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SICHERHEITSHINWEISE
Dieses Gerät ist für den professionellen Gebrauch
bestimmt. Vor dem Gebrauch soll der Benutzer die-
ses Handbuch sowie alle weiteren von Varian mit-
gelieferten Zusatzinformationen genau lesen. Bei
vollständiger bzw. teilweiser Nichtbeachtung der
enthaltenen Hinweise, unsachgemäßem Gebrauch
durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten
Eingriffen und Benutzung unter Missachtung der
einschlägigen nationalen Bestimmungen übernimmt
Firma Varian keinerlei Haftung.
In diesem Handbuch werden bestimmte Textstel-
len wie folgt hervorgehoben:
GEFAHR!
Die Gefahrenhinweise richten die Aufmerksamkeit
auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei
unkorrekter Ausführung schwere Personenschä-
den zur Folge haben könnte.
ACHTUNG!
Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren
machen darauf aufmerksam, dass bei Nichteinhal-
tung Schäden am Gerät entstehen können.
ANMERKUNG
Die Anmerkungen enthalten wichtige Informatio-
nen, die aus dem Text hervorgehoben werden.
ALLGEMEINE HINWEISE
Diese Anweisungen enthalten Grundinformationen
zur Installation und zum Gebrauch von Vaclon
Pumpen Mod. Miniature und 2 l/s.
In der Tabelle werden die erhältlichen Modelle
aufgeführt:
MODELL
Miniature
Mit Rohr in Kupfer 180°
Mit Rohr in Kupfer 90°
Mit Rohr in Edelstahl 3/8" OD 180°
Mit Rohr in Edelstahl 3/8" OD 90°
Mit Rohr in Kupfer 3/8" OD 180°, mit Vor-
vakuum
Mit Rohr in Kupfer 3/8" OD 90, mit Vorva-
kuum
Magnet in Alnico
2 l/s
Mit Rohr in Edelstahl 3/4" OD 180°
Mit Rohr in Kover-glass 3/4" OD
Mit Rohr in Kupfer 3/4" OD 180°, mit Vor-
vakuum
Mit Rohr in Edelstahl 3/4" OD 180°, mit
Vorvakuum
Mit Rohr in Edelstahl 3/4" OD 90° T-
Anschluss
Mit Kurzer Rohr in Edelstahl 3/4" OD
Mit Rohr in OFHC Kupfer 3/4" OD
Mit Flansch 1 1/3" CF 180°, mit Vorvaku-
um
Magnet in Alnico
Das komplette Pumpsystem umfasst die Vaclon
Pumpe, deren Magneten und ein Netzgerät. Diese
Vaclon Pumpen arbeiten nach dem Getterprinzip
im Bereich von 10
das System auf unter 10
Vorvakuumpumpe erforderlich.
Die Pumpe ist mit einer Plusspannung von 3.000-
3.500 Volt (im offenen Schaltkreis) zu versorgen.
Die Versorgungsspannung und die vom Netzgerät
gelieferte Kurzschlussspannung sollen der Strom-
aufnahme der Pumpe bei ihrem maximalen Ar-
beitsdruck entsprechen.
INSTALLATION
Bei der Installation sind die Pumpe und das Sys-
tem sauber zu halten. Die Berührung von Oberflä-
chen, die unter Vakuum sein werden, ist zu
vermeiden. Bei geöffnetem Zustand der Pumpe ist
darauf zu achten, dass keine Schmutzpartikel, Öl,
Lötflussmittel oder flüchtige Substanzen eindrin-
gen. Vor Anschluss der Pumpe ist das System
gründlich zu reinigen. Eine Reinigung des Vaku-
umsystems mit chemischen Produkten wäre hier-
bei die beste Methode; sie sollte allerdings nicht
bei Vorhandensein von Hohlräumen und Spalten
angewendet werden, die das Ausspülen verhin-
dern.
In der Regel ist das Entfetten mit Aceton oder Me-
thanol und das anschließende Spülen mit Wasser
ausreichend.
Um eine maximale Pumpgeschwindigkeit zu erzie-
len, ist die Pumpe über eine möglichst kurze und
P/N
breite Leitung an das System anzuschließen.
Für den Höchstvakuumbetrieb sollen die Verbin-
913-0037
dungen mit Inertgas geschweißt (WIG) und was-
913-0040
serstoff- oder vakuumgelötet sein.
913-0038
913-0041
Die Dichtungen im System sollen aus Weichmetall
wie geglühtes Kupfer, Aluminium oder Gold sein.
913-0049
Nachdem die Pumpe im System versiegelt wurde,
913-0050
ist das gesamte System auf Leckstellen zu über-
prüfen.
913-0042
Den Magneten an den hierfür vorgesehenen Bügel
der Pumpe mit den mitgelieferten Schrauben be-
913-0032
festigen.
913-0034
913-0035
913-0045
913-0046
4
BETRIEBSANLEITUNG
MODELL
-3
Torr bis unter 10
-3
Torr zu bringen, ist eine
87-400-085-01(D)
P/N
913-0047
913-0052
913-5000
913-0011
-9
Torr. Um
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