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Technische Daten; Spezifikationen; Datentabelle - PI L-738 Serie Benutzerhandbuch

Präzisions-kreuztisch
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10 Technische Daten

10
Technische Daten
10.1

Spezifikationen

Die spezifizierten Daten gelten für eine Temperatur von 20 °C (±3 °C) und waagerechten Einbau.
10.1.1

Datentabelle

L-738
Tische mit DC-Motor
Bewegen
Aktive Achsen
Stellweg
Winkelfehler xry
(Neigen)
Winkelfehler xrz
(Gieren)
Winkelfehler yrx
(Neigen)
Winkelfehler yrz
(Gieren)
Geradheit / Ebenheit ±2
Orthogonalität
Geschwindigkeit
Positionieren
Integrierter Sensor
Sensorsignal
Rechnerische
Auflösung
Sensorauflösung
Rotationsencoder
Kleinste Schrittweite
Unidirektionale
L-738 / V-738 Präzisions-Kreuztisch
L-738.053111 / L-738.053112 / L-738.053132
X, Y
102 × 102
±40
±20
±40
±20
±96,963
L-738.053111 / L-738.053112: 50
L-738.053132: 90
L-738.053111
L-738.053112
Inkrementeller Linearencoder
Sin/cos, 1 V Spitze-
A/B-Quadratur,
Spitze, 20 µm
TTL
Signalperiode
0,001
0,01
0,1
0,1
0,1
0,1
L-738.053132
A/B-Quadratur,
TTL
0,1
20000
0,4
0,4
MP183D
Einheit
Toleranz
mm
µrad
typ.
µrad
typ.
µrad
typ.
µrad
typ.
µm
typ.
µrad
typ.
mm/s
max.
Einheit
Toleranz
µm
Impulse
/U
µm
typ.
µm
typ.
Version: 1.1.3
37

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