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Condizioni Di Funzionamento Anomale; Bassa Corrente; Alta Corrente; Smaltimento - Agilent Technologies Varian 913-0037 Bedienungshandbuch

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5. Tra le varie applicazioni delle pompe ioniche
c'è anche la possibilità del loro impiego per
processare sotto vuoto altri componenti. Poichè
il passante di alta tensione può sopportare un
numero limitato di cicli di riscaldamento (fino a
400°C), si raccomanda di limitare tali cicli al
minimo possibile, per aumentare la durata di vi-
ta della pompa stessa.
CONDIZIONI DI FUNZIONAMENTO
ANOMALE

Bassa corrente

Se il valore di corrente letto è inferiore a quello
normale per quel dato valore di pressione (vedere
il diagramma precedente), la scarica si potrebbe
essere fermata.
Per verificare se la scarica si è fermata, rimuovere
il magnete ed osservare la corrente residua. Se la
corrente non cambia con e senza il magnete, non
è in corso alcuna scarica nella pompa.
a) Per riavviare la scarica, colpire il corpo pompa
con un attrezzo di plastica morbida, o riscal-
darlo localmente con un piccolo saldatore. In
questo modo si libera del gas dalla superficie
all'interno della pompa e la scarica dovrebbe
riprendere. NON COLPIRE MAI la pompa con
un attrezzo metallico.
b) Se il campo magnetico scende sotto il suo va-
lore di targa, la scarica della pompa e la velo-
cità si ridurranno e la scarica potrebbe
spegnersi ad una pressione inferiore a 1x10
Torr.

Alta corrente

Se il valore di corrente letto è superiore a quello
normale per quel dato valore di pressione (vedere
il diagramma precedente), controllare quanto se-
gue:
a) Che il cavo dell'alta tensione non sia in corto
circuito. Riparare o sostituire.
b) Che non ci sia una dispersione all'interno
dell'unità di controllo. Riparare secondo quanto
indicato sul relativo manuale.
c) Che non ci sia un corto circuito sugli isolatori
di supporto dell'anodo causato da frammenti di
film di Titanio. Colpire la pompa come descrit-
to al passo a) del paragrafo precedente po-
trebbe porre rimedio a questa situazione.
d) Che non ci sia una emissione di corrente da "pun-
te" che si siano formate sui catodi. Applicare alla
pompa una tensione tra 10 e 14 kVac con una
corrente tra 20 e 30 mA per 5 - 20 secondi per
bruciare le "punte".
e) Che non ci siano rivestimenti di film metallici
conduttori sugli isolatori a causa di un funzio-
namento sopra i 10
tempo. Poiché non è possibile smontare la
pompa, questa condizione è causa di una limi-
tazione del tempo di vita della pompa. Evitare di
usare la pompa ad alte pressioni per lunghi pe-
riodi.
Significato del logo "WEEE" presente sulle eti-
chette
Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottempe-
ranza alla direttiva CE denominata "WEEE".
Questo simbolo (valido solo per i paesi della
Comunità Europea) indica che il prodotto sul qua-
le è applicato, NON deve essere smaltito insieme
ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve
essere avviato ad un sistema di raccolta differen-
ziata.
Si invita pertanto l'utente finale a contattare il forni-
tore del dispositivo, sia esso la casa madre o un
rivenditore, per avviare il processo di raccolta e
smaltimento, dopo opportuna verifica dei termini e
condizioni contrattuali di vendita.
-7
3
ISTRUZIONI PER L'USO
-2
Torr per elevati periodi di

SMALTIMENTO

87-400-085-01(D)

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