameter [P:777]. 5. Stellen Sie den Parameter [P:777] auf den erforderlichen Wert der Nenndrehzahl in Hertz ein. Alternative zum Einstellen der Bestätigung der Nenndrehzahl Austauschgeräten liegt ein Pfeiffer Vacuum SpeedConfigurator für die einmalige Sofortein- stellung des Parameters [P:777] bei. 41/56...
-
Seite 42: Außerbetriebnahme
1. Überprüfen Sie die Turbopumpe auf Verschmutzungen und Feuchtigkeit. 2. Reinigen Sie die Turbopumpe außen mit fusselfreiem Tuch und wenig Isopropanol. 3. Lassen Sie die Turbopumpe ggf. durch den Pfeiffer Vacuum Service komplett reinigen. 4. Beachten Sie die Gesamtlaufzeit der Turbopumpe und lassen ggf. einen Lagerwechsel durch den Pfeiffer Vacuum Service durchführen. -
Seite 43: Recycling Und Entsorgung
Schutz von Umwelt und Personen betreffenden Vorschriften er- folgen, um die Verschwendung von Naturressourcen zu reduzieren und Verschmutzungen zu verhindern. 9.1 Allgemeine Entsorgungshinweise Pfeiffer Vacuum Produkte enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. ► Entsorgen Sie unsere Produkte nach Beschaffenheit als – Eisen – Aluminium –... -
Seite 44: Störungen
► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. Bei auftretenden Störungen finden Sie hier Hinweise auf mögliche Ursachen und deren Behebung. Eine detaillierte Fehlerbeschreibung befindet sich in der Betriebsanleitung der zugehörigen Antriebselektro-... - Seite 45 ● Rotor schwergän- 1. Überprüfen Sie die Turbopumpe auf Ge- gig, Lager defekt räuschentwicklung 2. Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Ser- vice. ● Sollwert Hochlauf- 1. Verlängern Sie den Sollwert der Hochlauf- zeit zu niedrig ein- zeit [P:700] über ein Anzeige- und Bedien- gestellt gerät.
-
Seite 46: Tab. 11: Störungsbehebung Bei Turbopumpen
Störungen Ungewöhnliche Be- ● Rotorlagerung ist 1. Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Ser- triebsgeräusche beschädigt vice. ● Rotor ist beschädigt 1. Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Ser- vice. ● Splitterschutz oder 1. Überprüfen und korrigieren Sie den Sitz des Schutzgitter lose Splitterschutzes oder Schutzgitters im Hoch- vakuumflansch. -
Seite 47: Servicelösungen Von Pfeiffer Vacuum
Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produktes von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität. - Seite 48 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.
-
Seite 49: Ersatzteile Hipace
Ersatzteile HiPace 10 12 Ersatzteile HiPace 10 Abb. 17: Ersatzteile HiPace 10 1 Antriebselektronik TC 110 Betriebsmittelspeicher 2 Kapillarstäbe O-Ring Position Bezeichnung Bestellnummer Bemerkung Antriebselektronik TC 110 je nach Ausführung siehe Typenschild je 2× Betriebsmittelspeicher PM 193 943 -T gültig für Pumpenartikelnr. ≥ Index "C",... -
Seite 50: Zubehör
Zubehör 13 Zubehör Beachten Sie das Zubehörportfolio für hybridgelagerte Turbopumpen auf unserer Homepa- 50/56... -
Seite 51: Technische Daten Und Abmessungen
Technische Daten und Abmessungen 14 Technische Daten und Abmessungen 14.1 Allgemeines Dieser Abschnitt benennt die Grundlagen für die technischen Daten von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen. Technische Daten Angegebene Maximalwerte beziehen sich ausschließlich auf den Eintrag als Einzelbelas- tung. ● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5 ●... -
Seite 52: Abmessungen
1,2 A Schutzart IP54 Zulässiges radiales Magnetfeld max. 3 mT Saugvermögensklasse 10 l/s Relative Luftfeuchte 5 – 85 %, nicht betauend Transport und Lagertemperatur -25 – 55 °C Gewicht 1,8 kg Tab. 15: HiPace 10 14.3 Abmessungen Maße in mm 52/56... -
Seite 53: Abb. 18: Hipace 10 | Tc 110 | Dn 25 Iso-K
Technische Daten und Abmessungen DN 25 ISO-KF DN 16 ISO-KF Abb. 18: HiPace 10 | TC 110 | DN 25 ISO-K 53/56... -
Seite 54: Konformitätserklärung
DIN EN 61010-1 : 2011 DIN EN 61326-1 : 2013 DIN EN 62061 : 2013 Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Tobi- as Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar... - Seite 55 55/56...