Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum HISCROLL 6
Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum HISCROLL 6
- Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG Original HISCROLL 6 | 12 | 18 Scrollpumpe Standardausführung | ATEX-Zertifizierung...
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Seite 2: Haftungsausschluss
Verwendung widersprechen oder explizit als vorhersehbarer Fehlgebrauch definiert sind. Urheberrechtshinweis (Copyright) Dieses Dokument ist das geistige Eigentum von Pfeiffer Vacuum, und alle Inhalte dieses Dokuments sind urheberrechtlich geschützt (Copyright). Sie dürfen ohne vorherige schriftliche Genehmigung von Pfeiffer Vacuum weder ganz noch auszugsweise kopiert, verändert, vervielfältigt oder veröffentlicht werden. -
Seite 3: Inhaltsverzeichnis
Sicherheitshinweise Sicherheitsmaßnahmen ATEX-Klassifikation und -Schutzmaßnahmen Einsatzgrenzen des Produkts Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Personenqualifikation 2.8.1 Personenqualifikation sicherstellen 2.8.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 2.8.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Produktbeschreibung Funktion 3.1.1 Antrieb 3.1.2 Kühlung 3.1.3 Wellenlager 3.1.4 Gasballast 3.1.5 Drucksensor Anschlüsse... - Seite 4 6.5.5 Datentypen Parametersatz Allgemeines Stellbefehle Statusabfragen Sollwertvorgaben Betrieb Vakuumpumpe in Betrieb nehmen Vakuumpumpe einschalten Anschlüsse mit dem Pfeiffer Vacuum Parametersatz konfigurieren 8.3.1 Digitalausgänge konfigurieren 8.3.2 Digitaleingang konfigurieren 8.3.3 Schnittstellen auswählen 8.3.4 Zubehör konfigurieren Betriebsart auswählen Geschwindigkeitsmodi 8.5.1 Normalbetrieb 8.5.2 Standby-Betrieb 8.5.3 Drehzahlstellbetrieb...
- Seite 5 Inhaltsverzeichnis Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum Ersatzteile Zubehör 15.1 Zubehörinformationen 15.2 Zubehör bestellen Technische Daten und Abmessungen 16.1 Allgemeines 16.2 Technische Daten 16.3 Medienberührende Werkstoffe 16.4 Abmessungen EG Konformitätserklärung UK Konformitätserklärung 5/84...
- Seite 6 Tab. 26: Zubehör für HiScroll Tab. 27: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten Tab. 28: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz Tab. 29: Technische Daten für HiScroll 6 Tab. 30: Technische Daten für HiScroll 12 Tab. 31: Technische Daten für HiScroll 18 Tab. 32: Werkstoffe mit Prozessmedienkontakt...
- Seite 7 Abb. 27: Spiralgehäuse der Scrollpumpe abnehmen Abb. 28: Tip Seal der Scrollpumpe austauschen Abb. 29: Tip Seal Nut im Spiralgehäuse Abb. 30: Gehäuseteile zusammenbauen Abb. 31: HiScroll Wartungssatz 1 Abb. 32: HiScroll Ventilsatz Abb. 33: HiScroll 6 Abb. 34: HiScroll 12 | HiScroll 18 7/84...
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Seite 8: Zu Dieser Anleitung
Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Anga- ben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produkts. -
Seite 9: Anweisungen Im Text
2. Handlungsschritt 2 3..1.3.3 Aufkleber auf dem Produkt Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung. Typenschild HiScroll 6 Das Typenschild befindet sich gut sichtbar auf einer Längsseite D-35614 Asslar Berliner Str. 43 der Vakuumpumpe. -
Seite 10: Tab. 1: Aufkleber Auf Dem Produkt
Zu dieser Anleitung Typenschild HiScroll 18 Das Typenschild befindet sich gut sichtbar auf einer Längsseite D-35614 Asslar Berliner Str. 43 der Vakuumpumpe. Mod. HiScroll 18 P/N PD S30 000 S/N - - - - - - - - ) max. 18.1 m Mass 23 kg TÜV Rheinland max. -
Seite 11: Abkürzungen
Zu dieser Anleitung 1.3.4 Abkürzungen Abkürzung Erklärung ATEX ATmosphères EXplosibles Atmosphärendruck Betriebsanleitung Betrag der Drehzahl einer Vakuumpumpe (frequency, in 1/min oder Hz) Fluorkautschuk Gasballast Hochvakuum [P:xxx] Parameter sind fettgedruckt als dreistellige Nummer in eckigen Klammern dargestellt. Beispiel: [P:xxx] Softwareversion Personal computer PTFE Polytetrafluorethylen Fehlerstrom-Schutzeinrichtung (Residual Current Device) -
Seite 12: Sicherheit
Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-... - Seite 13 Sicherheit Risiken bei der Installation GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Unzureichende oder fehlerhafte Erdung des Geräts führt zu berührungsempfindlichen Spannungen auf dem Gehäuse. Erhöhte Ableitströme verursachen bei Berührung einen lebensgefährlichen elektri- schen Schlag. ► Kontrollieren Sie die Anschlussleitungen vor der Installation auf spannungsfreien Zustand. ►...
