Pfeiffer Vacuum HIPACE 300 M Betriebsanleitung
Turbopumpe
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Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum HIPACE 300 M
- Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG Original HIPACE 300 M Turbopumpe...
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Seite 2: Inhaltsverzeichnis
Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis Zu dieser Anleitung ..........4 1.1 Gültigkeit . - Seite 3 Ersatzteile HiPace 300 M........
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Seite 4: Zu Dieser Anleitung
Zu dieser Anleitung Zu dieser Anleitung Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Be- triebsanleitung beschreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung er- folgt nach den geltenden EU-Richtlinien. -
Seite 5: Piktogramme
Zu dieser Anleitung 1.2.2 Piktogramme Verbot einer Handlung oder Tätigkeit im Zusammenhang mit einer Ge- fahrenquelle, deren Missachtung zu schwerwiegenden Unfällen führen kann Warnung vor der mit dem Piktogramm dargestellten Gefahr Gebot einer Handlung oder Tätigkeit im Umgang mit einer Gefahren- quelle, deren Missachtung zu schwerwiegenden Unfällen führen kann Wichtige Information zum Produkt oder zu diesem Dokument 1.2.3... -
Seite 6: Sicherheit
Medium oder von der gesamten Anlage ausgehen, auf- merksam zu machen. Installation und Betrieb von Zubehör Pfeiffer Vacuum Pumpen können mit einer Reihe von angepasstem Zubehör ausgestat- tet werden. Installation, Betrieb und Instandhaltung von Anschlussgeräten sind detail- liert in Betriebsanleitungen der Einzelkomponenten beschrieben. -
Seite 7: Schutzausrüstung
Sicherheit ● Verbindung zum Schutzleiter (PE) wird empfohlen (Schutzklasse III). ● Während des Betriebs Steckerverbindungen nicht lösen. ● Vor Arbeiten am Hochvakuumflansch Stillstand des Rotors abwarten. ● Leitungen und Kabel von heißen Oberflächen (> 70 °C) fernhalten. ● Turbopumpe niemals mit Reinigungsmittel füllen oder betreiben. ●... -
Seite 8: Bestimmungsgemäße Verwendung
● die Verwendung von Zubehör oder Ersatzteilen, die nicht in dieser Anleitung genannt wurden Verschlusssiegel warranty seal Das Produkt ist ab Werk versiegelt. Beschädigung oder Entfernen eines Verschluss- siegels führt zum Verlust der Gewährleistung. Produkt während der Gewährleistungszeit nicht öffnen! Bei prozessbedingt kürzeren Wartungsintervallen Pfeiffer Vacuum Service verständi- gen. -
Seite 9: Transport Und Lagerung
Transport und Lagerung Transport und Lagerung Transport Transportbehälter der Vakuumpumpe wiederverwenden. – Vakuumpumpen möglichst in ihrer Originalverpackung transportieren oder versen- den. Schutzdeckel von Hoch- und Vorvakuumseite erst unmittelbar vor dem Anschluss ent- fernen. Original-Schutzdeckel aufbewahren. Turbopumpe immer aufrecht transportieren. Lagerung ... -
Seite 10: Produktbeschreibung
Ser. -No.: 6.7 kg Weight: Made in Germany Abb. 1: Beispiel für ein Typenschild 4.1.3 Lieferumfang ● HiPace 300 M mit TM 700 und 48 V DC ● Flutventil PM Z01 291 ● Schutzdeckel für den Hochvakuum- und Vorvakuumflansch ● Betriebsanleitung... -
Seite 11: Funktion
Produktbeschreibung Funktion Die Turbopumpe HiPace 300 M bildet mit der Antriebs- und Magnetlagerelektronik TM 700 (im Folgenden nur "Antriebselektronik") eine Einheit. Zur Spannungsversorgung dürfen nur Pfeiffer Vacuum Netzteile verwendet werden (z.B. TPS, OPS oder DCU). 15.5 Abb. 2: HiPace 300 M mit TM 700 Pumpenunterteil Zwischenstück... -
Seite 12: Einsatzbereich
Produktbeschreibung Einsatzbereich Die Pumpen HiPace 300 M sind unter folgenden Umgebungsbedingungen zu installie- ren und zu betreiben: Aufstellungsort wettergeschützt (Innenräume) Zul. Schutzart IP 54 Schutzklasse Umgebungstemperatur +5 °C bis +30 °C bei Konvektionskühlung ohne Gasdurchsatz +5 °C bis +35 °C bei Luftkühlung +5 °C bis +40 °C bei Wasserkühlung... -
Seite 13: Installation
Bruchstücke aus deren Inneren durch den Raum schleudern. Es besteht die Gefahr von schwersten Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. Installationsanweisungen dieser Betriebsanleitung genau befolgen. Nur zugelassene Originalbauteile von Pfeiffer Vacuum (Zubehör) für die Installation verwenden. Installation und Betrieb von Zubehör Pfeiffer Vacuum Pumpen können mit einer Reihe von angepasstem Zubehör ausgestat-... -
Seite 14: Erdbebensicherheit
Abb. 3: Beispiel: Sicherung gegen Verschieben und Kippen durch externe Erschütterungen = Sicherheitsverbindung, jeweils kundenseitig realisieren. 5.2.2 Splitterschutz oder Schutzgitter verwenden Pfeiffer Vacuum Zentrierringe mit Splitterschutz oder Schutzgitter im Hochvakuum- flansch schützen die Turbopumpe vor Fremdkörpern aus dem Rezipienten. Dadurch wird das Saugvermögen der Pumpe reduziert. Reduziertes Saugvermögen in %... -
