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9500B
Kalibrierhandbuch
Tabelle 16: Validierung der Funktion „Flanke" – Anstiegs-/Abfallzeit bei 1 MHz (Zeitraum 1 μs) an 50 Ω Last (Fortsetz.)
Verif.-Pkt.
Nenn-
Flank
Ausgangsspa
Anstiegs-
entyp
/Abfallzeit
(10 % bis
90 %)
EDG23 **
EDG24
EDG25 **
EDG26
EDG27 **
EDG28
EDG29 ***
EDG30
*: Die Validierungspunkte EDG11 bis EDG20 sind nur für den Active Head 9530 gültig.
†: Die Spezifikationen für die Ungenauigkeit „Angezeigter Wert" des 9500B sind: bei s: ± 40 ps; bei : ± 15 ps; bei : ± 11 ps;
bei : ± 4 ps.
**: Die Validierungspunkte EDG21 bis EDG28 sind nur für den Active Head 9560 gültig.
***: Die Validierungspunkte EDG29 bis EDG30 sind nur für den Active Head 9550 gültig.
Validieren der Funktion zur Messung der Lastkapazität (
Übersicht
Die benötigten Geräte und Mittel sind unter „Benötigte Ausstattung" aufgeführt, und die
Verschaltung ist unter „Verschaltung" vorgegeben. In Abschnitt „Validierung-Setup" wird
das Setup zur Validierung erläutert.
Das Validierungsverfahren finden Sie unter „Absolute Gut-Grenze 9500B". Die Funktion zur
Messung der Lastkapazität wird durch die Messung der Kapazität eines kalibrierten
Kapazitätsnormals in der unter „Validierung-Setup" und „Berechnungen ‚Absolute Gut-
Grenze 9500B'" vorgegebenen Reihenfolge an den in Tabelle 17 angegebenen
Validierungspunkten verifiziert.
70
Untere Grenze
nach
nnung
Spezifikation
(Spitze-
Spitze)
100,00 mV −20 ps
200,00 mV −20 ps
330,00 mV −20 ps
660,00 mV −20 ps
−20 ps
1,0 V
−20 ps
2,0 V
−4 ps
500 mV
−4 ps
500 mV
Obere Grenze
Gesamt-
nach
Messunsicherheit
Spezifikation
des Anwenders
+15 ps
+15 ps
+15 ps
+15 ps
+15 ps
+15 ps
+4 ps
+4 ps
Untere Gut-
Obere Gut-
Grenze
Grenze
ps
ps
ps
ps
ps
ps
ps
ps
ps
ps
ps
ps
ps
ps
ps
ps
)
Angezeigter
Gemessene
Wert
r Wert
„Anstiegszeit"
des 9500B †
ps
ps
ps
ps
ps
ps
ps
ps
ps
ps
ps
ps
ps
ps
ps
ps
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