- Seite 14 Sicherheit WARNUNG Verletzungsgefahr durch reaktive, explosionsfähige oder anderweitig gefährliche Gas-Luft-Ge- mische Unkontrollierter Gaseinlass von Luft oder sauerstoffhaltigen Gasen führt möglicherweise zur Bildung von explosionsfähigen Gas-Luft-Gemischen im Vakuumsystem. Im Falle einer Zündung sind schwerste Verletzungen die Folge. ► Verwenden Sie ausschließlich inerte Gase zur Gasballastzufuhr um die Bildung von explosions- fähiger Atmosphäre zu verhindern.
- Seite 15 Sicherheit Risiken beim Betrieb WARNUNG Explosionsgefahr durch Druckanstieg im Fördermedium Bei auspuffseitiger Installation besteht die Gefahr, dass der Auspuffdruck der Vakuumpumpe über die atmosphärischen Bedingungen ansteigt. Die Zündtemperatur des Fördermediums im Schöpfraum sinkt. Fällt die Zündtemperatur des Fördermediums unter die Temperatur T4 = +135 °C, besteht Ex- plosionsgefahr und somit die Gefahr von schweren Verletzungen.
- Seite 16 Sicherheit WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Wasserschaden Das Gerät besitzt die Schutzart IP 20 gemäß DIN EN 60529: 2014 und ist nicht gegen Wassereintritt geschützt. Auf dem Fußboden betriebene Vakuumpumpen führen zu Kriechströmen in eindringen- dem und umgebendem Wasser. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Kontakt mit spannungsführendem Wasser.
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Seite 17: Sicherheitsmaßnahmen
Sicherheit WARNUNG Gesundheitsgefahr durch Vergiftung an toxisch kontaminierten Bauteilen oder Geräten Toxische Prozessmedien führen zur Kontamination der Geräte oder Teilen davon. Bei Wartungsar- beiten besteht Gesundheitsgefahr durch Kontakt mit diesen giftigen Substanzen. Die unzulässige Be- seitigung toxischer Substanzen führt zu Umweltschäden. ►... -
Seite 18: Atex-Klassifikation Und -Schutzmaßnahmen
Sicherheit Allgemeine Sicherheitsmaßnahmen im Umgang mit dem Produkt ► Beachten Sie alle geltenden Sicherheits- und Unfallverhütungsvorschriften. ► Überprüfen Sie regelmäßig die Einhaltung aller Schutzmaßnahmen. ► Setzen Sie kein Körperteil dem Vakuum aus. ► Gewährleisten Sie immer die sichere Verbindung zum Schutzleiter (PE). ►... -
Seite 19: Einsatzgrenzen Des Produkts
Sicherheit Einstufung Beschreibung Explosionsgrup- Gase und Dämpfe werden aufgrund ihrer besonderen Zündfähigkeit in drei Explo- sionsgruppen (IIA, IIB und IIC) eingeteilt. Die Zündenergie nimmt dabei von Ex- plosionsgruppe IIA bis IIC ab. (Die höhere Explosionsgruppe z.B. IIC schließt die jeweils niedrigeren IIB und IIA ein). Temperaturklas- Klassifikation von Geräten in Abhängigkeit von deren maximaler Oberflächentem- peratur, entsprechend der nachstehenden Zuordnung:... -
Seite 20: Bestimmungsgemäße Verwendung
● Trennen, Austauschen oder Wiederverwenden der Elektronikeinheit (Antriebselektronik). 2.8 Personenqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben. Personen schulen 1. -
Seite 21: Personenqualifikation Bei Wartung Und Reparatur
─ Kunde mit Pfeiffer Vacuum-Serviceausbildung ─ Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker 2.8.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Für die optimale und störungsfreie Nutzung dieses Produkts bietet Pfeiffer Vacuum ein umfangreiches Angebot an Schulungen und technischen Trainings an. Für weitere Auskünfte wenden Sie sich bitte an die technische Schulung von Pfeiffer Vacuum. -
Seite 22: Produktbeschreibung
Produktbeschreibung 3 Produktbeschreibung 3.1 Funktion Die Pfeiffer Vacuum Scrollpumpe ist eine im Schöpfraum trocken arbeitende Vakuumpumpe zur Erzeu- gung eines Grob- bzw. Feinvakuums nach dem physikalischen Pumpprinzip einer Spiralvakuumpumpe. Die Pumpe verfügt über eine integrierte Antriebs- und Steuereinheit. Ein dreistufiges Gasballastsystem unterstützt die Vermeidung von Kondensation in der Vakuumpumpe. -
