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Betrieb
Temperaturüberwa-
chung
6.5 Ausschalten und Fluten
Ausschalten
Flutmodi
22
LED grün
LED rot
leuchtet
blitzt kurz
(1/12s aktiv)
blinkt (1/2s aktiv)
leuchtet
blinkt (1/2 s aktiv)
Bei unzulässiger Motortemperatur oder unzulässig hoher Gehäusetemperatur
wird der Motorstrom reduziert. Dies kann zum Unterschreiten des eingestellten
Drehzahlschaltpunktes und damit zum Abschalten der Turbomolekularpumpe füh-
ren.
Nach dem Ausschalten ist die Turbopumpe zu fluten, um Verunreinigungen durch
zurückströmende Partikel aus dem Vorvakuumbereich zu vermeiden.
Vorvakuum schließen. Vorvakuumpumpe ausschalten oder Vorvakuumventil
schließen.
Netzkabel vom integrierten Netzteil trennen. Alternativ:
Turbopumpe am Bediengerät oder über Fernbedienung ausschalten.
Fluten (Möglichkeiten, s.u.)
Fluten von Hand
Flutschraube (Lieferumfang) im Flutanschluss der Pumpe ca. eine Umdrehung
öffnen.
Fluten mit Flutventil TVF 005
Fluten mit Flutventil am Anschluss "X3" oder über RS485 freigeben.
Einstellungen sind über die RS485 der TC 100 mit DCU, HPU oder PC möglich.
Flutfrequenz
Abschalten des Pumpstands
< 500 Hz (entspricht
Flutventil öffnet für 3600 s (1 h,
50% der Enddreh-
Werkseinstellung)
zahl)
1)
Bei Netzwiederkehr wird der Flutvorgang abgebrochen.
Grundsätzliche Hinweise für das schnelle Fluten
Fluten eines Rezipienten in zwei Schritten. Details zu individuellen Lösungen bei
Pfeiffer Vacuum erfragen.
Fluten mit einer Druckanstiegsgeschwindigkeit von max. 15 mbar/s für 20 s.
– Der Ventilquerschnitt für die Flutrate von 15 mbar/s muss auf die Größe des
Rezipienten abgestimmt werden.
– Bei kleinen Rezipienten das Pfeiffer Vacuum Flutventil TVF 005 verwenden.
Anschließend mit einem zusätzlichen, beliebig großen Flutventil fluten.
Bedeutung
Netzteil in Ordnung
Funktion "Pumpstand ein" ausgeführt
Netzteil in Ordnung
Pumpstand aus
Spannungsabfall; Netzausfall
Sammelfehler, z.B.
– Hochlaufzeitfehler
– Übertemperatur Pumpe
– Schaltausgang 2 aktiv (low)
Warnung, z.B.
– Erdschluss der Versorgungsspannung
– Netzausfall
Netzausfall
Flutventil öffnet bei Erreichen der
Flutfrequenz und schließt bei Errei-
chen von ca. 15% der Enddrehzahl
1)
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