Seite 15: Einbaulagen
Installation Einbaulagen Pfeiffer Vacuum HiPace Pumpen sind bei Verwendung von trocken verdichtenden Vor- pumpen für den Einbau in allen Raumlagen konzipiert. Rohrleitungen vor der Vakuumpumpe abstützen oder abhängen. Auf die verankerte Pumpe dürfen keine Kräfte aus dem Rohrleitungssystem einwirken. -
Seite 16: Hochvakuumseite Anschließen
Anlage und dem Hochvakuumflansch aufgenommen werden. Zur Befestigung der Turbopumpen am Hochvakuumflansch dürfen ausschließlich die im Folgenden auf- geführten Bauteile verwendet werden. Die Installationselemente für Turbopumpen sind Spezialausführungen von Pfeiffer Vacuum. Die Zugfestigkeit des Flanschmaterials muss in allen Betriebszuständen mindestens 170 N/mm betragen. -
Seite 17: Installation Von Iso-K Flansch Mit Iso-F Flansch
Gewindebohrung", "Stiftschraube und Gewindebohrung" sowie "Stift- schraube und Durchgangsbohrung". Für die Installation sind ausschließlich folgende Bauteile zugelassen: ● der gültige Befestigungssatz aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehörprogramm ● optional ist Befestigungsmaterial mit Schutzgitter oder Splitterschutz verfügbar Sechskantschraube und Gewindebohrung ... -
Seite 18: Installation Von Iso-F Flansch Mit Iso-F Flansch
Gewindebohrung", "Stiftschraube und Gewindebohrung" sowie "Stift- schraube und Durchgangsbohrung". Für die Installation sind ausschließlich folgende Bauteile zugelassen: ● der gültige Befestigungssatz aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehörprogramm ● optional ist Befestigungsmaterial mit Schutzgitter oder Splitterschutz verfügbar Sechskantschraube und Gewindebohrung ... -
Seite 19: Installation Von Cf- Flanschen
Die Verbindungsarten für die Installation CF- mit CF-Flansch sind "Sechskantschraube und Durchgangsbohrung", "Stiftschraube und Gewindebohrung" sowie "Stiftschraube und Durchgangsbohrung". ● der gültige Befestigungssatz aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehörprogramm ● Eine Kupfer-Dichtung ● Schutzgitter oder Splitterschutz sind optional Sechskantschraube und Durchgangsbohrung ... -
Seite 20: Vorvakuumseite Anschließen
Installation Vorvakuumseite anschließen Empfehlung: als Vorpumpe eine geeignete Vakuumpumpe aus dem Pfeiffer Vacuum Programm einsetzen. WARNUNG Gesundheitsschäden durch giftige Gase Prozessgase können gesundheitsschädigend und umweltverschmutzend sein. Gasausstoß der Vorpumpe sicher ableiten! Alle Sicherheitsempfehlungen des Gasherstellers beachten. 83.3 83.1 83.2 Abb. -
Seite 21: Anschlüsse An Der Turbopumpe
Ausführliche Hinweise über Funktion, Konfiguration und Betrieb mit den Anschlusspanel befinden sich in der spezifischen Betriebsanleitung für die betreffende Antriebselektro- nik. 5.6.2 Erdung Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Anschluss eines geeigneten Erdungskabels, um applika- tive Störeinflüsse abzuleiten. Abb. 6: Erdungsanschluss herstellen 5.6.3 Elektrische Versorgung Für die Spannungsversorgung der Antriebselektronik TM 700 nur Original-Netzteile ver-... -
Seite 22: Zubehöranschluss
Einstellungen an der Antriebselektronik. Für den Anschluss von zwei Geräten an einem Zubehöranschluss den betreffenden Y-Verteiler (Y-Connector) aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehörprogramm verwenden. Anschluss des Adapters an den rot gekennzeichneten Anschluss an der TM 700. -
Seite 23: Flutventil
Installation 5.7.1 Flutventil Das Pfeiffer Vacuum Flutventil dient dem automatischen Fluten bei Abschaltung oder Stromausfall. Der zulässige Anschlussdruck beträgt max. 1500 hPa absolut. Abb. 7: Flutventil anschließen Flutventil (werkseitig montiert und angeschlossen) Vorgabe für das Flutventil ist "accessory B1". -
Seite 24: Sperrgasanschluss
● Bei Betrieb der Pumpe mit mehr als 50 % des maximalen Gasdurchsatzes ist zur Ge- währleistung der Rotorkühlung Sperrgas zu verwenden. ● Die Durchflussmenge für Sperrgas beträgt 12-15 sccm für die HiPace 300 M. Sperrgasversorgung mit Steuerventil Abb. 9: Sperrgasventil anschließen... - Seite 25 Installation VORSICHT Verbrennungsgefahr Beim Ausheizen von Turbopumpe oder Rezipient entstehen hohe Temperaturen. Da- durch besteht Verbrennungsgefahr beim Berühren heißer Teile, auch noch nach dem Abschalten der Gehäuseheizung! Heizmanschette, Pumpengehäuse und Rezipient möglichst bei der Installation ther- misch isolieren. Heizmanschette, Pumpengehäuse und Rezipient beim Ausheizen nicht berühren. ●...
