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Betrieb; Einleitung - Edwards EPX HiVac Serie Betriebsanleitung

Trockenlaufende vakuumpumpen
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5

Betrieb

5.1

Einleitung

Nehmen Sie die Pumpe nicht in Betrieb, wenn die Abgasleitung gedrosselt oder blockiert ist.
Andernfalls kann die EPX-Pumpe einen Druck von bis zu 16 bar (1,6 x 10
beschädigt werden.
Unter extremen Betriebsbedingungen kann die Temperatur am Einlass und Auslass auf über 65 °C
ansteigen.
Die Pumpen der Baureihe EPX N müssen vor dem Pumpen des Prozessgases 30 Minuten mit
Stickstoffspülgas gespült werden. Das Spülen muss bei laufender Pumpe erfolgen, damit sich die
Pumpe auf ihre volle Betriebstemperatur erwärmen kann.
Im Inneren der EPX-Pumpe sind keine Bauteile vorhanden, die der Benutzer warten kann.
Metallabdeckungen dürfen nicht von der Pumpe abgenommen werden. Das Entfernen von
Abdeckungen kann zur Verletzung von Personen und zu Schäden an der Pumpe führen und hat die
Nichtigkeit der Konformitätserklärung und den Verfall der Garantie zur Folge. Qualifiziertes
Edwards-Servicepersonal muss nach dem Trennen der Stromversorgung mindestens vier Minuten
lang warten, bevor eine Abdeckung abgenommen wird.
Der Durchflussschalter ist auf einen Wert von 12 slm eingestellt. Er meldet daher zwar, wenn der Durchfluss
größer als 12 slm ist, er gibt jedoch keine Garantie, dass der Durchfluss ausreichend ist, um eine
Kondensatbildung zu verhindern oder eine zufrieden stellende Verdünnung des Prozessgases bis auf ein sicheres
Niveau zu erreichen.
Der Durchflussschalter gewährleistet daher keine absolute Verriegelung. Damit der einwandfreie und
zuverlässige Betrieb der Pumpe gewährleistet ist, sollte der Techniker, der die Systeminstallation vornimmt,
zweckentsprechende Verriegelungen montieren, um den korrekten Stickstoffspülgasdurchfluss und die
korrekte Überwachung sicherzustellen.
Wenn die Stromversorgung der EPX-Pumpe für die Dauer von bis zu einer Sekunde ausfällt, läuft die Pumpe nach
dem Wiederherstellen der Stromversorgung weiter.
Wenn die Stromversorgung der EPX-Pumpe für die Dauer von nur einigen Sekunden ausfällt, läuft die Pumpe
normal weiter, sofern das Betriebssignal an der Schnittstelle erhalten bleibt.
© Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
WARNUNG
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