Seite 23: Antrieb
Produktbeschreibung Abb. 3: Aufbau HiScroll 1 Schutzdeckel für Vakuumanschluss DN 25 Zubehöranschluss "C" 2 Ringschraube Zubehöranschluss "D" 3 Blinddeckel bei Ausführung ohne GB Anschluss-Buchse "remote" 4 Lüfterhaube Antriebselektronik 5 Vakuumanschluss Standfuß mit Befestigungsbohrung 6 Gasballastventil bei Ausführung mit GB Lüfter 7 Ausführung mit automatisiertem GB (Option) Schutzdeckel für Auspuff DN 25 8 Auspuffanschluss... -
Seite 24: Anschlüsse
2 Micro-USB-Buchsen "C" und "D" zum Anschluss von Zubehör. Tab. 5: Schnittstellen der Antriebselektronik 3.3 Produkt identifizieren ► Halten Sie zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschildes bereit. ► Informieren Sie sich über Zertifizierungen durch Prüfsiegel auf dem Produkt oder unter www.certi- pedia.com... -
Seite 25: Transport Und Lagerung
Transport und Lagerung 4 Transport und Lagerung 4.1 Vakuumpumpe transportieren WARNUNG Gefahr schwerer Verletzungen durch pendelnde, kippende oder herabfallende Gegenstände Beim Transport besteht die Möglichkeit von Quetschungen und Stoßen an pendelnden, kippenden oder herabfallenden Gegenständen. Es besteht die Gefahr von Verletzungen an Gliedmaßen bis hin zu Knochenbrüchen und Kopfverletzungen. -
Seite 26: Vakuumpumpe Lagern
Transport und Lagerung Vakuumpumpe ohne Verpackung transportieren 1 Ringschraube ist im Lieferumfang enthalten und ab Werk fest mit der Vakuumpumpe verschraubt. 1. Befestigen Sie ein geeignetes Hebewerkzeug an der Ringschraube. 2. Achten Sie auf die vorschriftsmäßige Verwendung und Befestigung der Anschlagsmittel. 3. -
Seite 27: Installation
Installation 5 Installation 5.1 Vakuumpumpe aufstellen WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Wasserschaden Das Gerät besitzt die Schutzart IP 20 gemäß DIN EN 60529: 2014 und ist nicht gegen Wassereintritt geschützt. Auf dem Fußboden betriebene Vakuumpumpen führen zu Kriechströmen in eindringen- dem und umgebendem Wasser. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Kontakt mit spannungsführendem Wasser. -
Seite 28: Auspuffseite Anschließen
Installation Kondensatabscheider Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Einbau eines Kondensatabscheiders, falls beim Evakuieren Dämpfe durch Flüssigkeiten entstehen. Abb. 6: Beispiel für den Vakuumanschluss 1 Vakuumanschluss der Scrollpumpe Spannring 2 Schutzdeckel Zentrierring 3 Vakuumkomponenten DN 25 ISO-KF Vorgehen 1. Nehmen Sie den Schutzdeckel vom Vakuumanschluss der Scrollpumpe. -
Seite 29: Externe Gasballastversorgung Anschließen
2. Wählen Sie den Querschnitt der Auspuffleitung mindestens in der Anschlussnennweite. 3. Installieren Sie eine Vakuumverbindung mit Kleinflanschbauteilen, z.B. Verbindungselemente und Rohrbauteile DN 25 ISO-KF aus dem Pfeiffer Vacuum Komponentenshop. 4. Verlegen Sie Rohrleitungen von der Vakuumpumpe aus fallend, um Rücklauf von Kondensat zu vermeiden. -
Seite 30: Abb. 8: Externe Gasballastversorgung Anschließen
► Betreiben Sie die Vakuumpumpe nach Prozessende noch ca. 30 Min. mit Gasballast, um mögli- che Restfeuchte abzuführen. Das Gasballastsystem der Scrollpumpe ist für den Anschluss einer externen Gasversorgung geeignet. Dazu stehen Kupplungen für den Anschluss G 1/8″ aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehör zur Verfügung. Benötigte Werkzeuge ● Schraubenschlüssel, SW 13 ●... -
Seite 31: Netzanschluss Herstellen