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Seite 26: Wasserkühlung
Installation 5.7.5 Wasserkühlung Die Turbopumpen HiPace 300 M mit TM 700 sind serienmäßig wassergekühlt. ● Bei erhöhtem Vorvakuumdruck (> 0,1 hPa) und/oder Betrieb mit hohem Gasdurchsatz muss wahlweise Luft- oder Wasserkühlung verwendet werden. ● Bei Umgebungstemperaturen > +35 °C generell Wasserkühlung verwenden. -
Seite 27: Betrieb
Gefahr der Zerstörung der Pumpe Das Pumpen von Gasen mit höheren Molekülmassen im falschen Gasmodus kann zur Zerstörung der Pumpe führen. Auf korrekt eingestellten Gasmodus achten. Vor Einsatz von Gasen mit größeren Molekülmassen (> 80) Pfeiffer Vacuum verständigen. 6.1.1 Magnetlagerkalibrierung Die Magnetlagersensorik löst in seltenen Fällen bei Freigabe der Antriebselektronik eine... -
Seite 28: Betriebsarten
Für den Betrieb mit Fernbedienung folgende Dokumente beachten: ● Betriebsanleitung "Antriebselektronik TM 700" 6.3.2 Betrieb mit DCU oder HPU Für den Betrieb mit einem Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät folgende Doku- mente beachten: ● Betriebsanleitung "DCU" ● Betriebsanleitung "HPU"... -
Seite 29: Betriebsanzeige Über Led
Die Stärke der Beanspruchung der Fanglager orientiert sich an der Schwere der Störein- flüsse auf den laufenden Rotor. Die Beanspruchung der Fanglager wird in % der insge- samt möglichen Beanspruchung durch die Antriebselektronik aufsummiert und kann über die Schnittstelle RS-485 mittels Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät oder PC beobachtet werden. 6.4.4 Wuchtzustand Die Magnetlagersensorik überwacht permanent den aktuellen Wuchtzustand des Ro-... -
Seite 30: Notstrombetrieb
Pfeiffer Vacuum Flutventil nicht durch andere Belüftungseinrichtungen ersetzen. Bei Verwendung zusätzlicher Belüftungseinrichtungen wird empfohlen, zunächst bis zu einer Drehzahl von 6000 1/min über das Pfeiffer Vacuum Flutventil zu belüften. Auf die maximal zulässige Flutrate achten. Turbopumpe über den Flutanschluss mit ölfreier, trockener Luft oder Inertgas fluten. -
Seite 31: Wartung / Austausch
Gesundheitsgefährdungen durch gefährliche Substanzen zu verhindern. Betreffende Teile vor der Ausführung von Wartungsarbeiten dekontaminieren. HINWEIS Haftungsausschluss Pfeiffer Vacuum übernimmt keine Haftung für Personen- oder Sachschäden, die auf- grund unsachgemäß ausgeführter Wartung entstehen. Der Haftungs- und Gewährleis- tungsanspruch erlischt. Wartungsintervalle und -zuständigkeiten ●... -
Seite 32: Magnetlagerkalibrierung
Wartung / Austausch Vakuumpumpe ausschalten, auf Atmosphärendruck fluten und abkühlen lassen. Pumpe und Antriebselektronik nur nach völligem Stillstand und unterbrochener Ver- sorgungsspannung trennen. Vakuumpumpe ggf. aus der Anlage ausbauen. Steuerleitung des Flutventils von der Antriebselektronik abschrauben. ... -
Seite 33: Außerbetriebnahme
Wiederinbetriebnahme Turbopumpe auf Verschmutzungen und Feuchtigkeit überprüfen. Turbopumpe außen mit fusselfreiem Tuch und wenig Industriealkohol reinigen. Ggf. Turbopumpe durch den Pfeiffer Vacuum Service komplett reinigen lassen. Installation und Inbetriebnahme gemäß Anleitung. Entsorgung Produkte oder Teile davon (mechanische und elektrische Komponenten, Betriebsmittel usw.) können Umweltbelastungen hervorrufen. -
Seite 34: Störungen
