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Branchement De L'unité De Contrôle; Notes De Fonctionnement; Opération De "Bakeout - Agilent Technologies Varian 913-0037 Bedienungshandbuch

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Branchement de l'unité de contrôle
DANGER!
Les tensions générées par l'unité de contrôle et
utilisées par les pompes Vaclon sont potentielle-
ment mortelles. Pour opérer en toute sécurité, vé-
rifier que le branchement à la masse soit
correctement réalisé.
Relier l'unité de contrôle à la pompe en opérant de
la façon suivante :
1. Relier la pompe à la masse de l'alimentateur en
plaçant la molette de masse sur le passant de la
pompe avant de brancher le câble de haute ten-
sion. En présence de câbles pourvus d'un fil de
masse, celui-ci doit être relié à une masse du
système.
2. L'alimentateur se relie à la masse par son câ-
ble d'alimentation. Pour garantir un circuit en-
tièrement relié à la masse, la fiche à trois pôles
du câble d'alimentation doit être introduire
dans une prise avec liaison à la terre. Ne pas
utiliser de prise d'adaptation qui ne permettent
pas la fermeture du circuit de terre.

NOTES DE FONCTIONNEMENT

Les pompes Vaclon fonctionnent en ionisant le gaz à
travers une décharge confinée magnétiquement
(cellule Penning). Une tension d'environ 3 kV est ap-
pliquée à l'anode alors que les cathodes sont main-
tenues à la masse. Un champ magnétique axial
d'environ 1200 gauss empêche que les électrons
arrivent directement à l'anode. Un isolant blindé isole
l'anode du potentiel de terre. Dans le fonctionnement
correct de la pompe Vaclon, (avec aimant installé),
le courant absorbé est proportionnel à la pression
(voir figure suivante).
Courbe pression - courant
INSTRUCTIONS D'UTILISATION
Après que le système a atteint une pression infé-
-2
rieure à 10
Torr, il est possible de démarrer la
pompe en allumant simplement l'unité de contrôle.
La mise en marche de la pompe est signalée par
la présence d'une absorption de courant par l'unité
de contrôle.
Avant de débrancher le câble de l'alimentateur, tou-
jours attendre au moins 30 secondes après la cou-
pure de la haute tension de façon à permettre au
condensateur de l'alimentateur de se décharger
correctement.
Opération de "bakeout"
Lorsqu'une pompe VacIon n'atteint pas la pression
de base désirée et qu'il n'y a aucune fuite, il est
nécessaire de procéder à un "bakeout" du sys-
tème afin d'éliminer la vapeur d'eau. Cette opéra-
tion est effectuée en chauffant la pompe et tous
les éléments du système.
1. Réchauffer le corps de la pompe et le système
à l'aide d'un four ou éléments chauffants à une
température comprise entre 150 et 250°C
(250°C est la température maximum supportée
par de nombreux câbles de haute tension).
Cette température est suffisamment élevée
pour "dégazer" les surfaces de la pompe de la
vapeur d'eau sans endommager l'aimant et le
connecteur de haute tension. Faire attention
que les autres composants du système sup-
portent la température de chauffage. Le chauf-
fage doit être le plus uniforme possible sur
toutes les superficies pour éviter que la vapeur
ne se re-condense sur les parties plus froides,
empêchant d'atteindre les valeurs de vide éle-
vées.
2. Laisser l'unité de contrôle allumée et contrôler
que la pression ne dépasse pas la valeur de
-5
5x10
Torr (mbar). En cas de dépassement de
ladite valeur, éteindre l'appareil de chauffage
et le rallumer lorsque la basse pression est ré-
tablie. Pour contrôler les appareils de chauf-
fage et les valeurs de pression en mode
automatique pendant le chauffage, utiliser un
relais sensible à la pression.
3. Chauffer la pompe Vaclon pendant 8 heures
minimum. Une période de chauffage plus lon-
gue est nécessaire lorsque la pompe doit être
utilisée avec de fortes charges de gaz ou lors-
que l'on désire des valeurs de vide poussé très
-9
élevées (10
4. Au fur et à mesure que la pompe et le système
retournent à la température ambiante, on doit
noter un abaissement de la pression.
8
NOTE
Torr [mbar]) ou inférieures.
87-400-085-01(D)

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