Installation 5.5 Netzanschluss herstellen GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Unzureichende oder fehlerhafte Erdung des Geräts führt zu berührungsempfindlichen Spannungen auf dem Gehäuse. Erhöhte Ableitströme verursachen bei Berührung einen lebensgefährlichen elektri- schen Schlag. ► Kontrollieren Sie die Anschlussleitungen vor der Installation auf spannungsfreien Zustand. ►... -
Seite 32: Abb. 9: Netzanschluss Herstellen
Die Antriebselektronik startet zusammen mit dem Herstellen der Netzversorgung. Netzversorgung herstellen 1. Bestellen Sie ein länderspezifisches Netzkabel aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehör. 2. Gewährleisten Sie immer die sichere Verbindung zum Schutzleiter (PE). 3. Stecken Sie das Netzkabel in den Anschlussstecker der Antriebselektronik. -
Seite 33: Schnittstellen
Der 15-polige D-Sub-Anschluss mit der Bezeichnung "remote" bietet die Möglichkeit der Fernbedienung der Antriebselektronik. Die folgenden Angaben stellen die Werkseinstellungen der Antriebselektronik dar. Sie können diese mittels des Pfeiffer Vacuum Parametersatzes konfigurieren. ► Verwenden Sie abgeschirmte Stecker und Kabel. n.c. -
Seite 34: Eingänge
Betrieb mit Nenndrehzahl bzw. gewählter Drehzahl im Drehzahlstellbetrieb 6.2.2 Ausgänge Die digitalen Ausgänge am Anschluss "remote" haben eine Belastungsgrenze von maximal 24 V/50 mA pro Ausgang. Sie können alle aufgeführten Ausgänge mit dem Pfeiffer Vacuum Parametersatz über die Schnittstelle RS-485 konfigurieren (Beschreibung bezogen auf die Werkseinstellungen). DO1/Pin 8... -
Seite 35: Rs-485
Schnittstellen 6.2.3 RS-485 RS-485 über D-Sub anschließen ► Schließen Sie ein Pfeiffer Vacuum Steuergerät oder einen externen PC über Pin 13 und Pin 14 am D-Sub Anschluss der Antriebselektronik an. 6.3 Steuergerät anschließen Abb. 12: Anschluss eines Steuergeräts über Anschluss "remote" 1 Steuergerät... -
Seite 36: Pfeiffer Vacuum Protokoll Für Rs-485-Schnittstelle
3. Schließen Sie alle Geräte mit RS-485 D+ und RS-485 D- am Bus an. 6.5 Pfeiffer Vacuum Protokoll für RS-485-Schnittstelle 6.5.1 Telegrammrahmen Der Telegrammrahmen des Pfeiffer Vacuum-Protokolls enthält nur Zeichen im ASCII-Code [32; 127] mit Ausnahme des Telegramm-Ende Zeichens C . Grundsätzlich sendet ein Master (z. -
Seite 37: Telegramm Beispiel
Schnittstellen Stellbefehl --> Datenantwort / Stellbefehl verstanden --> Fehlermeldung --> NO_DEF Parameternummer n2–n0 existiert nicht _RANGE Daten dn–d0 außerhalb des erlaubten Bereiches _LOGIC logischer Zugriffsfehler 6.5.3 Telegramm Beispiel 1 Datenabfrage Aktuelle Drehzahl (Parameter [P:309], Geräteadresse Slave: "123") --> ASCII Datenantwort: 633 Hz Aktuelle Drehzahl (Parameter [P:309], Geräteadresse Slave: "123") -->... - Seite 38 Schnittstellen Datentyp Beschreibung Länge Beispiel l1 – l0 boolean_new Logischer Wert (falsch / wahr) 0 entspricht falsch 1 entspricht wahr u_short_int Positive ganze Zahl 000 bis 999 u_expo_new Positive Exponentialzahl. Die letzten bei- 100023 entspricht den Stellen sind der Exponent mit einem 1,0 ·...
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Seite 39: Parametersatz
Wichtige Einstellwerte und funktionsrelevante Kenngrößen sind als Parameter werkseitig in der An- triebselektronik programmiert. Jeder Parameter besitzt eine dreistellige Nummer und eine Benennung. Die Verwendung der Parameter ist über Pfeiffer Vacuum Steuergeräte oder über RS-485 extern mittels Pfeiffer Vacuum Protokoll möglich. -
Seite 40: Tab. 10: Stellbefehle
Parametersatz Anzeige Bezeichnun- Funktionen Ein- min. max. ten- griffs- heit fault PressMode Druckregelung 0 = aus 1 = ein Cfg DO1 Konfiguration 0 = Schaltpunkt erreicht Ausgang DO1 1 = kein Fehler 2 = Fehler 5 = Solldrehzahl erreicht 6 = Pumpe ein 9 = immer "0"... -
Seite 41: Statusabfragen
