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Quick Setup Guide TDL GPro™ 500
퍼징
0...1 L/min
0...10 L/min
압력 조절기
1 기기 측면의 퍼지 가스 입구(6 mm 또는 ¼" 튜브 피팅).
2 공정 측면의 퍼지 가스 입구(점검 밸브가 있어야 함).
3 기기 측면의 퍼지 가스 출구(6 mm 또는 ¼" 튜브 피팅).
4 공정 가스 흐름.
5 유효 경로 길이의 경계를 규정하는 구간.
공정을 시작하기 전에 항상 최대 흐름에서 퍼징을 시작하십시오.
퍼징은 항상 스위치를 켜 놓아야 광학 표면에 먼지가 쌓이지
공정 (2)에서 퍼지 가스 입구를 제거 및 / 또는 분해하지 마십시오.
분해하는 경우, PED 압력 인증서가 무효화됩니다.
기기 및 공정 측면 퍼징을 연속하여 연결하지 마십시오.
연결하게 되면 센서 헤드 분해 시 센서 퍼징이 정지됩니다.
로터미터
경고
경고
않습니다.
경고
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