Reset durch Netz aus/einschalten Reset über Pin 13 am Anschluss "remote" Differenzierte Fehleranzeige über Anschluss "RS 485" Pfeiffer Vacuum Service verständigen Steht kein Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät zur Verfügung bitte den Pfeiffer Vacuum Ser- vice verständigen. -
Seite 35: 10 Service
Für eine schnelle und reibungslose Abwicklung sind folgende Schritte notwendig: Service-Anforderung und Erklärung zur Kontaminierung herunterladen. Service-Anforderung ausfüllen und per Fax oder Email an Ihre Pfeiffer Vacuum Service-Adresse senden. Bestätigung der Service-Anforderung von Pfeiffer Vacuum der Sendung beilegen. -
Seite 36: 11 Ersatzteile Hipace 300 M
Ersatzteile HiPace 300 M 11 Ersatzteile HiPace 300 M Pos. Benennung Größe Bestellnummer Bemerkungen Stück Bestellmenge 15.5 Schwenkverschraubung P 4131 007 E Wasserkühlung Antriebselektronik TM 700 siehe Typenschild abhängig vom Anschlusspanel Flutventil PM Z01 291 inkl. Dichtring 15.5 Bei Zubehör- oder Ersatzteilbestellungen zusätzlich Modellnummer des Typenschildes... -
Seite 37: 12 Zubehör
Benennung DN 100 ISO-K DN 100 CF-F DN 100 ISO-F Befestigungssatz für HiPace 300 M, DN 100 ISO-K, inklusive Zentrier- PM 016 775 -T ring beschichtet, Klammerschrauben Befestigungssatz für HiPace 300 M, DN 100 ISO-K, inklusive Zentrier- PM 016 777 -T ring beschichtet, Schutzgitter, Klammerschrauben Befestigungssatz für HiPace 300 M, DN 100 ISO-K, inklusive Zentrier-... - Seite 38 Zubehör Benennung DN 100 ISO-K DN 100 CF-F DN 100 ISO-F Trennverbinder für RS-485 PT 348 132 -T PT 348 132 -T PT 348 132 -T USB RS-485 Konverter PM 061 207 -T PM 061 207 -T PM 061 207 -T Kupplung M12 für RS-485 PM 061 270 -X PM 061 270 -X...
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Seite 39: 13 Technische Daten Und Maßbilder
Technische Daten und Maßbilder 13 Technische Daten und Maßbilder 13.1 Allgemeines Grundlagen für Technische Daten von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen: Maximalwerte beziehen sich ausschließlich auf den Eintrag als Einzelbelastung. ● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5 ● ISO 21360; 2007: "Vakuumtechnik - Standardverfahren zur Messung der Leistungs- daten von Vakuumpumpen - Allgemeine Beschreibung"... - Seite 40 Technische Daten und Maßbilder ® ® ® Parameter HiPace 300 M HiPace 300 M HiPace 300 M Vorvakuum max. für N 20 hPa 20 hPa 20 hPa Hochlaufzeit < 2 min < 2 min < 2 min Enddruck gemäß PNEUROP <...
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Seite 41: 13.3 Maße
Ø150 DN 16 ISO-KF / G1/4" DN 100 ISO-K Ø162 G1/8" Ø8 / G1/4" (2x) M8 (6x) Abb. 14: HiPace 300 M, DN 100 ISO-K Ø150 DN 16 ISO-KF / G1/4" DN 100 ISO-F Ø162 G1/8" Ø8 / G1/4" (2x) M8 (6x) Abb. -
Seite 42: Konformitätserklärung
● Elektromagnetische Verträglichkeit 2014/30/EU ● Beschränkung der Verwendung bestimmter gefährlicher Stoffe 2011/65/EU Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Helmut Bernhardt, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. HiPace 300 M Harmonisierte Normen und angewendete, nationale Normen und Spezifikationen:... -
Seite 43: Kompetenz In Theorie Und Praxis
VAKUUMLÖSUNGEN AUS EINER HAND Pfeiffer Vacuum steht weltweit für innovative und individuelle Vakuumlösungen, für technologische Perfektion, kompetente Beratung und zuverlässigen Service. KOMPLETTES PRODUKTSORTIMENT Vom einzelnen Bauteil bis hin zum komplexen System: Wir verfügen als einziger Anbieter von Vakuumtechnik über ein komplettes Produktsortiment.