Parametersatz 7.3 Statusabfragen Anzeige Bezeichnungen Funktio- Daten- Zugriffs- Ein- min. max. heit fault RemotePrio Remote Vorrang 0 = nein 1 = ja Error code Fehlercode OvTempElec Übertemperatur Antriebs- 0 = nein elektronik 1 = ja OvTempPump Übertemperatur Pumpe 0 = nein 1 = ja SetRotSpd Solldrehzahl (Hz) -
Seite 42: Tab. 12: Sollwertvorgaben
Parametersatz Anzeige Bezeichnungen Funk- Daten- Zugriffs- Ein- min. max. tionen heit fault Pressure 1 Druckwert 1 1200.0 1 · 10 PrsCorrPi 1 Korrekturfaktor 1 RS485Adr RS-485 Schnittstellenad- resse Tab. 12: Sollwertvorgaben 42/84... -
Seite 43: Betrieb
Wichtige Einstellwerte und funktionsrelevante Kenngrößen sind als Parameter werksseitig in der An- triebselektronik der Vakuumpumpe programmiert. Jeder Parameter besitzt eine dreistellige Nummer und eine Benennung. Betrieb und Steuerung durch Parameter ist über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder über RS-485 extern mittels Pfeiffer Vacuum Protokoll möglich. -
Seite 44: Digitalausgänge Konfigurieren
Betrieb 8.3.1 Digitalausgänge konfigurieren Option Beschreibung 0 = Drehzahlschaltpunkt erreicht aktiv, wenn Schaltpunkt erreicht 1 = kein Fehler aktiv, bei störungsfreiem Betrieb 2 = Fehler aktiv, wenn Fehlermeldung aktiv 5 = Solldrehzahl erreicht aktiv, wenn Schaltpunkt Solldrehzahl erreicht 6 = Pumpe ein aktiv, wenn Pumpstand ein, Motor ein und kein Fehler 9 = immer "0"... -
Seite 45: Betriebsart Auswählen
Betrieb Abb. 14: Belegung Zubehöranschluss 1 + 5 V (blau) + 24 V (je nach Software-Konfiguration) 2 Sensor RxD / Master TxD (weiß) GND (schwarz) 3 Sensor TxD / Master RxD (grün) Zubehör konfigurieren ► Konfigurieren Sie angeschlossenes Zubehör mit den Parametern [P:068] und [P:069], falls not- wendig. -
Seite 46: Normalbetrieb
3. Kontrollieren Sie die Solldrehzahlen (Parameter [P:308] oder [P:397]). 8.5.2 Standby-Betrieb Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Standby-Betrieb während Prozess- oder Betriebspausen. Bei aktiviertem Standby-Betrieb reduziert die Antriebselektronik die Drehzahl der Vakuumpumpe. Die Werkseinstellung beträgt 50 % der Nenndrehzahl. Der Standby-Betrieb hat Vorrang vor dem Drehzahlstellbetrieb. -
Seite 47: Auto-Boost
Betrieb Zulässiger Drehzahlbereich Einstellungen im Drehzahlstellbetrieb oder Standby-Modus unterliegen dem zulässigen Drehzahlbereich der betreffenden Vakuumpumpe (Technische Daten). Die Antriebselektro- nik regelt die Solldrehzahl automatisch auf den nächst gültigen Wert ein. Drehzahlstellbetrieb einstellen 1. Stellen Sie den Parameter [P:707] auf den gewünschten Wert in % ein. 2. -
Seite 48: Druckregelbetrieb
Betrieb 8.6 Druckregelbetrieb Option: Drucksensor ● Die Funktionalität ist nur bei Ausführung mit Drucksensor möglich. ● Das Fördern von explosionsfähiger Atmosphäre bei Verwendung des Drucksensors ist nicht zulässig, da der Sensor keine ATEX-Zulassung hat. Der Druckregelbetrieb ist nur bei angeschlossenem Drucksensor möglich. Der Drucksensor misst den Ansaugdruck. -
Seite 49: Gasballast Verwenden
Betrieb p [hPa] Freon 12 –1 Water vapor –2 –3 –3 –2 –1 [hPa] Abb. 16: Angezeigter Druck Im Druckbereich < 1 hPa ist die Anzeige linear. Korrekturfaktor in der Antriebselektronik einstellen ► Geben Sie den Korrekturfaktor mit [P:742] zur Korrektur des angezeigten Messwertes ein. Alternativ: Druck für andere Gase als Luft berechnen 1. - Seite 50 Betrieb WARNUNG Vergiftungsgefahr durch fehlerhafte Verwendung des Gasballastsystems Das Gasballastsystem der Scrollpumpe ist nur in den gültigen, eingerasteten Stellungen ″0″, ″1″ und ″2″ vakuumdicht. Bei Betrieb des Ventils in Zwischenstufen besteht die Gefahr, dass Prozessmedien unkontrolliert ins Freie entweichen. Bei der Verwendung von toxischen Prozessmedien besteht Ver- giftungsgefahr.
