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Anschluss des Controllers
GEFAHR!
Die Spannungen, die vom Controller erzeugt und
von Vaclon Pumpen genutzt werden, sind potenziell
tödlich. Um die Sicherheitsbedingungen beim Arbei-
ten zu gewährleisten, ist sicherzustellen, dass der
Masseanschluss vorschriftsgemäß ausgeführt ist.
Den Controller wie folgt an die Pumpe anschlie-
ßen:
1. Die Pumpe an den Masseanschluss des
Netzgerätes anschließen, wobei die Massean-
schlussfeder am Hochspannungsverbinder der
Pumpe anzubringen ist, bevor das Hochspan-
nungskabel angeschlossen wird. Bei den Ka-
beln, die mit einem Masseleiter versehen sind,
ist der Masseleiter an einen Masseanschluss-
punkt des Systems anzuschließen.
2. Das Netzgerät wird über sein Versorgungska-
bel an die Masse angeschlossen. Damit der
Stromkreis vollständig an die Masse ange-
schlossen ist, muss der dreipolige Stecker des
Versorgungskabels an eine geerdete Steckdo-
se angeschlossen sein. Es dürfen keine Adap-
tersteckdosen verwendet werden, die keine
Schließung des Erdungskreises zulassen.
FUNKTIONSWEISE
Vaclon Pumpen arbeiten durch Gasionisierung in-
folge einer magnetisch abgegrenzten Entladung
(Penning-Zelle). An die Anode wird eine Spannung
von ungefähr 3 kV angelegt, während die Katoden
an die Masse angeschlossen sind. Ein axiales
Magnetfeld von ungefähr 1.200 Gauss verhindert,
dass die Elektronen direkt zur Anode gelangen. Ein
abgeschirmter Isolator isoliert die Anode vom Er-
dungspotenzial. Bei ordnungsgemäßem Betrieb der
Vaclon Pumpe (mit dem installierten Magnet) ist die
Stromaufnahme proportional zum Druck (siehe
nachstehende Abbildung).
Druck-Stromstärke-Diagramm
Nachdem das System einen Druck unter 10
erreicht hat, ist es möglich, die Pumpe lediglich
durch Einschalten des Controllers zu starten. Der
Pumpenstart ist anhand der Stromaufnahme durch
den Controller erkenntlich.
ANMERKUNG
Bevor das Kabel des Netzgerätes abgetrennt wird,
sind stets mindestens 30 s nach Abschaltung der
Hochspannung abzuwarten, damit sich der Kon-
densator des Netzgerätes entsprechend entladen
kann.
Bakeout
Wenn eine VacIon Pumpe den gewünschten Ba-
sisdruck nicht erreicht und keine Druckverluste
vorhanden sind, ist ein Bakeout des Systems aus-
zuführen, um den Wasserdampf zu beseitigen.
Dieser Vorgang erfolgt unter Erwärmung der
Pumpe und aller Systemelemente.
1. Den Pumpenkorpus und das System mit ei-
nem Ofen oder Heizelementen auf eine Tem-
peratur zwischen 150 und 250°C erhitzen
(250°C ist die maximal zulässige Temperatur
vieler Hochspannungskabel). Diese Tempera-
tur ist ausreichend, um die Oberflächen der
Pumpe von Wasserdampf zu "entgasen", ohne
den Magneten oder den Hochspannungsverb-
inder zu beschädigen. Es ist darauf zu achten,
dass die anderen Systemkomponenten der
Erwärmungstemperatur standhalten. Die Er-
wärmung soll möglichst gleichmäßig auf allen
Oberflächen erfolgen, damit der Dampf nicht
an den kälteren Teilen kondensiert und das Er-
reichen hoher Vakuumwerte verhindert.
2. Den Controller eingeschaltet lassen und kon-
trollieren, dass der Druck nicht 5x10
(mbar) übersteigt. Falls dieser Wert überschrit-
ten wird, ist das Heizgerät auszuschalten und
erneut einzuschalten, wenn der Unterdruckbe-
reich wieder hergestellt ist. Zur automatischen
Kontrolle der Heizgeräte und Druckwerte wäh-
rend der Erwärmung ist ein druckempfindli-
ches Relais zu benutzen.
3. Die Vaclon Pumpe über einen Zeitraum von
mindestens 8 Stunden erwärmen. Längere
Erwärmzeiten sind erforderlich, wenn die
Pumpe mit hohen Gaslasten benutzt werden
soll
oder
Höchstvakuumwerte
[mbar]) oder niedriger erreicht werden sollen.
4. Im Zuge der Abkühlung der Pumpe und des
Systems auf die Umgebungstemperatur muss
auch ein Druckabfall entstehen.
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BETRIEBSANLEITUNG
-2
Torr
-5
Torr
-9
(10
Torr
87-400-085-01(D)
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