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5 Installation
5.1 Vakuumanschluss herstellen
Beeinträchtigung durch Verunreinigungen und Beschädigungen
Das Berühren von Geräten oder Komponenten mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate und
führt zu Fehlmessungen. Schmutz (z. B. Staub, Fingerabdrücke o. ä.) und Beschädigungen beein-
trächtigen die Funktion.
► Tragen Sie bei Arbeiten an Hoch- oder Ultrahochvakuumanlagen immer saubere, fussel- und pu-
► Verwenden Sie nur sauberes Werkzeug.
► Achten Sie auf fettfreie Anschlussflansche.
► Entfernen Sie Schutzkappen und Schutzdeckel von Flanschen und Anschlüssen erst wenn es
► Führen Sie alle Arbeiten in einem gut beleuchteten Bereich durch.
Beschädigung von Gehäuse oder Kabelanschluss
Durch unsachgemäße Kraftausübung beschädigen Sie den Sensor.
► Üben Sie keine Kräfte durch Werkzeug auf Gehäuse oder Kabelanschluss aus.
5.1.1 Sensor an HiPace anschließen
Benötigte Werkzeuge
● Gabelschlüssel, SW 19, ≤ 4 mm flach
● kalibrierter Drehmomentschlüssel (Anziehfaktor ≤ 2,5)
Voraussetzungen
● Vakuumpumpe ausgeschaltet und geflutet
● Sperrgasanschluss oder Vorvakuumanschluss mit Zwischenstück für den Sensor ausgewählt
● Umgebungsbedingungen korrekt
● ausreichend Platz für elektrischen Anschluss (z. B. zulässige Biegeradien von Kabeln)
Abb. 2:
1 Antriebselektronik
2 G 1/8" Anschluss (hier: Sperrgasanschluss)
3 Sensor
derfreie Laborhandschuhe.
nötig ist.
Betriebsanleitung der Vakuumpumpe
Beachten Sie die Informationen zum Anschluss in der Betriebsanleitung der Vakuumpum-
pe.
5
Beispiel: Sensor an HiPace anschließen
HINWEIS
HINWEIS
1
3
2
4
Sensorkabel
5
Pumpenunterteil
4
Installation
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