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Seite 51: Gasballastventil Mit Drucksensor Steuern
Betrieb Position ″0″: ● Schalterstellung für Medien ohne Kondensatanfall ● Das Gasballastventil ist geschlossen ● Kein Gasdurchfluss in den Schöpfraum Position ″1″: ● Schalterstellung für leichten bis mittleren Kondensatanfall ● Das Gasballastventil ist offen ● Der Gasdurchfluss ist typabhängig Position ″2″: ●... -
Seite 52: Gasballastventil Ohne Drucksensor Steuern
● Anschließend öffnet das Gasballastventil alle 15 Min. für die in [P:721] eingestellten Zeit. 8.9 Betriebsanzeige über LED LEDs an der Antriebselektronik zeigen grundlegende Betriebszustände der Vakuumpumpe an. Eine dif- ferenzierte Fehler- und Warnungsanzeige ist nur bei Betrieb mit Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bedien- gerät oder PC möglich. Symbol... -
Seite 53: Vakuumpumpe Ausschalten
Betrieb Symbol LED Status Anzeige Bedeutung kein Fehler Ein, konstant Fehler Tab. 18: Verhalten und Bedeutung der LEDs an der Antriebselektronik Symbol LED Status Anzeige Bedeutung Standby AUS Grün Ein, konstant Standby EIN Ein, invers doppelt blitzend Auto-Standby aktiv Tab. 19: Verhalten und Bedeutung der LED Standby 8.10 Vakuumpumpe ausschalten Der Parameter [P:010] "PumpgStatn"... -
Seite 54: Wartung
Wartung 9 Wartung 9.1 Wartungsinformationen WARNUNG Verletzungsgefahr durch reaktive, explosionsfähige oder anderweitig gefährliche Gas-Luft-Ge- mische bei der Wartung Unkontrollierter Gasaustritt von Prozessgasen führt möglicherweise zur Bildung von explosionsfähi- gen Gas-Luft-Gemischen nach dem Öffnen der Vakuumpumpe. Im Falle einer Zündung sind schwerste Verletzungen die Folge. ►... -
Seite 55: Checkliste Für Inspektion Und Wartung
Verschmutzungen verkürzen die empfohlenen Richtwerte. ● Ermitteln Sie die spezifischen Standzeiten innerhalb des ersten Betriebsintervalls. ● Stimmen Sie kürzere Wartungsintervalle mit dem Pfeiffer Vacuum Service ab. Gelbe LED blinkt: Leistungsdaten prüfen Die blinkende gelbe LED gibt den Hinweis auf eine möglicherweise anstehende Wartung. -
Seite 56: Auspuffseitiges Rückschlagventil Austauschen
Wartung 9.3 Auspuffseitiges Rückschlagventil austauschen Voraussetzungen ● Vakuumpumpe ausgeschaltet ● Vakuumpumpe über Ansaugseite auf Atmosphärendruck geflutet ● Vakuumpumpe abgekühlt Benötigtes Werkzeug ● Stirnlochschlüssel, Stiftdurchmesser 3 mm, Artikelnummer: PV D40 012 ● Gabelschlüssel, SW 13 ● Kalibrierter Drehmomentschlüssel (Anziehfaktor ≤ 2,5) 9.3.1 Rückschlagventil demontieren Abb. -
Seite 57: Gasballastventil Austauschen
Wartung Ventil montieren 1. Legen Sie den O-Ring in die dafür vorgesehene Nut im Spiralgehäuse. 2. Drehen Sie die Druckfeder auf den Ventilteller auf. – Ventilführung zentriert und fixiert die Druckfeder. 3. Setzen Sie den Ventilteller auf die Ventilführung. 4. Setzen Sie das Ventil in das Spiralgehäuse ein. 5. -
Seite 58: Gasballastventil Montieren
Wartung Abb. 22: Gasballastventil demontieren 1 Zylinderschraube, 3x Druckfeder 2 Gasballast-Griff O-Ring 3 Ventilteller Grundplatte 4 Gewicht Gasballastventil demontieren 1. Schrauben Sie die Zylinderschrauben aus dem Gasballast-Griff heraus. 2. Nehmen Sie den Gasballast-Griff von der Grundplatte ab. 3. Entfernen Sie die Druckfeder mit Ventilteller aus dem Gasballast-Griff. 4. -
Seite 59: Tip Seal Wechseln
Wartung Abb. 24: Gasballastventil montieren 1 O-Ring, 3x Sinterfilter 2 Gasballastventil Kugel 3 Spezialschraube Spiralgehäuse 4 Deckel Gasballastventil montieren 1. Legen Sie die O-Ringe in die dafür vorgesehenen Nuten im Spiralgehäuse. 2. Setzen Sie das Gasballastventil auf das Spiralgehäuse und achten Sie gleichzeitig darauf das sich die Kugel in die Nut im Spiralgehäuse setzt. -
Seite 60: Abb. 25: Lüfterhaube Der Scrollpumpe Lösen
