Installation; Einbau Des Einlassventils In Die Pumpe Idp-3; Technische Spezifikationen - Agilent Technologies IDP-3 Bedienungshandbuch

Die technischen Spezifikationen sind in Tabelle 7 aufge-
führt.
Tabelle 7 Technische Spezifikationen
Leckrate:
❑ Pumpenkörper
Dichtung
❑
Schließzeit (nach Deaktivierung
des Magnetventils)
Ausgasrate beim Schließen
Stromversorgung
Materialien:
❑ Pumpenkörper
Dichtung
❑
Temperaturbereich:
Ventilkörper
❑
❑ Magnetventil

Installation

AC
Bauen Sie den Ventilkörper mit dem Zentrierring und dem Schnellspanner, welcher der Verpackung der Pumpen
IDP3A21/31 B21/31 und C21/31 beiliegt, in die Pumpe ein. Beachten Sie dabei die Ausrichtung des Ventilkörpers -
andernfalls funktioniert das Ventil nicht richtig (Abbildung 9).
HINWEIS
Falls VPI16IDP100, VPI16IDP115 oder VPI16IDP220 separat von Pumpe IDP3 (AC-Version) erworben
wird, befolgen Sie bitte die Einbauanleitung in der Gebrauchsanweisung für den Einlassventilsatz der
Pumpe IDP3 (Teilenr. 699904370).
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IDP-3 Trockenlaufende Scroll-Vakuumpumpe
< 1x10-9 atm. cm³/s He
< 1x10-9 atm. cm³/s He
25 ms
0,01 torr-liter
7,7 W (AC) - 9,5 W (DC)
Aluminum (6061-T6)
Viton
0~100 °C
0~50 °C
Abbildung 10 Einbau des Einlassventils in die Pumpe IDP-3