Edwards nEXT series Betriebsanleitung Seite 81

Symptom
Die Pumpe antwortet im
Multidrop-Modus nicht.
Die grüne Normal-LED
leuchtet nicht auf oder die
Pumpe dreht sich nicht mit
voller Drehzahl oder die
Pumpe hat einen Defekt
während des Betriebs.
Der Endvakuumdruck kann
nicht erreicht werden.
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Tabelle 25 - Fehlersuche (Fortsetzung)
Prüfung
Überprüfen Sie, dass der
Multidrop-Modus aktiviert wurde.
Ist der Einlassdruck zu hoch?
Läuft die Pumpe zu heiß?
Kann sich der Rotor frei drehen?
Ist der Druck durch Wasserdampf
begrenzt?
Ist eines der Vakuum-Messgeräte
verunreinigt?
Ist das Saugvermögen zu gering
(aufgrund eines zu geringen
Leitwerts zwischen der Pumpe
und dem Messgerät oder einer
zu großen Kammer)?
Beträgt der Druck am
Zwischenstufen-Einlass
> 0,5 mbar (50 Pa)?
Ist der Vorvakuumdruck
3
> 10 mbar (1 x10 Pa)?
Ist der Hochvakuumbereich
des Systems verunreinigt?
Überprüfen Sie die übrigen
Bereiche des Systems auf Lecks
und Verunreinigungen.
Entfernen Sie die Pumpe aus
dem System, und testen Sie den
Endvakuumdruck der Pumpe
allein (siehe Abschnitt 2).
Maßnahme
Vergewissern Sie sich, dass die Pumpe eine
Multidrop-Adresse hat und dass Befehle über
das Multidrop-Protokoll gesendet werden.
Wenn dies der Fall ist, verringern Sie die
Pumplast oder überprüfen Sie, ob ein großes
Leck im System ist.
Verstärken Sie die Kühlung der Pumpe.
Wechseln Sie von Luftkühlung zu Wasserkühlung
(Angaben zum maximalen Einlassdruck und den
Kühlanforderungen finden Sie in
Erhöhen Sie den Kühlwasserfluss und/oder
senken Sie die Wassertemperatur. Überprüfen
Sie, ob die externen Wärmequellen
(z. B. Heizelemente zum Ausheizen
des Systems) nicht zu stark sind.
Wenn dies nicht der Fall ist, ist möglicherweise
das Pumpenlager beschädigt. Wenden Sie sich
an Ihren Lieferanten oder an Edwards.
Heizen Sie das System aus und pumpen Sie
danach.
Wenn dies der Fall ist, reinigen oder ersetzen
Sie es.
Erhöhen Sie den Leitwert oder verringern Sie
das Volumen.
Wenn der Druck am Zwischenstufen-Einlass zu
hoch ist, erhöht sich der Einlassdruck am
Hochvakuumflansch der Turbomolekularpumpe;
überprüfen Sie, dass der Zwischenstufen-
Einlassdruck 0,5 mbar (50 Pa) ist.
Wenn dies der Fall ist, ist der Vorvakuumdruck
unter Umständen zu hoch. Überprüfen Sie die
Vorvakuumleitung auf Lecks. Wenn der
Durchsatz hoch ist, benötigen Sie eventuell eine
größere Vorvakuumpumpe.
Wenn dies der Fall ist, reinigen Sie das
Hochvakuumsystem.
Wenn Sie die Fehler gefunden haben, reparieren
Sie die Lecks und entfernen die
Verunreinigungen.
Wenn der Einlassdruck unbefriedigend ist,
überprüfen Sie die Pumpe auf
Verunreinigungen, und sehen Sie in
nach. Überprüfen Sie die Pumpe auf Lecks. Ist
-7
die Leckrate > 1x10 mbar l s
wenden Sie sich an Ihren Lieferanten oder
an Edwards.
B800-00-882 Issue D
Abschnitt 2).
Abschnitt 5
-1 -5 -1
(1x10 Pa l s ),
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