Wartung Abb. 25: Lüfterhaube der Scrollpumpe lösen 1 Gasballastventil Innensechskantschraube 2 Lüfterhaube Auspuffanschluss ohne Schutzdeckel 3 Unterlegscheibe Zubehöranschluss Lüfterhaube lösen 1. Entfernen Sie vorhandene Anschlussstecker an den Zubehöranschlüssen (z. B. Drucksensor). 2. Schrauben Sie die 2 Innensechskantschrauben mit Unterlegscheiben aus der Lüfterhaube he- raus. -
Seite 61: Tip Seal Austauschen
Wartung Abb. 27: Spiralgehäuse der Scrollpumpe abnehmen 1 Innensechskantschraube (5×) Pumpengehäuse 2 Unterlegscheibe (5×) Innensechskantschraube als Hilfsschraube 3 Spiralgehäuse Untere Hilfsbohrung 4 Obere Hilfsbohrung Spiralgehäuse abnehmen 1. Schrauben Sie alle 5 Innensechskantschrauben aus dem Spiralgehäuse heraus. – Achten Sie auf die Unterlegscheiben. 2. -
Seite 62: Abb. 28: Tip Seal Der Scrollpumpe Austauschen
Wartung Abb. 28: Tip Seal der Scrollpumpe austauschen 1 Tip Seal Tip Seal 2 Orbiter O-Ring 3 Pumpengehäuse Spiralgehäuse Tip Seal entnehmen 1. Stellen Sie das Pumpengehäuse aufrecht. 2. Verwenden Sie den O-Ring-Picker und entnehmen den O-Ring aus dem Spiralgehäuse. 3. -
Seite 63: Pumpengehäuse Zusammenbauen
Wartung 3. Benetzen Sie die Nut des Spiralgehäuses mit wenig Isopropanol als Montagehilfe für den O-Ring. 4. Setzen Sie den O-Ring vorsichtig in das Spiralgehäuse ein. 9.5.3 Pumpengehäuse zusammenbauen Benötigtes Werkzeug ● Innensechskantschlüssel, SW 5 ● Kalibrierter Drehmomentschlüssel Benötigtes Verbrauchsmaterial ● Laborhandschuhe ●... -
Seite 64: Abschlussprüfung
Wartung 4. Schrauben Sie das Lüftergehäuse mit den beiden Innensechskantschrauben und Unterlegschei- ben fest. – Anziehdrehmoment: 3,5 Nm 5. Optional: Befestigen Sie einen vorhandenen Gegenstecker auf dem Anschluss "remote" der An- triebselektronik. – Anziehdrehmoment: 0,4 Nm 9.6 Abschlussprüfung Voraussetzung ● Wartungsarbeiten mit Öffnen des Gehäuses durchgeführt Abschlussprüfung durchführen ►... -
Seite 65: Außerbetriebnahme
Vorgehensweise für die Wiederinbetriebnahme der Vakuumpumpe 1. Reinigen Sie die Vakuumpumpe außen mit fusselfreiem Tuch und wenig Isopropanol. 2. Lassen Sie die Vakuumpumpe ggf. durch den Pfeiffer Vacuum Service komplett reinigen. 3. Beachten Sie die Gesamtlaufzeit der Vakuumpumpe und nehmen Sie ggf. Serviceleistungen von Pfeiffer Vacuum in Anspruch. -
Seite 66: Recycling Und Entsorgung
Schutz von Umwelt und Personen betreffenden Vorschriften er- folgen, um die Verschwendung von Naturressourcen zu reduzieren und Verschmutzungen zu verhindern. 11.1 Allgemeine Entsorgungshinweise Pfeiffer Vacuum Produkte enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. ► Entsorgen Sie unsere Produkte nach Beschaffenheit als – Eisen – Aluminium –... -
Seite 67: Störungen
● Betriebsspannung in- ● Legen Sie die korrekte Betriebsspannung an. ronik leuchtet korrekt ● Antriebselektronik de- ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. fekt Vakuumpumpe erreicht ● Leckage an der Vaku- 1. Führen Sie eine Lecksuche durch. nicht die Nenndrehzahl in- umpumpe 2. -
Seite 68: Fehlercodes
Warnungen (* Warning F––– *) erscheinen nur und führen nicht zum Abschalten von Komponenten. Fehlermeldungen behandeln 1. Lesen Sie Fehlercodes über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder einen PC aus. 2. Beseitigen Sie die Ursache der Störung. 3. Setzen Sie die Fehlermeldung mit Parameter [P:009] zurück. -
Seite 69: Tab. 22: Fehlermeldungen Der Antriebselektronik
Störungen Fehler- Problem mögliche Ursa- Behebung code chen Err094 Temperaturauswertung ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service Elektronik fehlerhaft Err098 Interner Kommunikati- – ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service onsfehler Err114 Temperaturauswertung – ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service... -
Seite 70: Servicelösungen Von Pfeiffer Vacuum
Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produkts von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität. - Seite 71 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.
