Betriebsstörungen; Stromstärke Zu Niedrig; Stromstärke Zu Hoch; Entsorgung - Agilent Technologies Varian 913-0037 Bedienungshandbuch

5. Zu den verschiedenen Einsatzmöglichkeiten
der Ionenpumpen zählt auch die Vakuumer-
zeugung in anderen Komponenten. Da Hoch-
spannungsverbinder nur einer begrenzten
Anzahl von Erwärmungszyklen (bis zu 400°C)
standhalten, sollten diese Zyklen auf ein Min-
destmaß beschränkt werden, um die Standzeit
der Pumpe zu verlängern.
BETRIEBSSTÖRUNGEN
Stromstärke zu niedrig
Wenn die angezeigte Stromstärke unter dem
Normwert für den betreffenden Druck liegt (siehe
vorhergehendes Diagramm), könnte die Entladung
gestoppt sein.
Um zu überprüfen, ob die Entladung gestoppt ist,
ist der Magnet zu entfernen und die Reststrom-
stärke zu beobachten. Wenn die Stromstärke sich
weder mit noch ohne Magneten verändert, findet
keine Pumpenentladung statt.
a) Zur erneuten Entladungsaktivierung, ist mit ei-
nem weichen Kunststoffwerkzeug gegen den
Pumpenkorpus zu schlagen oder der Pum-
penkorpus lokal mit einem kleinen Schweißge-
rät zu erhitzen. Auf diese Weise löst sich Gas
von den Innenflächen der Pumpe und müsste
die Entladung wieder aufgenommen werden.
Gegen die Pumpe darf NIEMALS mit einem
metallenen Werkzeug GESCHLAGEN wer-
den.
b) Wenn das Magnetfeld unter den Kennschild-
wert sinkt, verringern sich die Pumpenentla-
dung und –geschwindigkeit, hierbei könnte die
Entladung bei einem Druck unter 1x10
aussetzen.
Stromstärke zu hoch
Wenn die angezeigte Stromstärke über dem
Normwert für den betreffenden Druck liegt (siehe
vorhergehendes Diagramm), sind folgende Kon-
trollen auszuführen:
a) Das Hochspannungskabel darf nicht kurzge-
schlossen sein. Reparieren oder auswechseln.
b) Im Controller darf kein Leckstrom vorhanden
sein. Gemäß der Angaben aus dem diesbezüg-
lichen Handbuch reparieren.
c) An den Hilfsisolatoren der Anode darf kein
Kurzschluss durch Titanfolienteile anliegen.
Wie unter Schritt a) des vorhergehenden Ab-
schnitts gegen die Pumpe schlagen, was die-
ses Problem beheben könnte.
d) Es darf keine Stromabgabe durch "Spitzen"
erfolgen, die sich an den Katoden gebildet ha-
ben. An die Pumpe eine Spannung zwischen
10 und 14 kVAC mit einer Stromstärke zwi-
schen 20 und 30 mA über einen Zeitraum von
5–20 s anlegen, um die "Spitzen" abzubren-
nen.
e) An den Isolatoren dürfen keine Metallfilmbelä-
ge vorhanden sein, die infolge eines längeren
Betriebs bei einem Druck über 10
stehen. Da die Pumpe nicht demontiert wer-
den kann, bewirkt dies eine kürzere Standzeit
des Gerätes. Die längerfristige Benutzung der
Pumpen bei hohen Drücken ist zu vermeiden.
Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiket-
ten
Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit
der EU-Richtlinie WEEE (Waste Electrical and E-
lectronic Equipment) angebracht.
Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig)
zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zu-
sammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf
sondern einem speziellen Sammelsystem zuge-
führt werden muss.
Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten
des Geräts - d.h. die Muttergesellschaft oder den
Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsor-
gungsprozess zu starten, nachdem er die Ver-
kaufsbedingungen geprüft hat.
-7
Torr
6
BETRIEBSANLEITUNG
-2

ENTSORGUNG

87-400-085-01(D)
Torr ent-