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Seite 72: Ersatzteile
► Setzen Sie nur original Ersatzteile ein. Abb. 31: HiScroll Wartungssatz 1 1 Tip Seal O-Ring Ersatzteilpaket Bestell-Nr. HiScroll 6 HiScroll 12 | HiScroll 18 Wartungssatz 1 – Wartung Level 1 PD E10 000 -T PD E20 000 -T Tab. 24: Ersatzteilpaket... -
Seite 73: Tab. 25: Ersatzteilpaket
HiScroll Ventilsatz 1 Ventilteller, 2× O-Ring, 19 × 2,5 2 Druckfeder, 2× O-Ringe, 6 × 3 3 O-Ring, 16 × 1,5 Ersatzteilpaket Bestell-Nr. HiScroll 6 | HiScroll 12 | HiScroll 18 Ventilsatz PD E13 000 -T Tab. 25: Ersatzteilpaket 73/84... -
Seite 74: Zubehör
Zubehör 15 Zubehör 15.1 Zubehörinformationen Anzeigegeräte Anzeige- und Bediengeräte dienen der Kontrolle und Einstellung von Betriebsparametern. Kabel und Adapter Netzkabel, Schnittstellen-, Verbindungs- und Verlängerungskabel bieten einen sicheren und geigneten Anschluss. Unterschiedliche Längen auf Anfrage Integrierte Druckmessung Auswertung und Ansteuerung durch die integrierte Antriebselektronik unabhängig von einer zusätzli- chen Stromversorgung Kondensatabscheider Schützen die Vakuumpumpe vor Flüssigkeiten aus der Ansaugleitung und von Kondensatrückfluss aus... -
Seite 75: Tab. 26: Zubehör Für Hiscroll
Zubehör Artikel Bestellnummer Y-Verteiler M12 für RS-485 P 4723 010 USB RS-485 Konverter PM 061 207 -T Tab. 26: Zubehör für HiScroll 75/84... -
Seite 76: Technische Daten Und Abmessungen
Technische Daten und Abmessungen 16 Technische Daten und Abmessungen 16.1 Allgemeines Grundlagen für die technischen Daten von Pfeiffer Vacuum Spiralvakuumpumpen: ● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5 ● DIN ISO 21360-1 2016: "Vakuumtechnik - Standardverfahren zur Messung der Leistungsdaten von Vakuumpumpen - Teil 1: Grundlegende Beschreibung"... -
Seite 77: Tab. 29: Technische Daten Für Hiscroll
Pa m³/s 5 · 10 Pa m³/s Gewicht 19 kg 19 kg 19 kg Tab. 29: Technische Daten für HiScroll 6 Auswahlfeld HiScroll 12, Scroll- HiScroll 12, Scroll- HiScroll 12, Scroll- pumpe, Standard, in- pumpe, ohne GB, in- pumpe, mit automa-... -
Seite 78: Tab. 30: Technische Daten Für Hiscroll
Technische Daten und Abmessungen Auswahlfeld HiScroll 12, Scroll- HiScroll 12, Scroll- HiScroll 12, Scroll- pumpe, Standard, in- pumpe, ohne GB, in- pumpe, mit automa- klusive ATEX klusive ATEX tisiertem GB Netzanschluss 100 – 127/200 – 240 V 100 – 127/200 – 240 V 100 –... -
Seite 79: Medienberührende Werkstoffe
Technische Daten und Abmessungen Auswahlfeld HiScroll 18, Scroll- HiScroll 18, Scroll- HiScroll 18, Scroll- pumpe, Standard, in- pumpe, ohne GB, in- pumpe, mit automa- klusive ATEX klusive ATEX tisiertem GB E/A Schnittstellen RS-485 RS-485 RS-485 Emissions-Schalldruck- 47 dB(A) 47 dB(A) 47 dB(A) pegel (EN ISO 2151) Betriebshöhe, max. -
Seite 80: Abmessungen
Technische Daten und Abmessungen 16.4 Abmessungen 2 0 .5 2 6 0 4× Gummifüße/ rubber feet 1 1 4 DN 25 ISO-KF 2 9 8 2 0 7 .5 2 0 0 3 8 0 220.5 Abb. 33: HiScroll 6 Maße in mm 80/84... - Seite 81 Technische Daten und Abmessungen 30.5 (4x) Gummifüße rubber feet DN 25 ISO-KF Abb. 34: HiScroll 12 | HiScroll 18 Maße in mm 81/84...
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Seite 82: Eg Konformitätserklärung
DIN EN 63000: 2019 Semi S8 0218 DIN EN 61010-1: 2020 Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Dr. Adri- an Wirth, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar Deutschland (Daniel Sälzer) -
Seite 83: Uk Konformitätserklärung
IEC 63000: 2016 Semi S8 0218 IEC 61010-1: 2010 Autorisierter Repräsentant im Vereinigten Königreich und der bevollmächtigte Vertreter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...